Ts'ebetso ea ho koahela ion ea mohloli oa arc ea cathodic e tšoana hantle le mahlale a mang a ho koahela, 'me mesebetsi e meng e kang ho kenya li-workpiece le ho hloekisa ka vacuum ha e sa phetoa.
1. Ho hlwekisa dibomo tsa mesebetsi
Pele ho pente, khase ea argon e kenngoa ka phapusing ea pente e nang le vacuum ea 2 × 10-2Pa.
Bulela phepelo ea motlakase ea pulse bias, ka potoloho ea mosebetsi ea 20% le bias ea workpiece ea 800-1000V.
Ha matla a arc a buletswe, ho hlahiswa kganya ya arc ya tshimo e batang, e ntshang palo e kgolo ya motlakase wa dielektrone le motlakase wa diione tsa titanium ho tswa mohloding wa arc, e leng se etsang plasma e nang le bongata bo boholo. Ion ya titanium e potlakisa ho kenngwa ha yona ka hara sesebediswa sa mosebetsi tlasa kgatello e mpe ya leeme le phahameng e sebediswang ho sesebediswa sa mosebetsi, e phatlola le ho hasanya kgase e setseng le ditshila tse monyang hodima sesebediswa sa mosebetsi, mme e hlwekisa le ho hlwekisa sebaka sa sesebediswa sa mosebetsi; Ka nako e ts'oanang, kgase ya chlorine ka kamoreng ya ho kwahela e ioniswa ke dielektrone, mme di-ion tsa argon di potlakisa ho phatlola ha sebaka sa sesebediswa sa mosebetsi.
Ka hona, phello ea ho hloekisa libomo e ntle. Ke motsotso o le mong feela oa ho hloekisa libomo o ka hloekisang mosebetsi, o bitsoang "bombardment e kholo ea arc". Ka lebaka la boima bo phahameng ba li-ion tsa titanium, haeba mohloli o monyane oa arc o sebelisoa ho hlasela le ho hloekisa mosebetsi nako e telele haholo, mocheso oa mosebetsi o ka 'na oa chesa haholo, 'me bohale ba sesebelisoa bo ka ba bonolo. Tlhahisong e akaretsang, mehloli e menyenyane ea arc e buloa ka bonngoe ho tloha holimo ho ea tlase, 'me mohloli o mong le o mong o monyane oa arc o na le nako ea ho hloekisa libomo ea metsotso e ka bang 1.
(1) Ho koahela lera le ka tlase la thaethaniamo
E le ho ntlafatsa ho khomarela pakeng tsa filimi le substrate, lera la substrate e hloekileng ea titanium hangata lea koaheloa pele le koahela titanium nitride. Fetola boemo ba vacuum ho 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, fetola voltage ea bias ea workpiece ho 400-500V, 'me u fetole potoloho ea mosebetsi oa phepelo ea matla a bias ea pulse ho 40% ~ 50%. E ntse e hotetsa mehloli e menyenyane ea arc ka bonngoe ho hlahisa ho tsoa ha arcing ea field cold. Ka lebaka la phokotso ea voltage ea bias e mpe ea workpiece, matla a li-ion tsa titanium aa fokotseha. Kamora ho fihla workpiece, phello ea ho qhalana e tlase ho feta phello ea deposition, 'me lera la phetoho ea titanium le thehoa workpieceng ho ntlafatsa matla a ho kopanya pakeng tsa lera la filimi e thata ea titanium nitride le substrate. Ts'ebetso ena hape ke ts'ebetso ea ho futhumatsa workpiece. Ha sepheo sa titanium se hloekileng se ntšoa, leseli le ka har'a plasma le putsoa e putsoa.
1.Sekoahelo sa filimi e thata ea ammoniated sekotlolo
Fetola tekanyo ea vacuum ho 3 × 10-1-5Pa, fetola motlakase oa bias oa workpiece ho 100-200V, 'me u fetole potoloho ea mosebetsi oa phepelo ea motlakase ea bias ea pulse ho 70% ~ 80%. Kamora hore naetrojene e kenngoe, titanium ke karabelo e kopaneng le plasma ea arc discharge ho kenya filimi e thata ea titanium nitride. Nakong ena, leseli la plasma ka kamoreng ea vacuum le khubelu ea ciliegia. Haeba C2H2, O2, jj. di a hlahiswa, TiCN, TiO2, jj. ho ka fumanoa mealo ea filimi.
–Sengoloa sena se lokollotsoe ke Guangdong Zhenhua,moetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleaner
Nako ea poso: Phuptjane-01-2023