కాథోడిక్ ఆర్క్ సోర్స్ అయాన్ కోటింగ్ ప్రక్రియ ప్రాథమికంగా ఇతర కోటింగ్ టెక్నాలజీల మాదిరిగానే ఉంటుంది, మరియు వర్క్పీస్లను ఇన్స్టాల్ చేయడం, వాక్యూమింగ్ వంటి కొన్ని ఆపరేషన్లను మళ్లీ చేయాల్సిన అవసరం ఉండదు.
1. పనిముట్లను బాంబు దాడితో శుభ్రపరచడం
కోటింగ్ చేయడానికి ముందు, 2×10⁻² Pa వాక్యూమ్తో ఆర్గాన్ వాయువును కోటింగ్ ఛాంబర్లోకి ప్రవేశపెడతారు.
20% డ్యూటీ సైకిల్ మరియు 800-1000V వర్క్పీస్ బయాస్తో పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లైని ఆన్ చేయండి.
ఆర్క్ పవర్ను ఆన్ చేసినప్పుడు, కోల్డ్ ఫీల్డ్ ఆర్క్ లైట్ డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది. ఇది ఆర్క్ సోర్స్ నుండి అధిక మొత్తంలో ఎలక్ట్రాన్ కరెంట్ మరియు టైటానియం అయాన్ కరెంట్ను విడుదల చేసి, అధిక సాంద్రత గల ప్లాస్మాను ఏర్పరుస్తుంది. వర్క్పీస్కు వర్తింపజేసిన నెగటివ్ హై బయాస్ ప్రెజర్ కింద, టైటానియం అయాన్ వర్క్పీస్లోకి తన ఇంజెక్షన్ను వేగవంతం చేస్తుంది. ఇది వర్క్పీస్ ఉపరితలంపై శోషించబడిన అవశేష వాయువు మరియు కాలుష్య కారకాలను బాంబార్డ్ చేసి, స్పుట్టరింగ్ చేస్తుంది, తద్వారా వర్క్పీస్ ఉపరితలాన్ని శుభ్రపరుస్తుంది మరియు శుద్ధి చేస్తుంది; అదే సమయంలో, కోటింగ్ ఛాంబర్లోని క్లోరిన్ వాయువు ఎలక్ట్రాన్ల ద్వారా అయనీకరణం చెందుతుంది మరియు ఆర్గాన్ అయాన్లు వర్క్పీస్ ఉపరితలంపై బాంబార్డ్మెంట్ను వేగవంతం చేస్తాయి.
అందువల్ల, బాంబార్డ్మెంట్ క్లీనింగ్ ప్రభావం బాగుంటుంది. కేవలం 1 నిమిషం బాంబార్డ్మెంట్ క్లీనింగ్తో వర్క్పీస్ను శుభ్రం చేయవచ్చు, దీనిని “మెయిన్ ఆర్క్ బాంబార్డ్మెంట్” అంటారు. టైటానియం అయాన్ల అధిక ద్రవ్యరాశి కారణంగా, ఒక చిన్న ఆర్క్ సోర్స్ను ఉపయోగించి వర్క్పీస్ను చాలా సేపు బాంబార్డ్ చేసి శుభ్రం చేస్తే, వర్క్పీస్ ఉష్ణోగ్రత అధిక వేడికి గురయ్యే అవకాశం ఉంది, మరియు టూల్ అంచు మెత్తబడవచ్చు. సాధారణ ఉత్పత్తిలో, చిన్న ఆర్క్ సోర్స్లను పై నుండి క్రిందికి ఒక్కొక్కటిగా ఆన్ చేస్తారు, మరియు ప్రతి చిన్న ఆర్క్ సోర్స్కు సుమారు 1 నిమిషం బాంబార్డ్మెంట్ క్లీనింగ్ సమయం ఉంటుంది.
(1) టైటానియం అడుగు పొర పూత
ఫిల్మ్ మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య అతుక్కునే గుణాన్ని మెరుగుపరచడానికి, టైటానియం నైట్రైడ్ పూత వేయడానికి ముందు సాధారణంగా స్వచ్ఛమైన టైటానియం సబ్స్ట్రేట్ పొరను పూస్తారు. వాక్యూమ్ స్థాయిని 5×10⁻² నుండి 3×10⁻¹Pa వరకు, వర్క్పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్ను 400-500V వరకు, మరియు పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క డ్యూటీ సైకిల్ను 40%~50% వరకు సర్దుబాటు చేయాలి. అదే సమయంలో, కోల్డ్ ఫీల్డ్ ఆర్కింగ్ డిశ్చార్జ్ను ఉత్పత్తి చేయడానికి చిన్న ఆర్క్ మూలాలను ఒక్కొక్కటిగా మండించాలి. వర్క్పీస్ యొక్క నెగటివ్ బయాస్ వోల్టేజ్ తగ్గడం వల్ల, టైటానియం అయాన్ల శక్తి తగ్గుతుంది. వర్క్పీస్ను చేరిన తర్వాత, స్పుటరింగ్ ప్రభావం డిపోజిషన్ ప్రభావం కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, మరియు టైటానియం నైట్రైడ్ హార్డ్ ఫిల్మ్ పొర మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య బంధన శక్తిని మెరుగుపరచడానికి వర్క్పీస్పై ఒక టైటానియం ట్రాన్సిషన్ పొర ఏర్పడుతుంది. ఈ ప్రక్రియే వర్క్పీస్ను వేడి చేసే ప్రక్రియ కూడా. స్వచ్ఛమైన టైటానియం టార్గెట్ డిశ్చార్జ్ అయినప్పుడు, ప్లాస్మాలోని కాంతి ఆకాశ నీలం రంగులో ఉంటుంది.
1. అమ్మోనియేటెడ్ బౌల్ హార్డ్ ఫిల్మ్ కోటింగ్
వాక్యూమ్ డిగ్రీని 3×10 కు సర్దుబాటు చేయండి-1-5Pa వద్ద, వర్క్పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్ను 100-200V కు, మరియు పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క డ్యూటీ సైకిల్ను 70%~80% కు సర్దుబాటు చేయండి. నైట్రోజన్ను ప్రవేశపెట్టిన తర్వాత, టైటానియం ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ ప్లాస్మాతో సంయోగ చర్య జరిపి టైటానియం నైట్రైడ్ గట్టి పొరను ఏర్పరుస్తుంది. ఈ సమయంలో, వాక్యూమ్ ఛాంబర్లోని ప్లాస్మా కాంతి చెర్రీ ఎరుపు రంగులో ఉంటుంది. ఒకవేళ C2H2, ఓ2, మొదలైనవి పరిచయం చేయబడ్డాయి, TiCN, TiO2, మొదలైన ఫిల్మ్ పొరలను పొందవచ్చు.
–ఈ కథనాన్ని గ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా అనే సంస్థ విడుదల చేసింది.వాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారు
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జూన్-01-2023