بالمقارنة مع تقنيات الطلاء الأخرى، يتميز طلاء الرش المغناطيسي بالخصائص التالية: تتمتع معلمات العمل بنطاق تعديل ديناميكي كبير لسرعة ترسب الطلاء ويمكن التحكم في سمك (حالة المنطقة المطلية) بسهولة، ولا يوجد حد تصميمي على هندسة هدف المغنطرون لضمان اتساق الطلاء؛ لا توجد مشكلة في جزيئات القطرات في طبقة الفيلم؛ يمكن تحويل جميع المعادن والسبائك والسيراميك تقريبًا إلى مواد مستهدفة؛ ويمكن إنتاج المادة المستهدفة عن طريق الرش المغناطيسي بالتيار المستمر أو الترددات الراديوية، والذي يمكن أن يولد طلاءات معدنية أو سبائك نقية بنسب دقيقة، بالإضافة إلى أغشية تفاعلية مع المعادن بمشاركة الغاز. من خلال الرش المغناطيسي بالتيار المستمر أو الترددات الراديوية، من الممكن توليد طلاءات معدنية أو سبائك نقية بنسب دقيقة وثابتة، بالإضافة إلى أغشية تفاعلية مع المعادن بمشاركة الغاز، لتلبية متطلبات تنوع الأغشية الرقيقة والدقة العالية. معلمات العملية النموذجية لطلاء الرش المغناطيسي هي: ضغط العمل 0.1 باسكال؛ جهد الهدف 300-700 فولت؛ كثافة الطاقة المستهدفة 1~36 واط/سم².
الميزات المحددة للرش المغناطيسي هي:
(١) معدل ترسيب مرتفع. بفضل استخدام أقطاب المغنطرون، يُمكن الحصول على تيار أيوني كبير جدًا لقصف الهدف، وبالتالي يكون معدل النقش بالرش على سطح الهدف ومعدل ترسيب الفيلم على سطح الركيزة مرتفعين جدًا.
(٢) كفاءة طاقة عالية. نظرًا لارتفاع احتمالية تصادم الإلكترونات منخفضة الطاقة مع ذرات الغاز، يزداد معدل تفكك الغاز بشكل كبير. وبالتالي، تنخفض مقاومة غاز التفريغ (أو البلازما) بشكل كبير. لذلك، حتى مع انخفاض ضغط التشغيل من ١ إلى ١٠ باسكال إلى ١٠-٢١٠-١ باسكال، ينخفض جهد الرش من آلاف الفولتات إلى مئات الفولتات، وتزداد كفاءة الرش ومعدل الترسيب بشكل كبير.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ١ ديسمبر ٢٠٢٣