كىچىك قوس مەنبەسى ئىئون قاپلاش جەريانى

كاتود قوس مەنبەسى ئىئون قاپلاش جەريانى ئاساسەن باشقا قاپلاش تېخنىكىلىرى بىلەن ئوخشاش بولۇپ، بەزى ئىشلەنگەن بۇيۇملارنى ئورنىتىش ۋە چاڭ-توزان سۈمۈرۈش قاتارلىق مەشغۇلاتلار ئەمدى تەكرارلانمايدۇ.

1. ئىشلەنگەن بۇيۇملارنى بومباردىمان قىلىپ تازىلاش

قاپلاشتىن بۇرۇن، ئارگون گازى 2×10-2Pa ۋاكۇئۇم ئارقىلىق قاپلاش كامېراسىغا كىرگۈزۈلىدۇ.

خىزمەت دەۋرىيلىكى %20، خىزمەت بۇيۇمىنىڭ توك بېسىمى 800-1000V بولغان ئىمپۇلس يۆنىلىشلىك توك مەنبەسىنى قوزغىتىڭ.

ياي قۇۋۋىتى ئېچىلغاندا، سوغۇق مەيدان ياي نۇرى قويۇپ بېرىش ھاسىل بولىدۇ، بۇ توك ياي مەنبەسىدىن كۆپ مىقداردا ئېلېكترون توكى ۋە تىتان ئىئون توكىنى تارقىتىپ، يۇقىرى زىچلىقتىكى پلازما ھاسىل قىلىدۇ. تىتان ئىئونى خىزمەت بۇيۇمىغا قوللىنىلغان مەنپىي يۇقىرى بېسىم ئاستىدا خىزمەت بۇيۇمىغا قۇيۇشنى تېزلىتىدۇ، خىزمەت بۇيۇمىنىڭ يۈزىگە سۈمۈرۈلگەن قالدۇق گاز ۋە بۇلغىمىلارنى بومباردىمان قىلىپ چاچرىتىدۇ، ھەمدە خىزمەت بۇيۇمىنىڭ يۈزىنى تازىلايدۇ ۋە ساپلاشتۇرىدۇ؛ شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، قاپلاش كامېراسىدىكى خىلور گازى ئېلېكترونلار تەرىپىدىن ئىئونلاشتۇرۇلىدۇ، ئارگون ئىئونلىرى خىزمەت بۇيۇمىنىڭ يۈزىنى بومباردىمان قىلىشنى تېزلىتىدۇ.

شۇڭلاشقا، بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق تازىلاش ئۈنۈمى ياخشى. پەقەت تەخمىنەن 1 مىنۇت بومباردىمان قىلىش ئارقىلىقلا ئىشلەنگەن بۇيۇمنى تازىلاشقا بولىدۇ، بۇ «ئاساسلىق قوس بومباردىمان قىلىش» دەپ ئاتىلىدۇ. تىتان ئىئونلىرىنىڭ يۇقىرى ماسسىسى سەۋەبىدىن، ئەگەر كىچىك قوس مەنبەسى ئىشلەنگەن بۇيۇمنى ئۇزۇن ۋاقىت بومباردىمان قىلىش ۋە تازىلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلسە، ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ تېمپېراتۇرىسى قىزىپ كېتىشكە مايىل بولۇپ، قورالنىڭ گىرۋىكى يۇمشىشى مۇمكىن. ئادەتتە ئىشلەپچىقىرىشتا، كىچىك قوس مەنبەلىرى ئۈستىدىن ئاستىغا قاراپ بىر-بىرلەپ ئېچىلىدۇ، ھەر بىر كىچىك قوس مەنبەسىنىڭ بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق تازىلاش ۋاقتى تەخمىنەن 1 مىنۇت بولىدۇ.

（1）تىتان ئاستى قەۋىتىنى قاپلاش

پىلاستىنكا بىلەن ئاساسىي قەۋەت ئوتتۇرىسىدىكى يېپىشقاقلىقنى ياخشىلاش ئۈچۈن، ئادەتتە تىتان نىترىدنى قاپلاشتىن بۇرۇن بىر قەۋەت ساپ تىتان ئاساسىي قەۋىتى قاپلىنىدۇ. ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىنى 5×10-2-3×10-1Pa غا تەڭشەڭ، ئىشخانا ئېغىش توك بېسىمىنى 400-500V غا تەڭشەڭ ۋە ئىمپۇلس ئېغىش توك مەنبەسىنىڭ خىزمەت دەۋرىيلىكىنى %40~%50 گە تەڭشەڭ. سوغۇق مەيدان ئېغىش چىقىرىشنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن كىچىك قوس مەنبەلىرىنى بىر-بىرلەپ ئوت ئالدۇرۇڭ. ئىشخانا بۇيۇمىنىڭ مەنپىي ئېغىش توك بېسىمىنىڭ تۆۋەنلىشى سەۋەبىدىن، تىتان ئىئونلىرىنىڭ ئېنېرگىيەسى تۆۋەنلەيدۇ. ئىشخانا بۇيۇمىغا يەتكەندىن كېيىن، چاچراش ئۈنۈمى چۆكمە ئۈنۈمىدىن تۆۋەن بولىدۇ، ھەمدە ئىشخانا بۇيۇمىدا تىتان ئۆتكۈنچى قەۋىتى ھاسىل بولۇپ، تىتان نىترىد قاتتىق پىلاستىنكا قەۋىتى بىلەن ئاساسىي قەۋەت ئوتتۇرىسىدىكى باغلىنىش كۈچىنى ياخشىلايدۇ. بۇ جەريان يەنە ئىشخانا بۇيۇمىنى قىزىتىش جەريانى. ساپ تىتان نىشانى قويۇپ بېرىلگەندە، پلازمادىكى نۇر كۆك رەڭدە بولىدۇ.

1. ئاممونىيلىق قاچا قاتتىق پىلاستىنكا قاپلاش

ۋاكۇئۇم دەرىجىسىنى 3×10 غا تەڭشەڭ^-1-5Pa، ئىشخانا قىسمىنىڭ ئېغىش توك بېسىمىنى 100-200V غا تەڭشەڭ، ھەمدە ئىمپۇلس ئېغىش توك مەنبەسىنىڭ خىزمەت دەۋرىيلىكىنى %70 ~ %80 كە تەڭشەڭ. ئازوت قوشۇلغاندىن كېيىن، تىتان ياي چىقىرىش پلازمىسى بىلەن بىرىكمە رېئاكسىيە قىلىپ، تىتان نىترىد قاتتىق پەردىسىنى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ۋاقىتتا، ۋاكۇئۇم كامېراسىدىكى پلازما نۇرى قىزىل رەڭدە بولىدۇ. ئەگەر C بولسا.₂H₂، ئو₂قاتارلىقلار تونۇشتۇرۇلىدۇ، TiCN، TiO₂، قاتارلىقلار. پىلىنكا قەۋەتلىرىنى ئېلىشقا بولىدۇ.

–بۇ ماقالە گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تەرىپىدىن ئېلان قىلىندى،ۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچى