የአነስተኛ አርክ ምንጭ ion ሽፋን ሂደት

የካቶዲክ አርክ ምንጭ ion ሽፋን ሂደት እንደሌሎች ሽፋን ቴክኖሎጂዎች አንድ አይነት ነው, እና እንደ workpieces መጫን እና vacuuming እንደ አንዳንድ ክወናዎች ከእንግዲህ ወዲህ ተደጋጋሚ አይደሉም.

workpieces መካከል 1.Bombardment ማጽዳት

ከመሸፈኑ በፊት, የአርጎን ጋዝ በ 2 × 10-2Pa ቫክዩም ወደ ሽፋን ክፍል ውስጥ ይገባል.

የ pulse bias የኃይል አቅርቦትን ያብሩ ፣ በ 20% የግዴታ ዑደት እና ከ 800-1000 ቪ የሆነ የስራ ቁራጭ።

የ arc ኃይል ሲበራ ቀዝቃዛ የመስክ አርክ ብርሃን ፈሳሽ ይፈጠራል, ይህም ከፍተኛ መጠን ያለው ኤሌክትሮኖል እና የታይታኒየም ion ጅረት ከአርክ ምንጭ ይወጣል, ይህም ከፍተኛ መጠን ያለው ፕላዝማ ይፈጥራል.የታይታኒየም አዮን ወደ workpiece ላይ ተግባራዊ አሉታዊ ከፍተኛ አድሎአዊ ጫና ስር ወደ workpiece ውስጥ መርፌ ያፋጥናል, ቦምብ እና workpiece ላይ ያለውን ቀሪ ጋዝ እና ብክለት sputtering, እና ማጽዳት እና workpiece ላይ ላዩን በማጽዳት;በተመሳሳይ ጊዜ, ሽፋን ክፍል ውስጥ ክሎሪን ጋዝ በኤሌክትሮን ionized ነው, እና argon አየኖች workpiece ወለል ያለውን ቦምብ ያፋጥናል.

ስለዚህ, የቦምብ ማጽዳት ውጤቱ ጥሩ ነው.የ 1 ደቂቃ የቦምብ ጽዳት ብቻ "ዋና ቅስት ቦምብ" ተብሎ የሚጠራውን የሥራውን ክፍል ማጽዳት ይችላል.በታይታኒየም ionዎች ብዛት የተነሳ ትንሽ የአርክስ ምንጭ የቦንብ ማድረጊያውን ለረጅም ጊዜ ለማጥመድ እና ለማጽዳት ጥቅም ላይ የሚውል ከሆነ, የስራው ሙቀት ከመጠን በላይ ለማሞቅ የተጋለጠ ነው, እና የመሳሪያው ጠርዝ ለስላሳ ሊሆን ይችላል.በአጠቃላይ አመራረት ላይ ትናንሽ የአርሴስ ምንጮች አንድ በአንድ ከላይ ወደ ታች ይከፈታሉ እና እያንዳንዱ ትንሽ የአርሴስ ምንጭ 1 ደቂቃ ያህል የቦምብ ማጽጃ ጊዜ አለው.

(1) የታይታኒየም የታችኛው ሽፋን ሽፋን

በፊልም እና በንጥረ ነገሮች መካከል ያለውን ማጣበቂያ ለማሻሻል የንፁህ የታይታኒየም ንጣፍ ንጣፍ ብዙውን ጊዜ ቲታኒየም ናይትራይድ ከመቀባቱ በፊት ተሸፍኗል።የቫኩም ደረጃን ወደ 5×10-2-3×10-1Pa አስተካክል፣ workpiece bias voltage 400-500V ወደ 400-500V ያስተካክሉ እና የ pulse bias power አቅርቦትን የግዴታ ዑደት ወደ 40% ~ 50% ያስተካክሉ።አሁንም የቀዝቃዛ የመስክ ቅስት ፈሳሾችን ለመፍጠር ትናንሽ የአርክ ምንጮችን አንድ በአንድ በማቀጣጠል ላይ።በ workpiece አሉታዊ አድሏዊ ቮልቴጅ በመቀነሱ, የታይታኒየም ions ኃይል ይቀንሳል.ወደ workpiece ከደረሱ በኋላ, sputtering ውጤት ተቀማጭ ውጤት ያነሰ ነው, እና የታይታኒየም nitride ጠንካራ ፊልም ንብርብር እና substrate መካከል ያለውን ትስስር ኃይል ለማሻሻል workpiece ላይ የታይታኒየም ሽግግር ንብርብር ተቋቋመ.ይህ ሂደት ደግሞ የሥራውን ክፍል የማሞቅ ሂደት ነው.የንጹህ ቲታኒየም ዒላማው ሲወጣ, በፕላዝማ ውስጥ ያለው ብርሃን ሰማያዊ ሰማያዊ ነው.

1.Ammoniated ሳህን ጠንካራ ፊልም ሽፋን

የቫኩም ዲግሪውን ወደ 3×10 ያስተካክሉት።^-1-5Pa, workpiece አድሏዊ ቮልቴጅ ወደ 100-200V አስተካክል, እና 70% ~ 80% ወደ ምት አድልዎ ኃይል አቅርቦት ግዴታ ዑደት ያስተካክሉ.ናይትሮጅን ከገባ በኋላ ቲታኒየም ከቅስት ፈሳሽ ፕላዝማ ጋር በማጣመር የታይታኒየም ናይትራይድ ሃርድ ፊልምን ያስቀምጣል።በዚህ ጊዜ በቫኩም ክፍል ውስጥ ያለው የፕላዝማ ብርሃን የቼሪ ቀይ ነው.ሲ₂H₂፣ ኦ₂ወዘተ ገብተዋል፣ TiCN፣ TiO₂ወዘተ የፊልም ንብርብሮችን ማግኘት ይቻላል.

-ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በጓንግዶንግ ዠንዋ፣ አየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራች