Processen för jonbeläggning med katodisk ljusbåge är i princip densamma som andra beläggningstekniker, och vissa operationer som installation av arbetsstycken och dammsugning upprepas inte längre.
1. Bombarderingsrengöring av arbetsstycken
Före beläggning införs argongas i beläggningskammaren med ett vakuum på 2×10-2Pa.
Slå på pulsförspänningsförsörjningen, med en arbetscykel på 20 % och en arbetsstyckeförspänning på 800-1000V.
När ljusbågen slås på genereras en kallfältsljusurladdning, som avger en stor mängd elektronström och titanjonström från bågkällan, vilket bildar ett plasma med hög densitet.Titanjonen accelererar dess injicering i arbetsstycket under det negativa höga förspänningstrycket som appliceras på arbetsstycket, bombarderar och sputterar kvarvarande gas och föroreningar som adsorberas på ytan av arbetsstycket, och rengör och renar ytan av arbetsstycket;Samtidigt joniseras klorgasen i beläggningskammaren av elektroner, och argonjoner påskyndar bombarderingen av arbetsstyckets yta.
Därför är bombarderingsrengöringseffekten bra.Endast cirka 1 minuts bombardemang kan rengöra arbetsstycket, vilket kallas "huvudbågsbombardement".På grund av den höga massan av titanjoner, om en liten ljusbågskälla används för att bombardera och rengöra arbetsstycket för länge, är temperaturen på arbetsstycket benägen att överhettas och verktygskanten kan bli mjuk.I allmän produktion sätts små ljusbågkällor på en efter en från topp till botten, och varje liten ljusbågskälla har en bombardemangstid på cirka 1 minut.
（1）Beläggning av bottenskikt av titan
För att förbättra vidhäftningen mellan filmen och substratet, beläggs vanligtvis ett skikt av rent titansubstrat innan beläggning av titannitrid.Justera vakuumnivån till 5×10-2-3×10-1Pa, justera arbetsstyckets förspänningsspänning till 400-500V och justera arbetscykeln för pulsförspänningsförsörjningen till 40%~50%.Fortfarande tänder små ljusbågskällor en efter en för att generera kallfältsljusbågsurladdning.På grund av minskningen av arbetsstyckets negativa förspänning minskar energin hos titanjoner.Efter att ha nått arbetsstycket är förstoftningseffekten mindre än avsättningseffekten, och ett titanövergångsskikt bildas på arbetsstycket för att förbättra bindningskraften mellan titannitrid-hårdfilmsskiktet och substratet.Denna process är också processen att värma arbetsstycket.När det rena titanmålet urladdas är ljuset i plasman azurblått.
1. Ammonierad skål med hård filmbeläggning
Justera vakuumgraden till 3×10-1-5Pa, justera arbetsstyckets förspänningsspänning till 100-200V och justera arbetscykeln för pulsförspänningsströmförsörjningen till 70% ~ 80%.Efter att kväve har införts, är titan en kombinationsreaktion med ljusbågsurladdningsplasman för att avsätta hård film av titannitrid.Vid denna tidpunkt är ljuset från plasman i vakuumkammaren körsbärsrött.Om C2H2, O2, etc. introduceras, TiCN, TiO2filmskikt kan erhållas.
–Den här artikeln släpptes av Guangdong Zhenhua, atillverkare av vakuumbeläggningsmaskiner
Posttid: 2023-01-01