Раванди пӯшонидани ионии манбаи камони катодӣ асосан бо дигар технологияҳои пӯшондан якхела аст ва баъзе амалиётҳо ба монанди насб кардани қисмҳои корӣ ва чангкашак дигар такрор намешаванд.
1. Тозакунии қисмҳои корӣ бо бомбаборд
Пеш аз пӯшиш, гази аргон бо вакууми 2×10-2Па ба камераи пӯшиш ворид карда мешавад.
Манбаи барқи импулсӣ бо давраи кори 20% ва шиддати қисмати корӣ 800-1000V-ро фаъол созед.
Вақте ки қувваи камон фаъол мешавад, разряди нури камони майдони хунук ба вуҷуд меояд, ки миқдори зиёди ҷараёни электрон ва ҷараёни иони титанро аз манбаи камон хориҷ мекунад ва плазмаи зичии баландро ташкил медиҳад. Иони титан воридшавии худро ба қисмати корӣ таҳти фишори манфии баланди ба қисмати корӣ татбиқшаванда суръат мебахшад, гази боқимонда ва ифлоскунандаҳоеро, ки дар сатҳи қисмати корӣ адсорбсия шудаанд, бомбаборон ва пошидани он мекунад ва сатҳи қисмати корро тоза ва тоза мекунад; Дар айни замон, гази хлор дар камераи рӯйпӯш аз ҷониби электронҳо ионизатсия мешавад ва ионҳои аргон бомбаборонкунии сатҳи қисмати корро суръат мебахшанд.
Аз ин рӯ, таъсири тозакунии бомбаборд хуб аст. Танҳо тақрибан 1 дақиқа тозакунии бомбаборд метавонад қисмати корро тоза кунад, ки онро "бомббордкунии асосии камон" меноманд. Аз сабаби массаи баланди ионҳои титан, агар манбаи хурди камон барои бомбабордкунӣ ва тозакунии қисмати корӣ муддати тӯлонӣ истифода шавад, ҳарорати қисмати корӣ ба гармии аз ҳад зиёд майл дорад ва канори асбоб метавонад нарм шавад. Дар истеҳсолоти умумӣ, манбаъҳои хурди камон як ба як аз боло то поён фаъол карда мешаванд ва ҳар як манбаи хурди камон вақти тозакунии бомбабордкунӣ тақрибан 1 дақиқа дорад.
(1) Қабати поёнии титанро пӯшонед
Барои беҳтар кардани часпакӣ байни плёнка ва субстрат, одатан пеш аз пӯшонидани нитриди титан як қабати субстрати титани холис пӯшонида мешавад. Сатҳи вакуумро ба 5×10-2-3×10-1Па танзим кунед, шиддати майли кориро ба 400-500В танзим кунед ва давраи кори манбаи қувваи импулсии майлиро ба 40%~50% танзим кунед. Манбаъҳои хурди камонро як ба як фурӯзон кунед, то ихроҷи камони майдони хунукро ба вуҷуд оред. Аз сабаби коҳиши шиддати майли манфии кори кор, энергияи ионҳои титан кам мешавад. Пас аз расидан ба кор, таъсири пошидан аз таъсири таҳшиншавӣ камтар аст ва дар кор як қабати гузариши титан ташкил карда мешавад, то қувваи пайванд байни қабати плёнкаи сахти нитриди титан ва субстрат беҳтар карда шавад. Ин раванд инчунин раванди гарм кардани кор аст. Вақте ки ҳадафи титани холис ихроҷ мешавад, нур дар плазма кабуди кабуд аст.
1. Пӯшиши сахти плёнкаи косаи аммиакӣ
Дараҷаи вакуумро ба 3×10 танзим кунед-1-5Па, шиддати майли қисмати корро ба 100-200В танзим кунед ва давраи кори манбаи қувваи импулсиро ба 70% ~ 80% танзим кунед. Пас аз ворид кардани нитроген, титан бо плазмаи разряди камон реаксияи якҷоя мешавад, то плёнкаи сахти нитриди титанро ҷамъ кунад. Дар ин лаҳза, нури плазма дар камераи вакуумӣ сурхи гелосӣ аст. Агар C2H2, О2ва ғайра муаррифӣ мешаванд, TiCN, TiO22ва ғайра қабатҳои плёнкаро ба даст овардан мумкин аст.
–Ин мақола аз ҷониби Гуандун Чжэнхуа нашр шудааст,истеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣ
Вақти нашр: 01 июни соли 2023