소형 아크 소스 이온 코팅 공정

음극 아크 소스 이온 코팅 공정은 기본적으로 다른 코팅 기술과 동일하며, 공작물 설치 및 진공 처리와 같은 일부 작업은 더 이상 반복되지 않습니다.

1. 공작물의 충격 세척

코팅 전에 2×10⁻²Pa의 진공 상태로 아르곤 가스를 코팅 챔버에 주입합니다.

펄스 바이어스 전원 공급 장치를 켜고, 듀티 사이클을 20%, 공작물 바이어스를 800~1000V로 설정하십시오.

아크 전원이 켜지면 냉전계 아크 방전이 발생하여 아크 소스에서 다량의 전자 전류와 티타늄 이온 전류가 방출되어 고밀도 플라즈마가 형성됩니다. 티타늄 이온은 공작물에 가해지는 높은 음압에 의해 공작물 내부로 가속 주입되어 공작물 표면에 흡착된 잔류 가스와 오염 물질을 충돌 및 스퍼터링하여 공작물 표면을 세척 및 정화합니다. 동시에 코팅 챔버 내의 염소 가스가 전자에 의해 이온화되어 아르곤 이온이 공작물 표면에 가속 충돌합니다.

따라서, 충격 세척 효과는 우수합니다. 약 1분 정도의 충격 세척만으로도 공작물을 세척할 수 있는데, 이를 "주 아크 충격"이라고 합니다. 티타늄 이온의 질량이 크기 때문에, 작은 아크 소스를 사용하여 공작물을 너무 오랫동안 충격 세척하면 공작물의 온도가 과열되어 공구 날이 무뎌질 수 있습니다. 일반적인 생산 과정에서는 작은 아크 소스를 위에서 아래로 하나씩 순차적으로 가동하며, 각 작은 아크 소스마다 약 1분씩 충격 세척 시간을 적용합니다.

(1) 티타늄 하부층 코팅

박막과 기판 사이의 접착력을 향상시키기 위해, 일반적으로 질화티타늄 코팅 전에 순수 티타늄 기판층을 코팅합니다. 진공도를 5×10⁻²~3×10⁻¹Pa로, 공작물 바이어스 전압을 400~500V로, 펄스 바이어스 전원 공급 장치의 듀티 사이클을 40~50%로 조정합니다. 작은 아크 발생기를 하나씩 점화하여 냉전계 아크 방전을 발생시킵니다. 공작물의 음의 바이어스 전압이 감소함에 따라 티타늄 이온의 에너지가 감소합니다. 공작물에 도달한 후, 스퍼터링 효과는 증착 효과보다 작아지며, 공작물 표면에 티타늄 전이층이 형성되어 질화티타늄 경질막 층과 기판 사이의 결합력을 향상시킵니다. 이 과정은 또한 공작물을 가열하는 과정입니다. 순수 티타늄 타겟이 방전될 때 플라즈마에서 발생하는 빛은 청록색입니다.

1. 암모니아 처리된 그릇의 경질막 코팅

진공도를 3×10으로 조정하세요^-1-5Pa에서 공작물 바이어스 전압을 100~200V로 조정하고, 펄스 바이어스 전원 공급 장치의 듀티 사이클을 70~80%로 조정합니다. 질소를 주입하면 티타늄이 아크 방전 플라즈마와 반응하여 질화티타늄 경막을 증착합니다. 이때 진공 챔버 내 플라즈마의 빛은 체리 레드색을 띕니다.₂H₂오₂TiCN, TiO 등이 도입됩니다.₂, 등의 필름 층을 얻을 수 있습니다.

이 기사는 광둥진화(Guangdong Zhenhua)에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체