ដំណើរការនៃការថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងប្រភពធ្នូកាតូតគឺដូចគ្នានឹងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតផ្សេងទៀតដែរ ហើយប្រតិបត្តិការមួយចំនួនដូចជាការដំឡើងស្នាដៃ និងការបូមធូលីលែងត្រូវបានធ្វើម្តងទៀតទៀតហើយ។
១. ការសម្អាតផ្ទៃការងារដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែក
មុនពេលលាបថ្នាំ ឧស្ម័នអារហ្គុនត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់លាបថ្នាំជាមួយនឹងសម្ពាធខ្យល់ 2×10-2Pa។
បើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប៊ីយ៉ាជីពចរ ដែលមានវដ្តការងារ 20% និងប៊ីយ៉ានៃស្នាដៃ 800-1000V។
នៅពេលដែលថាមពលធ្នូត្រូវបានបើក ការបញ្ចេញពន្លឺធ្នូវាលត្រជាក់ត្រូវបានបង្កើតឡើង ដែលបញ្ចេញចរន្តអេឡិចត្រុង និងចរន្តអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមយ៉ាងច្រើនពីប្រភពធ្នូ បង្កើតបានជាប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមបង្កើនល្បឿនការចាក់របស់វាចូលទៅក្នុងស្នាដៃក្រោមសម្ពាធលំអៀងខ្ពស់អវិជ្ជមានដែលបានអនុវត្តទៅលើស្នាដៃ ដោយបាញ់ផ្លោង និងបាញ់ឧស្ម័ន និងសារធាតុបំពុលដែលនៅសេសសល់ដែលស្រូបចូលលើផ្ទៃនៃស្នាដៃ និងសម្អាត និងបន្សុទ្ធផ្ទៃនៃស្នាដៃ។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ឧស្ម័នក្លរីននៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូតត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដដោយអេឡិចត្រុង ហើយអ៊ីយ៉ុងអារហ្គុនបង្កើនល្បឿនការបាញ់ផ្លោងនៃផ្ទៃស្នាដៃ។
ដូច្នេះ ប្រសិទ្ធភាពសម្អាតដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកគឺល្អ។ ការសម្អាតដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកត្រឹមតែប្រហែល 1 នាទីប៉ុណ្ណោះអាចសម្អាតស្នាដៃបាន ដែលត្រូវបានគេហៅថា "ការទម្លាក់គ្រាប់បែកធ្នូសំខាន់"។ ដោយសារតែម៉ាស់ខ្ពស់នៃអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូម ប្រសិនបើប្រភពធ្នូតូចមួយត្រូវបានប្រើដើម្បីទម្លាក់គ្រាប់បែក និងសម្អាតស្នាដៃយូរពេក សីតុណ្ហភាពនៃស្នាដៃងាយនឹងឡើងកំដៅខ្លាំង ហើយគែមឧបករណ៍អាចក្លាយទៅជាទន់។ នៅក្នុងផលិតកម្មទូទៅ ប្រភពធ្នូតូចៗត្រូវបានបើកម្តងមួយៗពីលើចុះក្រោម ហើយប្រភពធ្នូតូចៗនីមួយៗមានពេលវេលាសម្អាតដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកប្រហែល 1 នាទី។
(1) ស្រទាប់ខាងក្រោមស្រោបទីតានីញ៉ូម
ដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតរវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ស្រទាប់នៃស្រទាប់ខាងក្រោមទីតានីញ៉ូមសុទ្ធជាធម្មតាត្រូវបានស្រោបមុនពេលស្រោបទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត។ កែតម្រូវកម្រិតសុញ្ញកាសទៅ 5×10-2-3×10-1Pa កែតម្រូវវ៉ុលលំអៀងនៃស្នាដៃទៅ 400-500V ហើយកែតម្រូវវដ្តការងារនៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀងជីពចរទៅ 40%~50%។ នៅតែបញ្ឆេះប្រភពធ្នូតូចៗម្តងមួយៗ ដើម្បីបង្កើតការបញ្ចេញធ្នូត្រជាក់។ ដោយសារតែការថយចុះនៃវ៉ុលលំអៀងអវិជ្ជមាននៃស្នាដៃ ថាមពលនៃអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមថយចុះ។ បន្ទាប់ពីទៅដល់ស្នាដៃ ឥទ្ធិពលនៃការបាញ់គឺតិចជាងឥទ្ធិពលនៃការដាក់ ហើយស្រទាប់អន្តរកាលទីតានីញ៉ូមត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើស្នាដៃ ដើម្បីបង្កើនកម្លាំងភ្ជាប់រវាងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តរឹងទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដំណើរការនេះក៏ជាដំណើរការនៃការកំដៅស្នាដៃផងដែរ។ នៅពេលដែលគោលដៅទីតានីញ៉ូមសុទ្ធត្រូវបានបញ្ចេញ ពន្លឺនៅក្នុងប្លាស្មាមានពណ៌ខៀវស្រងាត់។
១. ថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តរឹងចានអាម៉ូញាក់
លៃតម្រូវដឺក្រេនៃសុញ្ញកាសទៅ 3 × 10-1-5Pa កែតម្រូវវ៉ុលលំអៀងនៃស្នាដៃទៅ 100-200V ហើយកែតម្រូវវដ្តការងារនៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀងជីពចរទៅ 70% ~ 80%។ បន្ទាប់ពីបញ្ចូលអាសូត ទីតានីញ៉ូមមានប្រតិកម្មផ្សំជាមួយប្លាស្មាបញ្ចេញធ្នូដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តរឹងទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត។ នៅចំណុចនេះ ពន្លឺនៃប្លាស្មានៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលីមានពណ៌ក្រហមឆឺរី។ ប្រសិនបើ C2H2, អូ2ជាដើម ត្រូវបានណែនាំ TiCN, TiO2ល។ ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអាចទទួលបាន។
–អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយ Guangdong Zhenhua ដែលជាក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលី
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មិថុនា-០១-២០២៣