O le Fa'agasologa o le Ufiufiina o le Ion Puna Laiti o le Arc

O le faagasologa o le ufiufiina o le cathodic arc source ion e tutusa lava ma isi tekinolosi ufiufi, ma o nisi gaioiga e pei o le faʻapipiʻiina o workpieces ma le faʻamamaina o le masini e le toe faia.

1. Fa'amamaina o mea faigaluega i le pomu

A'o le'i valiina, e fa'aofiina le kesi argon i totonu o le potu vali i se masini e lagona ai le gaogao (vacuum) e 2 × 10-2Pa.

Fa'aola le sapalai eletise o le pulse bias, fa'atasi ai ma le ta'amilosaga tiute e 20% ma le workpiece bias e 800-1000V.

A fa'agaoioia le malosiaga o le arc, e fa'atupuina ai se fa'amalama malulu o le arc, lea e fa'asalalauina ai le tele o le eletise eletise ma le titanium ion current mai le puna o le arc, ma fausia ai se plasma maualuga. E fa'avavevaveina e le titanium ion lona tuiina i totonu o le workpiece i lalo o le mamafa maualuga leaga e fa'aoga i le workpiece, e fa'apopo'i ma sasa'a ai le kesi ma mea leaga o totoe o lo'o mitiia i luga o le workpiece, ma fa'amamāina ma fa'amamāina le luga o le workpiece; I le taimi lava e tasi, o le kesi chlorine i totonu o le potu ufiufi e fa'aionized e electrons, ma fa'avavevaveina e argon ions le fa'apopo'iina o le luga o le workpiece.

O le mea lea, e lelei le aafiaga o le fa'amamāina o le pomu. E na'o le tusa ma le 1 minute o le fa'amamāina o le pomu e mafai ona fa'amamāina ai le vaega faigaluega, lea e ta'ua o le "main arc bombardment". Ona o le tele o le titanium ions, afai e fa'aaogaina se tama'i puna o le arc e pomu ma fa'amamā ai le vaega faigaluega mo se taimi umi tele, e faigofie ona vevela le vevela o le vaega faigaluega, ma e ono vaivai ai le pito o le meafaigaluega. I le gaosiga lautele, o tama'i puna o le arc e fa'agaoioia ta'itasi mai luga i lalo, ma o tama'i puna o le arc ta'itasi e tusa ma le 1 minute le taimi e fa'amamā ai le pomu.

（1）Ufiufi vaega pito i lalo o le titanium

Ina ia faʻaleleia atili le pipii i le va o le ata tifaga ma le mea e fai ai le galuega, e masani ona ufiufi se vaega o le mea e fai ai le titanium mama aʻo leʻi ufiufiina i le titanium nitride. Faʻasaʻo le tulaga o le vacuum i le 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, faʻasaʻo le voltage bias o le workpiece i le 400-500V, ma faʻasaʻo le taʻamilosaga o le tiute o le sapalai eletise bias pulse i le 40% ~ 50%. O loʻo faʻamumuina pea puna laiti o le arc taʻitasi e faʻatupuina ai le faʻasaʻolotoina o le arcing o le fanua malulu. Ona o le faʻaitiitia o le voltage bias leaga o le mea e fai ai le galuega, e faʻaitiitia ai le malosi o titanium ions. A maeʻa ona oʻo atu i le mea e fai ai le galuega, e itiiti ifo le aafiaga o le sputtering nai lo le aafiaga o le deposition, ma e fausia ai se vaega o le suiga o le titanium i luga o le mea e fai ai le galuega e faʻaleleia atili ai le malosi o le pipii i le va o le vaega o le ata tifaga malo o le titanium nitride ma le mea e fai ai le galuega. O lenei faiga o le faiga foʻi lea o le faʻavevela o le mea e fai ai le galuega. A faʻasaʻolotoina le titanium mama, o le malamalama i le plasma e lanumoana lanumoana.

1. Ufiufi ata tifaga malo o le pesini Ammoniated

Fetuuna'i le tikeri o le vacuum i le 3 × 10^-1-5Pa, fetu'una'i le voltage bias o le workpiece i le 100-200V, ma fetu'una'i le duty cycle o le pulse bias power supply i le 70%~80%. A mae'a ona fa'aofi le nitrogen, ona fa'aputu lea o le titanium ma le arc discharge plasma e fa'aputu ai le titanium nitride hard film. I le taimi nei, o le malamalama o le plasma i totonu o le vacuum chamber e lanu mumu. Afai o le C₂H₂, O₂, ma isi mea faapena, TiCN, TiO₂, ma isi mea faapena. e mafai ona maua ni vaega o ata tifaga.

–O lenei tusiga na faʻasalalau e Guangdong Zhenhua, o segaosi oloa masini ufiufi vacuum