Кіші доға көзінің иондық жабындарын жабу процесі

Катодтық доға көзінің иондық жабындарын жабу процесі басқа жабу технологияларымен бірдей, ал дайындамаларды орнату және шаңсорғышпен тазалау сияқты кейбір операциялар енді қайталанбайды.

1. Дайындамаларды бомбалау арқылы тазалау

Қаптау алдында жабын камерасына 2×10-2Па вакууммен аргон газы енгізіледі.

Жұмыс циклі 20% және жұмыс бөлігінің кернеуі 800-1000 В болатын импульстік ығысу қуат көзін қосыңыз.

Доға қуаты қосылған кезде, суық өрісті доға жарығының разряды пайда болады, ол доға көзінен көп мөлшерде электрон тогы мен титан ионының тогын шығарады, бұл жоғары тығыздықтағы плазманы құрайды. Титан ионы дайындамаға қолданылатын теріс жоғары қысым кезінде дайындамаға инъекцияны жеделдетеді, дайындаманың бетінде адсорбцияланған қалдық газ бен ластаушы заттарды бомбалайды және шашыратады, сондай-ақ дайындаманың бетін тазалайды және тазартады; Сонымен қатар, жабын камерасындағы хлор газы электрондармен иондалады, ал аргон иондары дайындаманың бетін бомбалауды жеделдетеді.

Сондықтан, бомбалауды тазалау әсері жақсы. Бомбалауды тазалаудың шамамен 1 минуты ғана дайындаманы тазалай алады, бұл «негізгі доғалық бомбалау» деп аталады. Титан иондарының жоғары массасына байланысты, егер дайындаманы бомбалау және тазалау үшін кішкентай доға көзі тым ұзақ уақыт пайдаланылса, дайындама температурасы қызып кетуге бейім және құралдың шеті жұмсаруы мүмкін. Жалпы өндірісте кішкентай доға көздері жоғарыдан төмен қарай бір-бірлеп қосылады және әрбір кішкентай доға көзінің бомбалауды тазалау уақыты шамамен 1 минутты құрайды.

(1) Титанның төменгі қабатын жабады

Пленка мен негіз арасындағы адгезияны жақсарту үшін, әдетте, титан нитридін жабыстырмас бұрын таза титан негіз қабаты жағылады. Вакуум деңгейін 5 × 10-2-3 × 10-1Па-ға дейін реттеңіз, дайындаманың ығысу кернеуін 400-500 В-қа дейін реттеңіз және импульстік ығысу қуат көзінің жұмыс циклін 40% ~ 50% -ға дейін реттеңіз. Суық өріс доға разрядын жасау үшін кішкентай доға көздерін бір-бірлеп тұтатыңыз. Дайындаманың теріс ығысу кернеуінің төмендеуіне байланысты титан иондарының энергиясы төмендейді. Дайындамаға жеткеннен кейін шашыраңқы әсер тұндыру әсерінен аз болады және титан нитриді қатты пленка қабаты мен негіз арасындағы байланыс күшін жақсарту үшін дайындамада титан өтпелі қабат пайда болады. Бұл процесс сонымен қатар дайындаманы қыздыру процесі болып табылады. Таза титан нысанасы разрядталған кезде плазмадағы жарық көкшіл болады.

1. Аммиак қосылған ыдыстың қатты пленкамен қапталуы

Вакуум дәрежесін 3×10-ға реттеңіз^-1-5Па, жұмыс бөлігінің ығысу кернеуін 100-200 В дейін реттеңіз және импульстік ығысу қуат көзінің жұмыс циклін 70% ~ 80% дейін реттеңіз. Азот енгізілгеннен кейін, титан доғалық разряд плазмасымен біріктірілген реакция арқылы титан нитриді қатты қабықшасын түзеді. Осы кезде вакуумдық камерадағы плазма жарығы шие қызыл болады. Егер C болса.₂H₂, O₂және т.б. енгізіледі, TiCN, TiO₂және т.б. пленка қабаттарын алуға болады.

–Бұл мақаланы Гуандун Чжэньхуа жариялады,вакуумдық жабын машинасын өндіруші