कॅथोडिक आर्क सोर्स आयन कोटिंगची प्रक्रिया मुळात इतर कोटिंग तंत्रज्ञानासारखीच आहे आणि वर्कपीस बसवणे व व्हॅक्यूम करणे यांसारख्या काही क्रियांची आता पुनरावृत्ती करण्याची गरज नसते.
१. कार्यवस्तूंची बॉम्बार्डमेंट पद्धतीने स्वच्छता
कोटिंग करण्यापूर्वी, 2×10-2 Pa च्या व्हॅक्यूमसह कोटिंग चेंबरमध्ये आर्गॉन वायू सोडला जातो.
पल्स बायस पॉवर सप्लाय चालू करा, ज्याचा ड्युटी सायकल 20% आणि वर्कपीस बायस 800-1000V असेल.
जेव्हा आर्क पॉवर चालू केली जाते, तेव्हा कोल्ड फील्ड आर्क लाईट डिस्चार्ज निर्माण होतो, जो आर्क स्रोतामधून मोठ्या प्रमाणात इलेक्ट्रॉन प्रवाह आणि टायटॅनियम आयन प्रवाह उत्सर्जित करून उच्च-घनतेचा प्लाझ्मा तयार करतो. वर्कपीसवर लावलेल्या नकारात्मक उच्च बायस दाबामुळे टायटॅनियम आयन वर्कपीसमध्ये वेगाने प्रवेश करतात, वर्कपीसच्या पृष्ठभागावर शोषलेल्या अवशिष्ट वायू आणि प्रदूषकांवर मारा करून त्यांना विखुरतात, आणि वर्कपीसचा पृष्ठभाग स्वच्छ व शुद्ध करतात; त्याच वेळी, कोटिंग चेंबरमधील क्लोरीन वायू इलेक्ट्रॉनद्वारे आयनीकृत होतो आणि आर्गॉन आयन वर्कपीसच्या पृष्ठभागावरील माऱ्याला गती देतात.
त्यामुळे, बॉम्बार्डमेंट क्लीनिंगचा परिणाम चांगला असतो. केवळ सुमारे १ मिनिटाच्या बॉम्बार्डमेंट क्लीनिंगने वर्कपीस स्वच्छ होऊ शकतो, ज्याला “मेन आर्क बॉम्बार्डमेंट” म्हणतात. टायटॅनियम आयनच्या उच्च वस्तुमानामुळे, जर वर्कपीसवर जास्त वेळ बॉम्बार्डमेंट आणि क्लीनिंग करण्यासाठी लहान आर्क सोर्स वापरला गेला, तर वर्कपीसचे तापमान जास्त वाढण्याची शक्यता असते आणि टूलची धार मऊ होऊ शकते. सामान्य उत्पादनात, लहान आर्क सोर्स वरून खाली एक-एक करून चालू केले जातात आणि प्रत्येक लहान आर्क सोर्सचा बॉम्बार्डमेंट क्लीनिंगचा वेळ सुमारे १ मिनिट असतो.
(१) टायटॅनियमच्या तळाच्या थरावर कोटिंग करणे
फिल्म आणि सबस्ट्रेटमधील आसंजन सुधारण्यासाठी, टायटॅनियम नायट्राइडचा लेप लावण्यापूर्वी सामान्यतः शुद्ध टायटॅनियम सबस्ट्रेटवर एक थर चढवला जातो. व्हॅक्यूमची पातळी 5×10-2-3×10-1Pa वर समायोजित करा, वर्कपीसचा बायस व्होल्टेज 400-500V वर समायोजित करा आणि पल्स बायस पॉवर सप्लायचा ड्युटी सायकल 40%~50% वर समायोजित करा. तरीही, कोल्ड फील्ड आर्किंग डिस्चार्ज निर्माण करण्यासाठी लहान आर्क स्रोत एकामागून एक प्रज्वलित केले जातात. वर्कपीसच्या नकारात्मक बायस व्होल्टेजमधील घट झाल्यामुळे, टायटॅनियम आयनांची ऊर्जा कमी होते. वर्कपीसपर्यंत पोहोचल्यानंतर, स्पटरिंगचा परिणाम डिपॉझिशनच्या परिणामापेक्षा कमी असतो आणि टायटॅनियम नायट्राइड हार्ड फिल्म लेयर व सबस्ट्रेटमधील बंधन शक्ती सुधारण्यासाठी वर्कपीसवर टायटॅनियमचा एक संक्रमण थर तयार होतो. ही प्रक्रिया वर्कपीसला गरम करण्याची प्रक्रिया देखील आहे. जेव्हा शुद्ध टायटॅनियम टार्गेट डिस्चार्ज होते, तेव्हा प्लाझ्मामधील प्रकाश निळसर निळा असतो.
१. अमोनियायुक्त वाडग्याचे कठीण फिल्म कोटिंग
व्हॅक्यूम डिग्री 3×10 वर समायोजित करा-1-5Pa, वर्कपीस बायस व्होल्टेज 100-200V वर समायोजित करा आणि पल्स बायस पॉवर सप्लायचा ड्युटी सायकल 70%~80% वर समायोजित करा. नायट्रोजन आत सोडल्यानंतर, टायटॅनियमची आर्क डिस्चार्ज प्लाझ्मासोबत संयोग अभिक्रिया होऊन टायटॅनियम नायट्राइडचा कठीण थर जमा होतो. या टप्प्यावर, व्हॅक्यूम चेंबरमधील प्लाझ्माचा प्रकाश चेरी लाल रंगाचा असतो. जर C2H2ओ2TiCN, TiO इत्यादींचा परिचय करून दिला आहे.2इ. फिल्मचे थर मिळवता येतात.
हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ यांनी प्रसिद्ध केला आहे.व्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादक
पोस्ट करण्याची वेळ: ०१-जून-२०२३