ক্যাথোডিক আর্ক সোর্স আয়ন আবরণের প্রক্রিয়াটি মূলত অন্যান্য আবরণ প্রযুক্তির মতোই, এবং কিছু অপারেশন যেমন ওয়ার্কপিস ইনস্টল করা এবং ভ্যাকুয়াম করার পুনরাবৃত্তি হয় না।
1. workpieces এর বোমাবাজি পরিষ্কার
লেপের আগে, আর্গন গ্যাস 2×10-2Pa এর ভ্যাকুয়াম সহ আবরণ চেম্বারে প্রবেশ করানো হয়।
20% ডিউটি সাইকেল এবং 800-1000V এর ওয়ার্কপিস বায়াস সহ পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই চালু করুন।
যখন আর্ক পাওয়ার চালু হয়, তখন একটি ঠান্ডা ফিল্ড আর্ক লাইট ডিসচার্জ তৈরি হয়, যা আর্ক সোর্স থেকে প্রচুর পরিমাণে ইলেক্ট্রন কারেন্ট এবং টাইটানিয়াম আয়ন কারেন্ট নির্গত করে, একটি উচ্চ-ঘনত্বের প্লাজমা তৈরি করে।টাইটানিয়াম আয়ন ওয়ার্কপিসে প্রয়োগ করা নেতিবাচক উচ্চ পক্ষপাতের চাপের অধীনে ওয়ার্কপিসে এর ইনজেকশনকে ত্বরান্বিত করে, ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে শোষিত অবশিষ্ট গ্যাস এবং দূষণকারীকে বোমাবাজি করে এবং ছিটকে দেয় এবং ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠকে পরিষ্কার ও বিশুদ্ধ করে;একই সময়ে, আবরণ চেম্বারের ক্লোরিন গ্যাস ইলেকট্রন দ্বারা আয়নিত হয় এবং আর্গন আয়নগুলি ওয়ার্কপিস পৃষ্ঠের বোমাবর্ষণকে ত্বরান্বিত করে।
অতএব, বোমা পরিষ্কারের প্রভাব ভাল।মাত্র 1 মিনিটের বোমাবাজি পরিষ্কারের মাধ্যমে ওয়ার্কপিস পরিষ্কার করা যায়, যাকে "মেইন আর্ক বোমাবাজি" বলা হয়।টাইটানিয়াম আয়নগুলির উচ্চ ভরের কারণে, যদি একটি ছোট চাপের উত্সটি খুব বেশি সময় ধরে ওয়ার্কপিসকে বোমাবর্ষণ এবং পরিষ্কার করতে ব্যবহার করা হয়, তবে ওয়ার্কপিসের তাপমাত্রা অতিরিক্ত গরম হওয়ার ঝুঁকিতে থাকে এবং টুলের প্রান্তটি নরম হয়ে যেতে পারে।সাধারণ উত্পাদনে, ছোট চাপের উত্সগুলি উপরে থেকে নীচের দিকে একে একে চালু করা হয় এবং প্রতিটি ছোট চাপের উত্সের বোমাবাজি পরিষ্কার করার সময় প্রায় 1 মিনিট থাকে।
（1） লেপ টাইটানিয়াম নীচের স্তর
ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য উন্নত করার জন্য, খাঁটি টাইটানিয়াম সাবস্ট্রেটের একটি স্তর সাধারণত টাইটানিয়াম নাইট্রাইড লেপের আগে লেপা হয়।ভ্যাকুয়াম স্তরকে 5×10-2-3×10-1Pa এ সামঞ্জস্য করুন, ওয়ার্কপিস বায়াস ভোল্টেজকে 400-500V এ সামঞ্জস্য করুন এবং পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ডিউটি চক্রকে 40%~50% এ সামঞ্জস্য করুন।ঠাণ্ডা ক্ষেত্র আরসিং স্রাব উৎপন্ন করতে এখনও একের পর এক ছোট আর্ক উত্সগুলিকে জ্বালানো হচ্ছে।ওয়ার্কপিসের নেতিবাচক পক্ষপাত ভোল্টেজ হ্রাসের কারণে, টাইটানিয়াম আয়নগুলির শক্তি হ্রাস পায়।ওয়ার্কপিসে পৌঁছানোর পরে, স্পুটারিং প্রভাব জমার প্রভাবের চেয়ে কম হয় এবং টাইটানিয়াম নাইট্রাইড হার্ড ফিল্ম স্তর এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে বন্ধন শক্তি উন্নত করতে ওয়ার্কপিসে একটি টাইটানিয়াম ট্রানজিশন স্তর তৈরি হয়।এই প্রক্রিয়াটিও ওয়ার্কপিস গরম করার প্রক্রিয়া।যখন বিশুদ্ধ টাইটানিয়াম লক্ষ্যবস্তু নিঃসৃত হয়, তখন প্লাজমাতে আলো নীলাভ নীল হয়।
1. অ্যামোনিয়েটেড বাটি হার্ড ফিল্ম আবরণ
ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী 3×10 এ সামঞ্জস্য করুন-1-5Pa, ওয়ার্কপিস বায়াস ভোল্টেজকে 100-200V এ সামঞ্জস্য করুন এবং পালস বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ডিউটি চক্রকে 70%~80% এ সামঞ্জস্য করুন।নাইট্রোজেন প্রবর্তিত হওয়ার পরে, টাইটানিয়াম হল আর্ক ডিসচার্জ প্লাজমার সাথে টাইটানিয়াম নাইট্রাইড হার্ড ফিল্ম জমা করার সংমিশ্রণ প্রতিক্রিয়া।এই মুহুর্তে, ভ্যাকুয়াম চেম্বারে প্লাজমার আলো চেরি লাল।যদি সি2H2, ও2, ইত্যাদি চালু করা হয়, TiCN, TiO2ইত্যাদি ফিল্ম স্তর প্রাপ্ত করা যেতে পারে.
-এই নিবন্ধটি গুয়াংডং জেনহুয়া দ্বারা প্রকাশিত হয়েছিল, এভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারক
পোস্টের সময়: জুন-০১-২০২৩