ដំណើរការនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងប្រភព cathodic arc មានមូលដ្ឋានដូចគ្នានឹងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតផ្សេងទៀតដែរ ហើយប្រតិបត្តិការមួយចំនួនដូចជាការដំឡើង workpieces និងការបូមធូលីមិនត្រូវបានធ្វើម្តងទៀតទេ។
1. ការសំអាតគ្រាប់បែកនៃ workpieces
មុនពេលលាប ឧស្ម័ន argon ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់ស្រោបដោយខ្វះចន្លោះ 2×10-2Pa ។
បើកការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀងជីពចរដោយមានវដ្តកាតព្វកិច្ច 20% និងលំអៀងនៃការងារ 800-1000V ។
នៅពេលដែលថាមពលធ្នូត្រូវបានបើក ការបញ្ចេញពន្លឺធ្នូរបស់វាលត្រជាក់ត្រូវបានបង្កើត ដែលបញ្ចេញនូវចរន្តអេឡិចត្រុង និងចរន្តអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមយ៉ាងច្រើនពីប្រភពធ្នូ បង្កើតជាប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់។អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមបង្កើនល្បឿននៃការចាក់របស់វាចូលទៅក្នុង workpiece ក្រោមសម្ពាធលំអៀងខ្ពស់អវិជ្ជមានដែលបានអនុវត្តទៅ workpiece ទម្លាក់គ្រាប់បែកនិង sputtering ឧស្ម័នសំណល់និងសារធាតុបំពុល adsorbed លើផ្ទៃនៃ workpiece និងការសម្អាតនិងបន្សុទ្ធផ្ទៃនៃ workpiece នេះ;ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ឧស្ម័នក្លរីននៅក្នុងបន្ទប់ស្រោបត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដដោយអេឡិចត្រុង ហើយ argon ions បង្កើនល្បឿននៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃការងារ។
ដូច្នេះប្រសិទ្ធភាពសម្អាតគ្រាប់បែកគឺល្អ។ការសម្អាតគ្រាប់បែកប្រហែល 1 នាទីប៉ុណ្ណោះអាចសម្អាតស្នាដៃដែលត្រូវបានគេហៅថា "ការទម្លាក់គ្រាប់បែកមេ"។ដោយសារអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមមានម៉ាស់ខ្ពស់ ប្រសិនបើប្រភពធ្នូតូចមួយត្រូវបានប្រើដើម្បីបំផ្ទុះ និងសម្អាតកន្លែងធ្វើការយូរពេក សីតុណ្ហភាពនៃស្នាដៃងាយនឹងឡើងកំដៅ ហើយគែមឧបករណ៍អាចនឹងទន់។នៅក្នុងការផលិតជាទូទៅ ប្រភពធ្នូតូចៗត្រូវបានបើកម្តងមួយៗពីកំពូលទៅបាត ហើយប្រភពធ្នូតូចៗនីមួយៗមានពេលសម្អាតគ្រាប់បែកប្រហែល 1 នាទី។
(1) ស្រោបស្រទាប់ខាងក្រោមទីតានីញ៉ូម
ដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតជាប់រវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ស្រទាប់នៃស្រទាប់ខាងក្រោមទីតានីញ៉ូមសុទ្ធជាធម្មតាត្រូវបានស្រោបមុនពេលលាបថ្នាំទីតានីញ៉ូមនីត្រាត។លៃតម្រូវកម្រិតទំនេរទៅ 5 × 10-2-3 × 10-1Pa លៃតម្រូវវ៉ុលលំអៀងនៃការងារទៅ 400-500V និងកែតម្រូវវដ្តកាតព្វកិច្ចនៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលជីពចរទៅ 40% ~ 50% ។នៅតែបញ្ឆេះប្រភពធ្នូតូចៗម្តងមួយៗដើម្បីបង្កើតការបញ្ចេញចរន្តត្រជាក់។ដោយសារតែការថយចុះនៃវ៉ុលលំអៀងអវិជ្ជមាននៃ workpiece ថាមពលនៃអ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមថយចុះ។បន្ទាប់ពីបានទៅដល់ workpiece នោះ ឥទ្ធិពលនៃ sputtering គឺតិចជាងឥទ្ធិពលនៃការទម្លាក់ ហើយស្រទាប់ផ្លាស់ប្តូរទីតាញ៉ូមត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើ workpiece ដើម្បីបង្កើនកម្លាំងភ្ជាប់រវាងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តរឹង titanium nitride និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ដំណើរការនេះក៏ជាដំណើរការនៃការកំដៅ workpiece ផងដែរ។នៅពេលដែលគោលដៅទីតានីញ៉ូមសុទ្ធត្រូវបានរំសាយចេញ ពន្លឺនៅក្នុងប្លាស្មាមានពណ៌ខៀវ azure ។
1. ថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តរឹងរបស់ចានអាម៉ូញាក់
លៃតម្រូវកម្រិតទំនេរទៅ 3 × 10-1-5Pa, លៃតម្រូវវ៉ុលលំអៀងរបស់ workpiece ទៅ 100-200V និងកែតម្រូវវដ្តកាតព្វកិច្ចនៃការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលជីពចរទៅ 70% ~ 80% ។បន្ទាប់ពីអាសូតត្រូវបានណែនាំ ទីតានីញ៉ូមគឺជាប្រតិកម្មរួមជាមួយនឹងប្លាស្មាបញ្ចេញធ្នូ ដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តរឹង ទីតានីញ៉ូមនីត្រាត។នៅពេលនេះពន្លឺនៃប្លាស្មានៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះមានពណ៌ក្រហម cherry ។ប្រសិនបើ គ2H2, ឱ2ល។ ត្រូវបានណែនាំ TiCN, TiO2ល។ ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអាចទទួលបាន។
-អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយ Guangdong Zhenhua, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ០១-០២-២០២៣