Proces powlekania jonowego za pomocą katodowego źródła łuku elektrycznego jest zasadniczo taki sam, jak w przypadku innych technologii powlekania, a niektóre czynności, takie jak montaż elementów obrabianych i odkurzanie, nie są już powtarzane.
1. Czyszczenie metodą bombardowania elementów obrabianych
Przed powlekaniem do komory powlekającej wprowadzany jest argon przy podciśnieniu 2×10-2Pa.
Włącz zasilacz impulsowy o współczynniku wypełnienia 20% i napięciu polaryzującym przedmiotu obrabianego wynoszącym 800–1000 V.
Po włączeniu zasilania łuku elektrycznego, generowane jest wyładowanie łukowe w zimnym polu, które emituje dużą ilość prądu elektronowego i jonów tytanu ze źródła łuku, tworząc plazmę o wysokiej gęstości. Jony tytanu przyspieszają swój wtrysk w przedmiot obrabiany pod wpływem ujemnego wysokiego ciśnienia polaryzacji przyłożonego do przedmiotu obrabianego, bombardując i rozpylając resztki gazu i zanieczyszczenia zaadsorbowane na powierzchni przedmiotu obrabianego, a także czyszcząc i oczyszczając powierzchnię przedmiotu obrabianego. Jednocześnie chlor gazowy w komorze powlekania jest jonizowany przez elektrony, a jony argonu przyspieszają bombardowanie powierzchni przedmiotu obrabianego.
Efekt czyszczenia metodą bombardowania jest zatem dobry. Wystarczy zaledwie około 1 minuty czyszczenia metodą bombardowania, aby oczyścić przedmiot obrabiany, co nazywa się „bombardowaniem łukiem głównym”. Ze względu na dużą masę jonów tytanu, zbyt długie bombardowanie i czyszczenie przedmiotu obrabianego małym łukiem może prowadzić do jego przegrzania i zmiękczenia krawędzi narzędzia. W typowej produkcji małe źródła łuku są włączane pojedynczo, od góry do dołu, a czas czyszczenia metodą bombardowania każdego małego źródła łuku wynosi około 1 minuty.
(1) Powłoka dolna z tytanu
Aby poprawić przyczepność między powłoką a podłożem, przed nałożeniem azotku tytanu zazwyczaj nakłada się warstwę czystego tytanu. Poziom próżni należy ustawić na 5×10-2-3×10-1Pa, napięcie polaryzacji przedmiotu obrabianego na 400-500V, a współczynnik wypełnienia impulsowego zasilacza polaryzacji na 40%~50%. Nadal zapalając małe źródła łuku, jedno po drugim, generuje się wyładowanie łukowe w zimnym polu. Ze względu na spadek ujemnego napięcia polaryzacji przedmiotu obrabianego, energia jonów tytanu maleje. Po dotarciu do przedmiotu obrabianego efekt rozpylania jest mniejszy niż efekt osadzania, a na przedmiocie obrabianym tworzy się przejściowa warstwa tytanu, która poprawia siłę wiązania między twardą warstwą azotku tytanu a podłożem. Proces ten jest również procesem nagrzewania przedmiotu obrabianego. Po rozładowaniu tarczy z czystego tytanu światło w plazmie ma kolor lazurowo-niebieski.
1.Powłoka twarda misy amoniakalnej
Dostosuj stopień podciśnienia do 3×10-1-5 Pa, ustaw napięcie polaryzacji przedmiotu obrabianego na 100-200 V i dostosuj współczynnik wypełnienia impulsowego zasilacza polaryzacji na 70%-80%. Po wprowadzeniu azotu, tytan reaguje z plazmą wyładowania łukowego, osadzając twardą warstwę azotku tytanu. W tym momencie światło plazmy w komorze próżniowej ma kolor wiśniowoczerwony. Jeśli C2H2, O2Wprowadzono TiCN, TiO itp.2Można uzyskać warstwy folii itp.
– Artykuł ten został opublikowany przez Guangdong Zhenhua,producent maszyn do powlekania próżniowego
Czas publikacji: 01-06-2023