① Goeie beheerbaarheid en herhaalbaarheid van filmdikte
Of die filmdikte teen 'n voorafbepaalde waarde beheer kan word, word filmdikte-beheerbaarheid genoem. Die vereiste filmdikte kan baie keer herhaal word, wat filmdikte-herhaalbaarheid genoem word. Omdat die ontladingsstroom en teikenstroom van die vakuumsputterlaag afsonderlik beheer kan word, is die dikte van die gesputterde film beheerbaar, en die film met 'n voorafbepaalde dikte kan betroubaar neergelê word. Boonop kan die sputterlaag 'n film met 'n eenvormige dikte op 'n groot oppervlak verkry.
② Sterk adhesie tussen film en substraat
Die energie van gesputterde atome is 1-2 ordes van grootte hoër as dié van verdampte atome. Die energie-omskakeling van die hoë-energie gesputterde atome wat op die substraat neergelê is, is baie hoër as dié van die verdampte atome, wat hoër hitte genereer en die adhesie tussen die gesputterde atome en die substraat verbeter. Daarbenewens produseer sommige hoë-energie gesputterde atome verskillende grade van inspuiting, wat 'n pseudiffusielaag op die substraat vorm. Daarbenewens word die substraat altyd skoongemaak en geaktiveer in die plasmagebied tydens die filmvormingsproses, wat die gesputterde atome met swak adhesie verwyder en die substraatoppervlak suiwer en aktiveer. Daarom het die gesputterde film sterk adhesie aan die substraat.
③ Nuwe materiaalfilm anders as die teiken kan voorberei word
Indien reaktiewe gas tydens verstuiwing ingebring word om dit met die teiken te laat reageer, kan 'n nuwe materiaalfilm verkry word wat heeltemal anders is as die teiken. Byvoorbeeld, silikon word as die verstuiwingsteiken gebruik, en suurstof en argon word saam in die vakuumkamer geplaas. Na verstuiwing kan 'n SiOz-isolerende film verkry word. Deur titanium as die verstuiwingsteiken te gebruik, word stikstof en argon saam in die vakuumkamer geplaas, en die fase TiN-goudagtige film kan na verstuiwing verkry word.
④ Hoë suiwerheid en goeie gehalte van film
Aangesien daar geen kroesiekomponent in die verstuiwingsfilmvoorbereidingsapparaat is nie, sal die komponente van die kroesieverwarmermateriaal nie in die verstuiwingsfilmlaag gemeng word nie. Die nadele van verstuiwingsbedekking is dat die filmvormingspoed stadiger is as dié van verdampingsbedekking, die substraattemperatuur hoër is, dit maklik deur onsuiwerheidsgas beïnvloed kan word, en die toestelstruktuur meer kompleks is.
Hierdie artikel is gepubliseer deur Guangdong Zhenhua, 'n vervaardiger vanvakuumbedekkingstoerusting
Plasingstyd: 9 Maart 2023