कॅथोडिक आर्क सोर्स आयन कोटिंगची प्रक्रिया मुळात इतर कोटिंग तंत्रज्ञानासारखीच असते आणि काही ऑपरेशन्स जसे की वर्कपीस स्थापित करणे आणि व्हॅक्यूमिंग यापुढे पुनरावृत्ती होत नाही.
1.वर्कपीसची बॉम्बर्डमेंट स्वच्छता
कोटिंग करण्यापूर्वी, आर्गॉन गॅस 2×10-2Pa च्या व्हॅक्यूमसह कोटिंग चेंबरमध्ये आणला जातो.
20% ड्युटी सायकल आणि 800-1000V च्या वर्कपीस बायससह, पल्स बायस पॉवर सप्लाय चालू करा.
जेव्हा आर्क पॉवर चालू असते, तेव्हा एक कोल्ड फील्ड आर्क लाइट डिस्चार्ज तयार होतो, जो चाप स्त्रोतातून मोठ्या प्रमाणात इलेक्ट्रॉन प्रवाह आणि टायटॅनियम आयन प्रवाह उत्सर्जित करतो, उच्च-घनता प्लाझ्मा बनवतो.टायटॅनियम आयन वर्कपीसवर लागू केलेल्या नकारात्मक उच्च पूर्वाग्रह दाबाखाली वर्कपीसमध्ये इंजेक्शनला गती देतो, वर्कपीसच्या पृष्ठभागावर शोषलेले अवशिष्ट वायू आणि प्रदूषकांचा भडिमार आणि थुंकणे आणि वर्कपीसची पृष्ठभाग साफ करणे आणि शुद्ध करणे;त्याच वेळी, कोटिंग चेंबरमधील क्लोरीन वायू इलेक्ट्रॉनद्वारे आयनीकृत केला जातो आणि आर्गॉन आयन वर्कपीसच्या पृष्ठभागाच्या भडिमारास गती देतात.
त्यामुळे, भडिमार साफसफाईचा प्रभाव चांगला आहे.बॉम्बर्डमेंट क्लीनिंगच्या फक्त 1 मिनिटाने वर्कपीस साफ करता येते, ज्याला “मेन आर्क बॉम्बर्डमेंट” म्हणतात.टायटॅनियम आयनच्या जास्त वस्तुमानामुळे, जर वर्कपीसवर बराच वेळ भडिमार करण्यासाठी आणि साफ करण्यासाठी लहान चाप स्त्रोत वापरला गेला तर, वर्कपीसचे तापमान जास्त गरम होण्याची शक्यता असते आणि टूलची धार मऊ होऊ शकते.सामान्य उत्पादनात, लहान चाप स्त्रोत वरपासून खालपर्यंत एक-एक करून चालू केले जातात आणि प्रत्येक लहान चाप स्त्रोतामध्ये बॉम्बर्डमेंट क्लिनिंग वेळ सुमारे 1 मिनिट असतो.
(1) कोटिंग टायटॅनियम तळाशी थर
फिल्म आणि सब्सट्रेटमधील आसंजन सुधारण्यासाठी, शुद्ध टायटॅनियम सब्सट्रेटचा थर सामान्यतः टायटॅनियम नायट्राइड कोटिंग करण्यापूर्वी कोटिंग केला जातो.व्हॅक्यूम पातळी 5×10-2-3×10-1Pa वर समायोजित करा, वर्कपीस बायस व्होल्टेज 400-500V वर समायोजित करा आणि पल्स बायस पॉवर सप्लायचे ड्यूटी सायकल 40%~50% पर्यंत समायोजित करा.कोल्ड फील्ड आर्किंग डिस्चार्ज तयार करण्यासाठी एक-एक करून लहान चाप स्त्रोत प्रज्वलित करणे.वर्कपीसच्या नकारात्मक पूर्वाग्रह व्होल्टेजमध्ये घट झाल्यामुळे, टायटॅनियम आयनची ऊर्जा कमी होते.वर्कपीसवर पोहोचल्यानंतर, स्पटरिंग इफेक्ट डिपॉझिशन इफेक्टपेक्षा कमी असतो आणि टायटॅनियम नायट्राइड हार्ड फिल्म लेयर आणि सब्सट्रेट यांच्यातील बाँडिंग फोर्स सुधारण्यासाठी वर्कपीसवर टायटॅनियम ट्रांझिशन लेयर तयार होतो.ही प्रक्रिया देखील वर्कपीस गरम करण्याची प्रक्रिया आहे.शुद्ध टायटॅनियम टार्गेट डिस्चार्ज केल्यावर, प्लाझ्मामधील प्रकाश निळा असतो.
1. Ammoniated वाडगा हार्ड फिल्म लेप
व्हॅक्यूम डिग्री 3×10 वर समायोजित करा-1-5Pa, वर्कपीस बायस व्होल्टेज 100-200V वर समायोजित करा आणि पल्स बायस पॉवर सप्लायचे ड्यूटी सायकल 70%~80% पर्यंत समायोजित करा.नायट्रोजनची ओळख झाल्यानंतर, टायटॅनियम ही टायटॅनियम नायट्राइड हार्ड फिल्म जमा करण्यासाठी आर्क डिस्चार्ज प्लाझ्मासह एकत्रित प्रतिक्रिया असते.या टप्प्यावर, व्हॅक्यूम चेंबरमधील प्लाझ्माचा प्रकाश चेरी लाल असतो.जर सी2H2, ओ2, इत्यादी सादर केले आहेत, TiCN, TiO2, इत्यादी फिल्म लेयर्स मिळू शकतात.
-हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ, एव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माता
पोस्ट वेळ: जून-०१-२०२३