ది ప్రాసెస్ ఆఫ్ స్మాల్ ఆర్క్ సోర్స్ అయాన్ కోటింగ్

కాథోడిక్ ఆర్క్ సోర్స్ అయాన్ పూత ప్రక్రియ ప్రాథమికంగా ఇతర పూత సాంకేతికతలతో సమానంగా ఉంటుంది మరియు వర్క్‌పీస్‌లను ఇన్‌స్టాల్ చేయడం మరియు వాక్యూమింగ్ వంటి కొన్ని కార్యకలాపాలు ఇకపై పునరావృతం కావు.

1.వర్క్‌పీస్‌ల బాంబార్డ్‌మెంట్ శుభ్రపరచడం

పూతకు ముందు, ఆర్గాన్ వాయువు 2 × 10-2Pa వాక్యూమ్‌తో పూత గదిలోకి ప్రవేశపెట్టబడుతుంది.

20% డ్యూటీ సైకిల్ మరియు 800-1000V వర్క్‌పీస్ బయాస్‌తో పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లైని ఆన్ చేయండి.

ఆర్క్ పవర్ ఆన్ చేసినప్పుడు, కోల్డ్ ఫీల్డ్ ఆర్క్ లైట్ డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది, ఇది ఆర్క్ సోర్స్ నుండి పెద్ద మొత్తంలో ఎలక్ట్రాన్ కరెంట్ మరియు టైటానియం అయాన్ కరెంట్‌ను విడుదల చేస్తుంది, ఇది అధిక సాంద్రత కలిగిన ప్లాస్మాను ఏర్పరుస్తుంది.టైటానియం అయాన్ వర్క్‌పీస్‌కి వర్తించే ప్రతికూల అధిక పక్షపాత పీడనం కింద వర్క్‌పీస్‌లోకి దాని ఇంజెక్షన్‌ను వేగవంతం చేస్తుంది, వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉపరితలంపై శోషించబడిన అవశేష వాయువు మరియు కాలుష్య కారకాలను బాంబు పేల్చడం మరియు చల్లడం మరియు వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉపరితలాన్ని శుభ్రపరచడం మరియు శుద్ధి చేయడం;అదే సమయంలో, పూత గదిలోని క్లోరిన్ వాయువు ఎలక్ట్రాన్లచే అయనీకరణం చేయబడుతుంది మరియు ఆర్గాన్ అయాన్లు వర్క్‌పీస్ ఉపరితలంపై బాంబు దాడిని వేగవంతం చేస్తాయి.

అందువలన, బాంబింగ్ క్లీనింగ్ ప్రభావం మంచిది.కేవలం 1 నిమిషం బాంబర్‌మెంట్ క్లీనింగ్ వర్క్‌పీస్‌ను శుభ్రం చేయగలదు, దీనిని "మెయిన్ ఆర్క్ బాంబర్‌మెంట్" అంటారు.టైటానియం అయాన్‌ల అధిక ద్రవ్యరాశి కారణంగా, వర్క్‌పీస్‌ను ఎక్కువసేపు బాంబు పేల్చడానికి మరియు శుభ్రం చేయడానికి ఒక చిన్న ఆర్క్ మూలాన్ని ఉపయోగిస్తే, వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉష్ణోగ్రత వేడెక్కడానికి అవకాశం ఉంది మరియు సాధనం అంచు మృదువుగా మారవచ్చు.సాధారణ ఉత్పత్తిలో, చిన్న ఆర్క్ మూలాధారాలు పై నుండి క్రిందికి ఒక్కొక్కటిగా ఆన్ చేయబడతాయి మరియు ప్రతి చిన్న ఆర్క్ మూలం దాదాపు 1 నిమిషం వరకు బాంబర్‌మెంట్ శుభ్రపరిచే సమయాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

(1) పూత టైటానియం దిగువ పొర

ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య సంశ్లేషణను మెరుగుపరచడానికి, టైటానియం నైట్రైడ్‌ను పూయడానికి ముందు సాధారణంగా స్వచ్ఛమైన టైటానియం సబ్‌స్ట్రేట్ పొరను పూయాలి.వాక్యూమ్ స్థాయిని 5×10-2-3×10-1Paకి సర్దుబాటు చేయండి, వర్క్‌పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్‌ని 400-500Vకి సర్దుబాటు చేయండి మరియు పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క డ్యూటీ సైకిల్‌ను 40%~50%కి సర్దుబాటు చేయండి.కోల్డ్ ఫీల్డ్ ఆర్సింగ్ డిశ్చార్జ్‌ని రూపొందించడానికి ఇప్పటికీ చిన్న ఆర్క్ మూలాలను ఒక్కొక్కటిగా మండించడం.వర్క్‌పీస్ యొక్క ప్రతికూల బయాస్ వోల్టేజ్‌లో తగ్గుదల కారణంగా, టైటానియం అయాన్ల శక్తి తగ్గుతుంది.వర్క్‌పీస్‌కు చేరుకున్న తర్వాత, నిక్షేపణ ప్రభావం కంటే స్పుట్టరింగ్ ప్రభావం తక్కువగా ఉంటుంది మరియు టైటానియం నైట్రైడ్ హార్డ్ ఫిల్మ్ లేయర్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బంధన శక్తిని మెరుగుపరచడానికి వర్క్‌పీస్‌పై టైటానియం పరివర్తన పొర ఏర్పడుతుంది.ఈ ప్రక్రియ వర్క్‌పీస్‌ను వేడి చేసే ప్రక్రియ కూడా.స్వచ్ఛమైన టైటానియం లక్ష్యం విడుదలైనప్పుడు, ప్లాస్మాలోని కాంతి ఆకాశనీలం రంగులో ఉంటుంది.

1.అమోనియేటెడ్ బౌల్ హార్డ్ ఫిల్మ్ కోటింగ్

వాక్యూమ్ డిగ్రీని 3×10కి సర్దుబాటు చేయండి^-1-5Pa, వర్క్‌పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్‌ని 100-200Vకి సర్దుబాటు చేయండి మరియు పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క డ్యూటీ సైకిల్‌ను 70%~80%కి సర్దుబాటు చేయండి.నత్రజని ప్రవేశపెట్టిన తర్వాత, టైటానియం అనేది ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ ప్లాస్మాతో టైటానియం నైట్రైడ్ హార్డ్ ఫిల్మ్‌ను డిపాజిట్ చేయడానికి కలయిక ప్రతిచర్య.ఈ సమయంలో, వాక్యూమ్ చాంబర్‌లోని ప్లాస్మా యొక్క కాంతి చెర్రీ ఎరుపు రంగులో ఉంటుంది.ఒకవేళ సి₂H₂, ఓ₂, మొదలైనవి ప్రవేశపెట్టబడ్డాయి, TiCN, TiO₂, మొదలైనవి ఫిల్మ్ పొరలను పొందవచ్చు.

-ఈ కథనాన్ని గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా విడుదల చేశారు, aవాక్యూమ్ పూత యంత్ర తయారీదారు