U Prucessu di Small Arc Source Ion Coating

U prucessu di u revestimentu di ioni di fonte d'arcu catodicu hè basicamente u listessu cum'è l'altri tecnulugii di rivestimentu, è alcune operazioni cum'è a stallazione di pezzi di travagliu è l'aspiratore ùn sò più ripetuti.

1.Bombardment pulizia di u travagliu

Prima di u revestimentu, u gasu argon hè introduttu in a camera di revestimentu cù un vacuum di 2 × 10-2Pa.

Accende l'alimentazione di impulsu bias, cù un ciclu di duty di 20% è un bias di u travagliu di 800-1000V.

Quandu a putenza di l'arcu hè attivata, hè generata una scarica di luce d'arcu di campu friddu, chì emette una grande quantità di corrente d'elettroni è corrente di ioni di titaniu da a fonte d'arcu, furmendu un plasma d'alta densità.L'ioni di titaniu accelera a so iniezione in a pezza sottu a pressione negativa alta preghjudiziu applicata à u travagliu, bombardendu è sputtering u gasu residuale è i contaminanti adsorbiti nantu à a superficia di u travagliu, è pulisce è purificà a superficia di u travagliu;À u listessu tempu, u gasu di cloru in a camera di revestimentu hè ionizatu da l'elettroni, è l'ioni di argon acceleranu u bumbardamentu di a superficia di u travagliu.

Dunque, l'effettu di pulizia di u bumbardamentu hè bonu.Solu circa 1 minutu di pulizia di bumbardamentu pò pulisce u pezzu di travagliu, chì hè chjamatu "bombardamentu di l'arcu principale".A causa di l'alta massa di ioni di titaniu, se una piccula fonte d'arcu hè aduprata per bombarde è pulisce a pezza per troppu longu, a temperatura di u travagliu hè propensu à surriscaldamentu, è u bordu di l'utensili pò diventà dolce.In a pruduzzione generale, i fonti d'arcu chjuchi sò attivati ​​unu per unu da u cima à u fondu, è ogni fonti d'arcu chjucu hà un tempu di pulizia di bumbardamentu di circa 1 minutu.

(1) Rivestimentu di u fondu di titaniu

Per migliurà l'aderenza trà a film è u sustrato, una strata di sustrato di titaniu puru hè generalmente rivestita prima di rivestimentu di nitruru di titaniu.Aghjustate u nivellu di vacuum à 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, aghjustate a tensione di bias di u travagliu à 400-500V, è aghjustate u ciclu di duty di l'alimentazione di impulsu bias à 40% ~ 50%.Sempre accendendu fonti d'arcu petite una per una per generà una scarica di arcu di campu friddu.A causa di a diminuzione di a tensione di preghjudiziu negativu di u travagliu, l'energia di ioni di titaniu diminuisce.Dopu avè ghjuntu à u pezzu di travagliu, l'effettu di sputtering hè menu di l'effettu di deposizione, è una capa di transizione di titaniu hè furmata nantu à a pezza per migliurà a forza di ligame trà a strata di film duru di nitruru di titaniu è u sustrato.Stu prucessu hè ancu u prucessu di riscalda u travagliu.Quandu u mira di titaniu puru hè scaricatu, a luce in u plasma hè blu azzurru.

1.Ammoniated bowl film duru coating

Aghjustate u gradu di vacuum à 3 × 10^-1-5Pa, aghjustate a tensione di bias di u travagliu à 100-200V, è aghjustate u ciculu di duty di l'alimentazione di bias di impulsu à 70% ~ 80%.Dopu chì u nitrogenu hè introduttu, u titaniu hè una reazione cumminata cù u plasma di scaricamentu d'arcu per deposità una film dura di nitruru di titaniu.À questu puntu, a luce di u plasma in a camera di vacuum hè rossu cirasa.Se C₂H₂, O₂, etc. sò introduttu, TiCN, TiO₂, etc. strati di film pò esse acquistatu.

-Stu articulu hè statu liberatu da Guangdong Zhenhua, aU fabricatore di macchine di rivestimentu di vacuum