Катоддук жаа булагы менен иондук каптоо процесси башка каптоо технологияларына окшош жана жумуш бөлүктөрүн орнотуу жана чаң соргуч менен тазалоо сыяктуу кээ бир операциялар мындан ары кайталанбайт.
1. Жумушчу бөлүктөрүн бомбалоо менен тазалоо
Каптоодон мурун, каптоо камерасына 2×10-2Па вакуум менен аргон газы киргизилет.
Жумуш цикли 20% жана жумуш бөлүгүнүн чыңалуусу 800-1000 В болгон импульстук кубат булагын күйгүзүңүз.
Дога кубаты күйгүзүлгөндө, муздак талаанын дога жарыгынын разряддары пайда болот, ал дога булагынан көп сандаган электрондук ток жана титан ионунун тогун бөлүп чыгарып, жогорку тыгыздыктагы плазманы түзөт. Титан иону даярдалуучу бөлүккө колдонулган терс жогорку басым астында анын сайылышын тездетет, даярдалуучу бөлүктүн бетинде адсорбцияланган калдык газды жана булгоочу заттарды бомбалап жана чачыратып, даярдалуучу бөлүктүн бетин тазалайт жана тазалайт; Ошол эле учурда, каптоо камерасындагы хлор газы электрондор менен иондолот, ал эми аргон иондору даярдалуучу бөлүктүн бетин бомбалоону тездетет.
Ошондуктан, бомбалоо менен тазалоо эффектиси жакшы. Бомбалоо менен тазалоонун 1 мүнөтү гана жумуш бөлүгүн тазалай алат, бул "негизги жаа бомбалоосу" деп аталат. Титан иондорунун массасынын жогору болушунан улам, эгерде жумуш бөлүгүн бомбалоо жана тазалоо үчүн кичинекей жаа булагы өтө узак убакыт колдонулса, жумуш бөлүгүнүн температурасы ысып кетиши мүмкүн жана шаймандын чети жумшарып калышы мүмкүн. Жалпы өндүрүштө кичинекей жаа булактары бирден жогорудан төмөн карай күйгүзүлөт жана ар бир кичинекей жаа булагын бомбалоо менен тазалоо убактысы болжол менен 1 мүнөткө созулат.
(1) Титандын төмөнкү катмарын каптоо
Плёнка менен субстраттын ортосундагы адгезияны жакшыртуу үчүн, адатта, титан нитридин каптоодон мурун таза титан субстратынын катмары капталат. Вакуумдун деңгээлин 5×10-2-3×10-1Пага чейин тууралаңыз, жумуш бөлүкчөсүнүн ийилүү чыңалуусун 400-500Вга чейин тууралаңыз жана импульстук ийилүү кубат булагынын иштөө циклин 40%~50%га чейин тууралаңыз. Муздак талаанын ийилүү разрядын пайда кылуу үчүн кичинекей жаа булактарын бирден күйгүзүңүз. Жумуш бөлүкчөсүнүн терс ийилүү чыңалуусунун төмөндөшүнөн улам, титан иондорунун энергиясы азаят. Жумуш бөлүкчөсүнө жеткенден кийин, чачыратуу эффектиси чөкмө эффектинен азыраак болот жана титан нитридинин катуу пленка катмары менен субстраттын ортосундагы байланыш күчүн жакшыртуу үчүн жумуш бөлүкчөсүндө титан өткөөл катмары пайда болот. Бул процесс ошондой эле жумуш бөлүкчөсүн ысытуу процесси болуп саналат. Таза титан бута разряддалганда, плазмадагы жарык көк түстө болот.
1. Аммиак кошулган идиш катуу пленка менен капталган
Вакуумдук даражаны 3×10го тууралаңыз-1-5Па, жумуш бөлүкчөсүнүн чыңалуусун 100-200В чейин тууралаңыз жана импульстук кубат булагынын иштөө циклин 70% ~ 80% чейин тууралаңыз. Азот киргизилгенден кийин, титан титан нитридинин катуу пленкасын пайда кылуу үчүн дого разряд плазмасы менен айкалышкан реакцияга кирет. Бул учурда вакуум камерасындагы плазманын жарыгы кызыл түстө болот. Эгерде C2H2, О2ж.б. киргизилет, TiCN, TiO2ж.б. пленка катмарларын алууга болот.
–Бул макала Гуандун Чжэньхуа тарабынан жарыяланган,вакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсү
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 1-июну