ຂະບວນການເຄືອບໄອອອນແຫຼ່ງກຳເນີດກາໂຕດອາກແມ່ນຄືກັນກັບເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບອື່ນໆ, ແລະ ການປະຕິບັດງານບາງຢ່າງເຊັ່ນ: ການຕິດຕັ້ງຊິ້ນວຽກ ແລະ ການດູດຝຸ່ນຈະບໍ່ເຮັດຊ້ຳອີກຕໍ່ໄປ.
1. ການເຮັດຄວາມສະອາດຊິ້ນວຽກດ້ວຍລະເບີດ
ກ່ອນການເຄືອບ, ອາຍແກັສອາກອນຖືກນຳເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງເຄືອບດ້ວຍສູນຍາກາດ 2 × 10-2Pa.
ເປີດແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟແບບກຳມະຈອນ, ດ້ວຍວົງຈອນການເຮັດວຽກ 20% ແລະ ອຳນາດຂອງຊິ້ນວຽກ 800-1000V.
ເມື່ອພະລັງງານໄຟຟ້າຖືກເປີດ, ການປ່ອຍແສງໄຟຟ້າໄຟຟ້າຈາກສະໜາມເຢັນຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນ, ເຊິ່ງປ່ອຍກະແສໄຟຟ້າເອເລັກຕຣອນ ແລະ ກະແສໄຟຟ້າໄອອອນໄທທານຽມຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍອອກຈາກແຫຼ່ງໄຟຟ້າ, ປະກອບເປັນພລາສມາທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ. ໄອອອນໄທທານຽມເລັ່ງການສີດເຂົ້າໄປໃນຊິ້ນວຽກພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນທາງລົບສູງທີ່ໃຊ້ກັບຊິ້ນວຽກ, ປ່ອຍອາຍແກັສທີ່ເຫຼືອ ແລະ ມົນລະພິດທີ່ດູດຊຶມຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຊິ້ນວຽກ, ແລະ ທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ເຮັດໃຫ້ໜ້າດິນຂອງຊິ້ນວຽກບໍລິສຸດ; ໃນເວລາດຽວກັນ, ອາຍແກັສຄລໍຣີນໃນຫ້ອງເຄືອບຈະຖືກໄອອອນໂດຍເອເລັກຕຣອນ, ແລະ ໄອອອນອາກອນເລັ່ງການລະເບີດຂອງໜ້າດິນຂອງຊິ້ນວຽກ.
ດັ່ງນັ້ນ, ຜົນກະທົບຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍການຖິ້ມລະເບີດຈຶ່ງດີ. ພຽງແຕ່ປະມານ 1 ນາທີຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍການຖິ້ມລະເບີດສາມາດເຮັດຄວາມສະອາດຊິ້ນວຽກໄດ້, ເຊິ່ງເອີ້ນວ່າ "ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍອາກຫຼັກ". ເນື່ອງຈາກມີມວນສານຂອງໄອອອນໄທທານຽມສູງ, ຖ້າໃຊ້ແຫຼ່ງອາກຂະໜາດນ້ອຍເພື່ອຖິ້ມລະເບີດ ແລະ ເຮັດຄວາມສະອາດຊິ້ນວຽກເປັນເວລາດົນເກີນໄປ, ອຸນຫະພູມຂອງຊິ້ນວຽກມັກຈະຮ້ອນເກີນໄປ, ແລະ ຂອບເຄື່ອງມືອາດຈະອ່ອນລົງ. ໃນການຜະລິດໂດຍທົ່ວໄປ, ແຫຼ່ງອາກຂະໜາດນ້ອຍຈະຖືກເປີດເທື່ອລະອັນຈາກເທິງຫາລຸ່ມ, ແລະ ແຕ່ລະແຫຼ່ງອາກຂະໜາດນ້ອຍມີເວລາເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍການຖິ້ມລະເບີດປະມານ 1 ນາທີ.
(1) ຊັ້ນລຸ່ມເຄືອບ titanium
ເພື່ອປັບປຸງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຟິມ ແລະ ວັດສະດຸຮອງພື້ນ, ຊັ້ນຂອງວັດສະດຸຮອງພື້ນ titanium ບໍລິສຸດມັກຈະຖືກເຄືອບກ່ອນການເຄືອບ titanium nitride. ປັບລະດັບສູນຍາກາດໃຫ້ເປັນ 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, ປັບແຮງດັນໄຟຟ້າຂອງຊິ້ນວຽກໃຫ້ເປັນ 400-500V, ແລະ ປັບວົງຈອນການເຮັດວຽກຂອງແຫຼ່ງພະລັງງານ pulse bias ເປັນ 40% ~ 50%. ຍັງຄົງຈູດແຫຼ່ງໄຟຟ້າຂະໜາດນ້ອຍເທື່ອລະອັນເພື່ອສ້າງການປ່ອຍໄຟຟ້າຈາກສະໜາມເຢັນ. ເນື່ອງຈາກການຫຼຸດລົງຂອງແຮງດັນໄຟຟ້າທາງລົບຂອງຊິ້ນວຽກ, ພະລັງງານຂອງໄອອອນ titanium ຫຼຸດລົງ. ຫຼັງຈາກໄປຮອດຊິ້ນວຽກ, ຜົນກະທົບຂອງການສະເປຣດເຕີຈະໜ້ອຍກວ່າຜົນກະທົບຂອງການວາງຊັ້ນ, ແລະ ຊັ້ນການຫັນປ່ຽນ titanium ຈະຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢູ່ເທິງຊິ້ນວຽກເພື່ອປັບປຸງແຮງຍຶດຕິດລະຫວ່າງຊັ້ນຟິມແຂງ titanium nitride ແລະ ວັດສະດຸຮອງພື້ນ. ຂະບວນການນີ້ຍັງເປັນຂະບວນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແກ່ຊິ້ນວຽກ. ເມື່ອເປົ້າໝາຍ titanium ບໍລິສຸດຖືກປ່ອຍອອກມາ, ແສງໃນ plasma ຈະເປັນສີຟ້າເຂັ້ມ.
1. ການເຄືອບຟິມແຂງຂອງໂຖປັດສະວະທີ່ມີທາດແອມໂມເນຍ
ປັບລະດັບສູນຍາກາດໃຫ້ເປັນ 3 × 10-1-5Pa, ປັບແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິຂອງຊິ້ນວຽກໃຫ້ເປັນ 100-200V, ແລະ ປັບວົງຈອນການເຮັດວຽກຂອງແຫຼ່ງພະລັງງານອະຄະຕິກຳມະຈອນໃຫ້ເປັນ 70% ~ 80%. ຫຼັງຈາກໄນໂຕຣເຈນຖືກນຳມາໃຊ້, ທາດໄທທານຽມຈະເກີດປະຕິກິລິຍາຮ່ວມກັບພລາສມາທີ່ປ່ອຍໄຟຟ້າອາກເພື່ອວາງຟິມແຂງທາດໄທທານຽມໄນໄຕຣດ. ໃນຈຸດນີ້, ແສງຂອງພລາສມາໃນຫ້ອງສູນຍາກາດຈະເປັນສີແດງເຂັ້ມ. ຖ້າ C2H2, ໂອ2, ແລະອື່ນໆແມ່ນໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີ, TiCN, TiO2, ແລະອື່ນໆ. ຊັ້ນຟິມສາມາດໄດ້ຮັບ.
– ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ Guangdong Zhenhua, aຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດ
ເວລາໂພສ: ມິຖຸນາ-01-2023