Kiçi Ark Çeşmesi Ion Örtüginiň Prosesi

Katodik ýaý çeşmesiniň ion örtüginiň prosesi, esasan, beýleki örtük tehnologiýalary bilen birmeňzeşdir we iş böleklerini oturtmak we sorujy bilen arassalamak ýaly käbir amallar indi gaýtalanmaýar.

1. Iş böleklerini bombardman bilen arassalamak

Örtükden öň, argon gazy örtük kamerasyna 2×10-2Pa wakuum bilen girizilýär.

Iş sikli 20% we iş bölegi 800-1000V bolan impulsly elektrik üpjünçiligini açyň.

Ýaý güýji açylanda, sowuk meýdan ýaý çyrasynyň boşalmasy döreýär, ol ýaý çeşmesinden köp mukdarda elektron tokuny we titan ion tokuny çykarýar we ýokary dykyzlykly plazmany emele getirýär. Titan iony iş bölegine berilýän negatiw ýokary basyş astynda iş bölegine inýeksiýasyny çaltlaşdyrýar, iş böleginiň ýüzünde siňdirilen galan gazy we hapa maddalary bombardman edýär we püskürdýär, şeýle hem iş böleginiň ýüzüni arassalaýar we arassalaýar; Şol bir wagtyň özünde, örtük kamerasyndaky hlor gazy elektronlar tarapyndan ionlaşdyrylýar we argon ionlary iş böleginiň ýüzüniň bombardman edilmegini çaltlaşdyrýar.

Şonuň üçin bombardman arassalamak täsiri gowy. Bombardman arassalamak diňe 1 minut töweregi iş bölegini arassalap biler, bu bolsa "esasy ýaý bombardmany" diýlip atlandyrylýar. Titan ionlarynyň ýokary massasy sebäpli, kiçi ýaý çeşmesi iş bölegini bombardman etmek we arassalamak üçin gaty uzak wagt ulanylsa, iş böleginiň temperaturasy gyzmaga meýilli bolýar we gurallaryň gyrasy ýumşak bolup biler. Umuman önümçilikde kiçi ýaý çeşmeleri ýokardan aşak bir-birden açylýar we her kiçi ýaý çeşmesiniň bombardman arassalamak wagty takmynan 1 minut bolýar.

(1) Titan aşaky gatlagyny örtmek

Plýonka bilen substratyň arasyndaky ýelmeşmäni gowulandyrmak üçin, adatça titan nitridini örtmezden öň arassa titan substratynyň gatlagy örtülýär. Wakuum derejesini 5×10-2-3×10-1Pa-a sazlaň, iş böleginiň egrilik naprýaženiýesini 400-500V-a sazlaň we impuls egrilik energiýa üpjünçiliginiň iş siklini 40%~50% -a sazlaň. Sowuk meýdanyň egrilik zarýadyny döretmek üçin kiçi ýaý çeşmelerini bir-birden ýakyp duruň. Iş böleginiň negatiw egrilik naprýaženiýesiniň peselmegi sebäpli titan ionlarynyň energiýasy azalýar. Iş bölegine ýetenden soň, püskürme täsiri çökündi täsirinden az bolýar we titan nitridiniň gaty plýonka gatlagy bilen substratyň arasyndaky baglanyşyk güýjüni gowulandyrmak üçin iş böleginde titan geçiş gatlagy emele gelýär. Bu proses iş bölegini gyzdyrmak prosesi hem bolup durýar. Arassa titan nyşanasy boşadylanda, plazmadaky ýagtylyk gök reňkde bolýar.

1. Ammoniýalanan gap gaty plýonka örtügi

Wakuum derejesini 3×10-a sazlaň^-1-5Pa, iş böleginiň gyşarnyk naprýaženiýesini 100-200V-a sazlaň we impuls gyşarnyk tok çeşmesiniň iş siklini 70% ~ 80% -e sazlaň. Azot goşulandan soň, titan titan nitridiniň gaty plýonkasyny çökeltmek üçin ýaý boşaltma plazmasy bilen birleşdirilen reaksiýa geçirýär. Bu nokada, wakuum kamerasyndaky plazmanyň çyrasy alça gyzyl reňkde bolýar. Eger C₂H₂, O₂we ş.m. girizilýär, TiCN, TiO₂we ş.m. plýonka gatlaklaryny alyp bolýar.

–Bu makala Guangdong Zhenhua tarapyndan çap edildi, awakuum örtük maşyny öndüriji