ক্যাথোডিক আর্ক সোর্স আয়ন কোটিং-এর প্রক্রিয়াটি মূলত অন্যান্য কোটিং প্রযুক্তির মতোই, এবং ওয়ার্কপিস স্থাপন ও ভ্যাকুয়াম করার মতো কিছু কার্যক্রমের আর পুনরাবৃত্তি হয় না।
১. ওয়ার্কপিসের বোম্বার্ডমেন্ট ক্লিনিং
কোটিং করার আগে, কোটিং চেম্বারে 2×10-2Pa ভ্যাকুয়ামে আর্গন গ্যাস প্রবেশ করানো হয়।
পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইটি চালু করুন, যার ডিউটি সাইকেল হবে ২০% এবং ওয়ার্কপিস বায়াস হবে ৮০০-১০০০ ভোল্ট।
যখন আর্ক পাওয়ার চালু করা হয়, তখন একটি কোল্ড ফিল্ড আর্ক লাইট ডিসচার্জ উৎপন্ন হয়, যা আর্ক উৎস থেকে প্রচুর পরিমাণে ইলেকট্রন কারেন্ট এবং টাইটানিয়াম আয়ন কারেন্ট নির্গত করে একটি উচ্চ-ঘনত্বের প্লাজমা তৈরি করে। ওয়ার্কপিসে প্রয়োগ করা নেগেটিভ হাই বায়াস প্রেসারের অধীনে টাইটানিয়াম আয়ন ওয়ার্কপিসের মধ্যে দ্রুত প্রবেশ করে, ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে শোষিত অবশিষ্ট গ্যাস এবং দূষক পদার্থকে বোম্বার্ডিং ও স্পাটারিং করে এবং ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠকে পরিষ্কার ও বিশুদ্ধ করে; একই সময়ে, কোটিং চেম্বারের ক্লোরিন গ্যাস ইলেকট্রন দ্বারা আয়নিত হয় এবং আর্গন আয়ন ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে বোম্বার্ডমেন্টকে ত্বরান্বিত করে।
তাই, বোম্বার্ডমেন্ট ক্লিনিং-এর কার্যকারিতা ভালো। মাত্র প্রায় ১ মিনিটের বোম্বার্ডমেন্ট ক্লিনিং-এর মাধ্যমেই ওয়ার্কপিসটি পরিষ্কার করা যায়, যাকে “মেইন আর্ক বোম্বার্ডমেন্ট” বলা হয়। টাইটানিয়াম আয়নের উচ্চ ভরের কারণে, যদি একটি ছোট আর্ক সোর্স ব্যবহার করে ওয়ার্কপিসটিকে খুব বেশি সময় ধরে বোম্বার্ড ও পরিষ্কার করা হয়, তবে ওয়ার্কপিসের তাপমাত্রা অতিরিক্ত গরম হয়ে যাওয়ার প্রবণতা থাকে এবং টুলের ধার নরম হয়ে যেতে পারে। সাধারণ উৎপাদনে, ছোট আর্ক সোর্সগুলো উপর থেকে নিচে এক এক করে চালু করা হয় এবং প্রতিটি ছোট আর্ক সোর্সের বোম্বার্ডমেন্ট ক্লিনিং সময় প্রায় ১ মিনিট।
(1) টাইটানিয়াম নীচের স্তরের প্রলেপ
ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য উন্নত করার জন্য, টাইটানিয়াম নাইট্রাইড লেপ দেওয়ার আগে সাধারণত বিশুদ্ধ টাইটানিয়াম সাবস্ট্রেটের একটি স্তর লেপ দেওয়া হয়। ভ্যাকুয়াম লেভেল 5×10⁻²-3×10⁻¹Pa-তে, ওয়ার্কপিস বায়াস ভোল্টেজ 400-500V-তে এবং পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ডিউটি সাইকেল 40%~50%-এ সামঞ্জস্য করা হয়। কোল্ড ফিল্ড আর্কিং ডিসচার্জ তৈরি করার জন্য ছোট আর্ক উৎসগুলো একের পর এক প্রজ্বলিত করা হয়। ওয়ার্কপিসের নেগেটিভ বায়াস ভোল্টেজ কমে যাওয়ার কারণে টাইটানিয়াম আয়নের শক্তি হ্রাস পায়। ওয়ার্কপিসে পৌঁছানোর পর, স্পাটারিং প্রভাব ডিপোজিশন প্রভাবের চেয়ে কম হয় এবং ওয়ার্কপিসের উপর একটি টাইটানিয়াম ট্রানজিশন লেয়ার তৈরি হয়, যা টাইটানিয়াম নাইট্রাইড হার্ড ফিল্ম লেয়ার এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে বন্ধন শক্তি উন্নত করে। এই প্রক্রিয়াটি ওয়ার্কপিসকে উত্তপ্ত করার প্রক্রিয়াও বটে। যখন বিশুদ্ধ টাইটানিয়াম টার্গেট ডিসচার্জ হয়, তখন প্লাজমার আলো আকাশী নীল রঙের হয়।
১. অ্যামোনিয়েটেড বাটির শক্ত ফিল্মের আবরণ
ভ্যাকুয়ামের মাত্রা 3×10 এ সামঞ্জস্য করুন-1-5Pa চাপে, ওয়ার্কপিস বায়াস ভোল্টেজ 100-200V-এ এবং পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ডিউটি সাইকেল 70%~80%-এ সামঞ্জস্য করুন। নাইট্রোজেন প্রবেশ করানোর পর, টাইটানিয়াম আর্ক ডিসচার্জ প্লাজমার সাথে সংমিশ্রণ বিক্রিয়া করে টাইটানিয়াম নাইট্রাইড হার্ড ফিল্ম জমা করে। এই পর্যায়ে, ভ্যাকুয়াম চেম্বারের প্লাজমার আলো চেরি লাল হয়। যদি C2H2, ও2, ইত্যাদি প্রবর্তন করা হয়, TiCN, TiO2ইত্যাদি ফিল্ম স্তর পাওয়া যেতে পারে।
এই প্রতিবেদনটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া প্রকাশ করেছে।ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারক
পোস্ট করার সময়: জুন-০১-২০২৩