Ku soo dhawoow Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
calanka_halka ah

Geedi socodka Dahaarka Ion-ka ee Ion-ka Yar ee Arc-ka

Isha maqaalka: Zhenhua vacuum
Akhri: 10
La daabacay: 23-06-01

Habka dahaarka ion-ka ee katooliga ah asal ahaan waa la mid yahay teknoolojiyada kale ee dahaarka, qaar ka mid ah hawlgallada sida rakibidda qaybaha shaqada iyo faakiyuumka mar dambe lama soo celiyo.

微信图片_202302070853081

1. Nadiifinta bambooyinka shaqada

Kahor inta aan la dahaadhin, gaaska argon waxaa lagu soo daraa qolka dahaadhka iyadoo la isticmaalayo faakuum 2 × 10-2Pa ah.

Daar korontada garaaca wadnaha, oo leh wareegga shaqada ee 20% iyo eexda shaqada ee 800-1000V.

Marka la shido awoodda qaansada, waxaa la soo saaraa iftiin qabow oo qaansada goobta ah, kaas oo soo saara xaddi badan oo koronto elektaroonik ah iyo hadda ion titanium ah oo ka imanaya isha qaansada, taasoo sameysa balaasma cufnaan sare leh. Ayoonka titanium wuxuu dardar geliyaa duritaankiisa shaqada iyadoo la raacayo cadaadiska sare ee taban ee lagu dabaqayo shaqada, isagoo duqeynaya oo ku buufinaya gaaska haray iyo wasakhda ku nuugta dusha sare ee shaqada, iyo nadiifinta iyo nadiifinta dusha sare ee shaqada; Isla mar ahaantaana, gaaska koloriin ee ku jira qolka dahaarka waxaa ion ku sameeya elektaroono, ayoonka argon-na waxay dardar geliyaan duqeynta dusha sare ee shaqada.

Sidaa darteed, saameynta nadiifinta duqeyntu waa mid wanaagsan. Kaliya qiyaastii 1 daqiiqo oo nadiifin ah oo bamgareyn ah ayaa nadiifin karta shaqada, taas oo loo yaqaan "bamgareynta qaansada weyn". Sababtoo ah cufnaanta sare ee ion-yada titanium, haddii il qaanso yar loo isticmaalo in lagu duqeeyo oo lagu nadiifiyo shaqada muddo aad u dheer, heerkulka shaqada ayaa u nugul kulaylka, geeska qalabkuna wuxuu noqon karaa mid jilicsan. Guud ahaan wax soo saarka, ilo qaanso yar yar ayaa mid mid loo shidaa laga bilaabo kor ilaa hoos, il qaanso yar kastana wuxuu leeyahay waqti nadiifin bamgareyn ah oo qiyaastii 1 daqiiqo ah.

(1) Dahaarka lakabka hoose ee titanium-ka

Si loo hagaajiyo isku-xidhka u dhexeeya filimka iyo substrate-ka, lakab ka mid ah substrate-ka titanium-ka saafiga ah ayaa badanaa la dahaadhaa ka hor inta aan la dahaadhin nitride-ka titanium. Heerka faakiyuumka u hagaaji 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, hagaaji danabka eexda shaqada ilaa 400-500V, oo hagaaji wareegga shaqada ee korontada ee eexda garaaca ilaa 40% ~ 50%. Wali shid ilo qaanso yar yar mid mid si loo soo saaro dheecaanka qabsashada goobta qabow. Sababtoo ah hoos u dhaca danabka eexda taban ee shaqada, tamarta ion-yada titanium-ka ayaa hoos u dhacda. Ka dib marka la gaaro shaqada, saameynta faafinta way ka yar tahay saameynta dhigista, lakabka kala-guurka titanium-kana waxaa lagu sameeyaa shaqada si loo hagaajiyo xoogga isku-xidhka ee u dhexeeya lakabka filimka adag ee titanium nitride iyo substrate-ka. Habkani sidoo kale waa habka lagu kululeeyo shaqada. Marka bartilmaameedka titanium-ka saafiga ah la daadiyo, iftiinka ku jira balaasmaha waa buluug buluug ah.

1. Baaldi ammonia ah oo dahaar adag leh

Hagaaji heerka faakuumka ilaa 3 × 10-1-5Pa, ku hagaaji danabka eexda shaqada ilaa 100-200V, oo ku hagaaji wareegga shaqada ee korontada ee eexda garaaca ilaa 70% ~ 80%. Ka dib marka la soo bandhigo nitrogen, titanium waa falgal isku dhafan oo leh balaasmaha qulqulka arc si loo dhigo filimka adag ee titanium nitride. Waqtigan xaadirka ah, iftiinka balaasmaha ee qolka faakiyuumka waa casaan cherry ah. Haddii C2H2, O2iwm. ayaa la soo bandhigayaa, TiCN, TiO22lakabyada filimka, iwm. waa la heli karaa.

– Maqaalkan waxaa soo saaray Guangdong Zhenhua, oo ahsoo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumka


Waqtiga boostada: Juun-01-2023