Procesul de acoperire cu ioni a sursei de arc catodic este practic același cu alte tehnologii de acoperire, iar unele operațiuni precum instalarea pieselor de prelucrat și aspirarea nu se mai repetă.
1.Curăţarea la bombardament a pieselor de prelucrat
Înainte de acoperire, argonul gazos este introdus în camera de acoperire cu un vid de 2 x 10-2 Pa.
Porniți sursa de alimentare cu polarizare prin impuls, cu un ciclu de lucru de 20% și o polarizare a piesei de prelucrat de 800-1000V.
Când puterea arcului este pornită, se generează o descărcare de lumină cu arc rece, care emite o cantitate mare de curent de electroni și curent de ioni de titan din sursa arcului, formând o plasmă de înaltă densitate.Ionul de titan își accelerează injectarea în piesa de prelucrat sub presiunea de polarizare înaltă negativă aplicată piesei de prelucrat, bombardând și pulverizant gazul rezidual și poluanții adsorbiți pe suprafața piesei de prelucrat și curățând și purificând suprafața piesei de prelucrat;În același timp, clorul gazos din camera de acoperire este ionizat de electroni, iar ionii de argon accelerează bombardarea suprafeței piesei de prelucrat.
Prin urmare, efectul de curățare prin bombardament este bun.Doar aproximativ 1 minut de curățare prin bombardament poate curăța piesa de prelucrat, care se numește „bombardament cu arcul principal”.Datorită masei mari de ioni de titan, dacă se folosește o sursă mică de arc pentru a bombarda și curăța piesa de prelucrat prea mult timp, temperatura piesei de prelucrat este predispusă la supraîncălzire, iar marginea sculei poate deveni moale.În producția generală, sursele de arc mic sunt pornite una câte una de sus în jos, iar fiecare sursă de arc mic are un timp de curățare prin bombardament de aproximativ 1 minut.
(1) Acoperire cu strat inferior de titan
Pentru a îmbunătăți aderența dintre film și substrat, un strat de substrat de titan pur este de obicei acoperit înainte de acoperirea cu nitrură de titan.Reglați nivelul de vid la 5×10-2-3×10-1Pa, reglați tensiunea de polarizare a piesei de prelucrat la 400-500V și ajustați ciclul de funcționare al sursei de alimentare cu polarizare a impulsurilor la 40% ~ 50%.Încă se aprinde surse mici de arc una câte una pentru a genera descărcarea arcului rece în câmp.Datorită scăderii tensiunii de polarizare negativă a piesei de prelucrat, energia ionilor de titan scade.După atingerea piesei de prelucrat, efectul de pulverizare este mai mic decât efectul de depunere, iar pe piesa de prelucrat se formează un strat de tranziție de titan pentru a îmbunătăți forța de legătură dintre stratul de film dur de nitrură de titan și substrat.Acest proces este și procesul de încălzire a piesei de prelucrat.Când ținta de titan pur este descărcată, lumina din plasmă este albastru azur.
1. Acoperire cu film dur pentru bol amoniat
Reglați gradul de vid la 3×10-1-5Pa, ajustați tensiunea de polarizare a piesei de prelucrat la 100-200V și ajustați ciclul de funcționare al sursei de polarizare a impulsurilor la 70% ~ 80%.După introducerea azotului, titanul este o reacție combinată cu plasma de descărcare cu arc pentru a depune film dur de nitrură de titan.În acest moment, lumina plasmei din camera de vid este roșu vișiniu.Daca C2H2, O2, etc sunt introduse, TiCN, TiO2, etc se pot obtine straturi de film.
–Acest articol a fost publicat de Guangdong Zhenhua, aproducător de mașini de vopsit în vid
Ora postării: 01-jun-2023