Ilana ti ibò ion orisun cathodic arc jẹ kanna bi awọn imọ-ẹrọ ibora miiran, ati diẹ ninu awọn iṣẹ bii fifi awọn iṣẹ-ṣiṣe sii ati fifi afẹfẹ silẹ ko tun ṣe mọ.
1. Fífọ àwọn ohun èlò iṣẹ́ bọ́m̀bù
Kí a tó fi epo bo, a máa fi gaasi argon sínú yàrá ìbòrí pẹ̀lú afẹ́fẹ́ 2×10-2Pa.
Tan ipese agbara ibaje pulse, pẹlu iyipo iṣẹ ti 20% ati ibaje iṣẹ-ṣiṣe ti 800-1000V.
Nígbà tí a bá tan agbára arc, a máa ń yọ ìtújáde ìmọ́lẹ̀ arc pápá tútù jáde, èyí tí ó máa ń tú iye ìṣàn elektroni àti ìṣàn titanium jáde láti orísun arc, tí ó sì máa ń ṣẹ̀dá plasma oníwọ̀n gíga. Ion titanium náà máa ń mú kí abẹ́rẹ́ rẹ̀ wọ inú iṣẹ́ náà yára lábẹ́ ìfúnpá gíga gíga tí a fi sí iṣẹ́ náà, ó máa ń ba gáàsì àti àwọn èròjà tí ó kù tí a fà mọ́ ojú iṣẹ́ náà jẹ́, ó sì máa ń fọ ojú iṣẹ́ náà mọ́, ó sì máa ń sọ ọ́ di mímọ́; Ní àkókò kan náà, gáàsì chlorine nínú yàrá ìbòrí ni a máa ń fi ion ṣe nípasẹ̀ àwọn elektroni, àwọn ion argon sì máa ń mú kí ìbọn ojú iṣẹ́ náà yára pọ̀ sí i.
Nítorí náà, ipa ìfọmọ́ bọ́m̀bù náà dára. Ìṣẹ́jú kan péré ni ìfọmọ́ bọ́m̀bù lè fọ iṣẹ́ náà, èyí tí a ń pè ní “bọm̀bù bọ́m̀bù pàtàkì”. Nítorí ìwọ̀n gíga ti àwọn ion titanium, tí a bá lo orísun arc kékeré láti fọ́ àti láti nu iṣẹ́ náà fún ìgbà pípẹ́, iwọ̀n otútù iṣẹ́ náà lè gbóná jù, etí irinṣẹ́ náà sì lè rọ̀. Ní gbogbogbòò, a máa ń tan àwọn orísun arc kékeré lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan láti òkè dé ìsàlẹ̀, orísun arc kékeré kọ̀ọ̀kan sì ní àkókò ìfọmọ́ bọ́m̀bù tó tó ìṣẹ́jú kan.
(1) Fífi àwọ̀ titanium bo ìsàlẹ̀
Láti lè mú kí ìsopọ̀ tó wà láàárín fíìmù náà àti ohun èlò ìṣiṣẹ́ náà sunwọ̀n sí i, a sábà máa ń fi aṣọ ìbora ti ohun èlò ìṣiṣẹ́ titanium mímọ́ bo kí a tó fi titanium nitride bo á. Ṣàtúnṣe ìpele vacuum sí 5×10-2-3×10-1Pa, ṣàtúnṣe voltage bias workpiece sí 400-500V, kí o sì ṣàtúnṣe iṣẹ́ ti ipese agbara bias pulse sí 40% ~ 50%. Ó ń tan àwọn orísun arc kékeré lẹ́ẹ̀kan sí i láti mú ìtújáde arcing pápá tútù jáde. Nítorí ìdínkù nínú voltage bias negative ti workpiece, agbára àwọn ions titanium dínkù. Lẹ́yìn tí ó dé ibi iṣẹ́ náà, ipa sputtering náà kéré sí ipa ìfipamọ́, a sì ń ṣe àkójọpọ̀ titanium transition Layer lórí workpiece láti mú kí agbára ìsopọ̀ tó wà láàárín filem fíìmù líle titanium nitride àti substrate náà sunwọ̀n sí i. Ìlànà yìí tún jẹ́ ìlànà gbígbóná workpiece náà. Nígbà tí a bá tú ibi-afẹ́fẹ́ titanium mímọ́ náà jáde, ìmọ́lẹ̀ tó wà nínú plasma náà yóò jẹ́ àwọ̀ búlúù.
1. Agogo amoniated ti a bo pelu fiimu lile
Ṣatunṣe iwọn igbale si 3 × 10-1-5Pa, ṣe àtúnṣe folti bias workpiece sí 100-200V, kí o sì ṣe àtúnṣe sí bí agbára ìpèsè pulse bias ṣe ń ṣiṣẹ́ sí 70% ~ 80%. Lẹ́yìn tí a bá ti fi nitrogen sí i, titanium jẹ́ ìdàpọ̀ ìṣiṣẹ́ pẹ̀lú plasma ìtújáde arc láti fi titanium nitride hard film sí i. Ní àkókò yìí, ìmọ́lẹ̀ plasma nínú yàrá vacuum náà jẹ́ pupa ṣẹ́rí. Tí C bá jẹ́ C2H2, O2àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ ni a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀, TiCN, TiO2, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, a lè rí àwọn ìpele fíìmù.
–Gangdong Zhenhua, a.ẹrọ fifọ ideri igbale
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-01-2023