የትንሽ ቅስት ምንጭ አዮን ሽፋን ሂደት

የካቶዲክ አርክ ምንጭ አዮን ሽፋን ሂደት በመሠረቱ ከሌሎች የሽፋን ቴክኖሎጂዎች ጋር ተመሳሳይ ነው፣ እና እንደ የስራ ክፍሎችን መትከል እና ቫክዩም ማድረግ ያሉ አንዳንድ ስራዎች ከእንግዲህ አይደገሙም።

1. የስራ ክፍሎችን በቦምብ ማጽዳት

ከመቀባቱ በፊት የአርጎን ጋዝ በ2 × 10-2Pa ክፍተት ወደ ሽፋን ክፍሉ ውስጥ ይገባል።

የ 20% የግዴታ ዑደት እና 800-1000V የስራ ቦታ አድልዎ ያለው የ pulse bias የኃይል አቅርቦትን ያብሩ።

የአርክ ኃይል ሲበራ፣ ቀዝቃዛ የመስክ ቅስት ብርሃን ፈሳሽ ይፈጠራል፣ ይህም ከአርክ ምንጭ ከፍተኛ መጠን ያለው የኤሌክትሮን ፍሰት እና የቲታኒየም አዮን ፍሰትን ያመነጫል፣ ይህም ከፍተኛ ጥግግት ያለው ፕላዝማ ይፈጥራል። የቲታኒየም አዮን በስራ ቦታው ላይ በሚተገበር አሉታዊ ከፍተኛ አድልዎ ግፊት ስር ወደ ስራ ቦታው ውስጥ መርፌውን ያፋጥናል፣ በስራ ቦታው ላይ የተከማቹትን ቀሪ ጋዝ እና ብክለቶች ያፈነዳል እና ያፈሳል፣ እና የስራ ቦታውን ገጽ ያጸዳል እና ያጸዳል፤ በተመሳሳይ ጊዜ፣ በሽፋን ክፍሉ ውስጥ ያለው የክሎሪን ጋዝ በኤሌክትሮኖች አዮኒዝድ ይደረጋል፣ እና የአርጎን አየኖች የስራ ቦታውን ወለል የቦምብ ድብደባ ያፋጥኑታል።

ስለዚህ የቦምብ ድብደባ የማጽዳት ውጤት ጥሩ ነው። የቦምብ ድብደባ ጽዳት 1 ደቂቃ ያህል ብቻ ነው የሥራውን ክፍል ማጽዳት የሚችለው፣ እሱም "ዋና ቅስት ቦምብ ድብደባ" ተብሎ የሚጠራው። ከፍተኛ የቲታኒየም አየኖች ብዛት ስላለው፣ ትንሽ የቅስት ምንጭ ለረጅም ጊዜ የሥራውን ክፍል ለማፈንዳት እና ለማጽዳት ጥቅም ላይ ከዋለ፣ የሥራው ክፍል የሙቀት መጠን ለከፍተኛ ሙቀት የተጋለጠ ሲሆን የመሳሪያው ጠርዝም ለስላሳ ሊሆን ይችላል። በአጠቃላይ ምርት፣ ትናንሽ የቅስት ምንጮች ከላይ እስከ ታች አንድ በአንድ ይከፈታሉ፣ እና እያንዳንዱ ትንሽ የቅስት ምንጭ የቦምብ ድብደባ የማጽዳት ጊዜ 1 ደቂቃ ያህል አለው።

(1) የቲታኒየም ሽፋን የታችኛው ሽፋን

በፊልሙ እና በንጣፉ መካከል ያለውን ማጣበቂያ ለማሻሻል፣ ቲታኒየም ናይትራይድ ከመቀባቱ በፊት የንፁህ ቲታኒየም ንጣፍ ንብርብር ብዙውን ጊዜ ይሸፈናል። የቫክዩም ደረጃውን ወደ 5 × 10-2-3 × 10-1Pa ያስተካክሉ፣ የስራውን ንጣፉ ባየራል ቮልቴጅ ወደ 400-500V ያስተካክሉ፣ እና የ pulse bias ኃይል አቅርቦት የስራ ዑደትን ወደ 40% ~ 50% ያስተካክሉ። አሁንም ቀዝቃዛ የመስክ አርክ ፍሰት ለመፍጠር ትናንሽ ቅስት ምንጮችን አንድ በአንድ ያቀጣጥላሉ። የስራውን ንጣፉ አሉታዊ ባየራል ቮልቴጅ በመቀነሱ ምክንያት የቲታኒየም አየኖች ኃይል ይቀንሳል። የስራውን ንጣፉ ላይ ከደረሱ በኋላ የስፕተር ውጤት ከተቀማጭ ውጤት ያነሰ ነው፣ እና በቲታኒየም ናይትራይድ ጠንካራ የፊልም ንብርብር እና በንጣፉ መካከል ያለውን የማያያዝ ኃይል ለማሻሻል በስራው ንጣፉ ላይ የቲታኒየም ሽግግር ንብርብር ይፈጠራል። ይህ ሂደት የስራውን ንጣፉ የማሞቅ ሂደትም ነው። የንፁህ ቲታኒየም ኢላማ ሲወጣ፣ በፕላዝማው ውስጥ ያለው ብርሃን ሰማያዊ ነው።

1. የአሞኒየድ ጎድጓዳ ሳህን ጠንካራ ፊልም ሽፋን

የቫክዩም ዲግሪውን ወደ 3 × 10 ያስተካክሉ^-1-5ፓ፣ የስራውን ባዮስ ቮልቴጅ ወደ 100-200V ያስተካክሉት፣ እና የ pulse bias የኃይል አቅርቦትን የስራ ዑደት ወደ 70% ~ 80% ያስተካክሉ። ናይትሮጅን ከገባ በኋላ፣ ቲታኒየም ከቅስት ፈሳሽ ፕላዝማ ጋር የተቀላቀለ ምላሽ ሲሆን የቲታኒየም ናይትሬድ ጠንካራ ፊልም ለማስገባት ይረዳል። በዚህ ጊዜ፣ በቫክዩም ክፍሉ ውስጥ ያለው የፕላዝማ ብርሃን ቼሪ ቀይ ነው። C ከሆነ₂H₂, ኦ₂ወዘተ. ታውቀዋል፣ TiCN፣ TiO2₂ወዘተ የፊልም ንብርብሮችን ማግኘት ይቻላል።

–ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዠንሁዋ፣ ሀየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራች