Ilana ti epo ion orisun cathodic arc jẹ ipilẹ kanna gẹgẹbi awọn imọ-ẹrọ miiran ti a bo, ati diẹ ninu awọn iṣẹ bii fifi awọn iṣẹ ṣiṣe ati igbale ko tun tun ṣe.
1.Bombardment ninu ti workpieces
Ṣaaju ki o to bo, gaasi argon ni a ṣe sinu iyẹwu ti a bo pẹlu igbale ti 2 × 10-2Pa.
Tan-an ipese agbara aiṣedeede pulse, pẹlu iṣẹ-ṣiṣe ti 20% ati irẹjẹ iṣẹ ti 800-1000V.
Nigbati agbara arc ba wa ni titan, ifasilẹ ina arc aaye tutu ti wa ni ipilẹṣẹ, eyiti o njade iye nla ti lọwọlọwọ elekitironi ati lọwọlọwọ ion titanium lati orisun arc, ṣiṣe pilasima iwuwo giga.Awọn Titanium dẹlẹ accelerates awọn oniwe-abẹrẹ sinu workpiece labẹ awọn odi ga abosi titẹ loo si workpiece, bombarding ati sputtering awọn péye gaasi ati pollutants adsorbed lori dada ti awọn workpiece, ati ninu ati ìwẹnu awọn dada ti awọn workpiece;Ni akoko kanna, gaasi chlorine ti o wa ninu iyẹwu ti a bo jẹ ionized nipasẹ awọn elekitironi, ati awọn ions argon mu iyara bombardment ti dada iṣẹ ṣiṣẹ.
Nitorinaa, ipa mimọ bombardment dara.Nikan nipa iṣẹju 1 ti mimọ bombardment le sọ iṣẹ-iṣẹ di mimọ, eyiti a pe ni “bombu arc akọkọ”.Nitori ibi-giga ti awọn ions titanium, ti a ba lo orisun arc kekere lati bombard ati nu iṣẹ-iṣẹ naa fun igba pipẹ, iwọn otutu ti iṣẹ-ṣiṣe jẹ itara si igbona pupọ, ati pe eti ọpa le di rirọ.Ni iṣelọpọ gbogbogbo, awọn orisun arc kekere ti wa ni titan ọkan nipasẹ ọkan lati oke si isalẹ, ati orisun arc kekere kọọkan ni akoko mimọ bombardment ti bii iṣẹju 1.
(1) Aṣọ titanium isalẹ Layer
Lati le ni ilọsiwaju isunmọ laarin fiimu ati sobusitireti, Layer ti sobusitireti titanium mimọ ni a maa n bo ṣaaju ki o to bo titanium nitride.Ṣatunṣe ipele igbale si 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, ṣatunṣe foliteji abosi iṣẹ-ṣiṣe si 400-500V, ati ṣatunṣe iṣẹ-ṣiṣe iṣẹ ti ipese agbara irẹjẹ pulse si 40% ~ 50%.Ṣi igniting awọn orisun arc kekere ni ọkọọkan lati ṣe ipilẹṣẹ idasilẹ arcing aaye tutu.Nitori idinku ninu foliteji abosi odi ti iṣẹ-ṣiṣe, agbara ti awọn ions titanium dinku.Lẹhin ti o ti de ibi iṣẹ naa, ipa sputtering kere si ipa ifisilẹ, ati pe Layer orilede titanium ti wa ni akoso lori iṣẹ-ṣiṣe lati mu ilọsiwaju pọ si laarin Layer fiimu lile titanium nitride ati sobusitireti.Ilana yii tun jẹ ilana ti alapapo ohun elo.Nigbati ibi-afẹde titanium mimọ ba ti tu silẹ, ina inu pilasima jẹ buluu azure.
1.Amoniated ekan lile fiimu ti a bo
Ṣatunṣe iwọn igbale si 3×10-1-5Pa, ṣatunṣe foliteji abosi iṣẹ iṣẹ si 100-200V, ati ṣatunṣe iṣẹ-ṣiṣe iṣẹ ti ipese agbara irẹjẹ pulse si 70% ~ 80%.Lẹhin ti a ti ṣafihan nitrogen, titanium jẹ ifapapọ apapọ pẹlu pilasima idasilẹ arc lati fi fiimu lile titanium nitride silẹ.Ni aaye yii, ina ti pilasima ninu iyẹwu igbale jẹ pupa ṣẹẹri.Ti C2H2, O2, ati be be lo ti wa ni a ṣe, TiCN, TiO2, ati be be lo fiimu fẹlẹfẹlẹ le gba.
-Nkan yii jẹ idasilẹ nipasẹ Guangdong Zhenhua, aigbale ti a bo ẹrọ olupese
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-01-2023