கேத்தோடிக் ஆர்க் சோர்ஸ் அயன் பூச்சு செயல்முறையானது, அடிப்படையில் மற்ற பூச்சுத் தொழில்நுட்பங்களைப் போன்றதே ஆகும், மேலும் பணித்துண்டுகளை நிறுவுதல் மற்றும் வெற்றிடமாக்குதல் போன்ற சில செயல்பாடுகள் மீண்டும் செய்யப்படுவதில்லை.
1. பணிப்பொருட்களைக் குண்டுவீச்சு முறையில் சுத்தம் செய்தல்
பூச்சுக்கு முன், 2×10⁻²Pa வெற்றிடத்துடன் ஆர்கான் வாயு பூச்சு அறைக்குள் செலுத்தப்படுகிறது.
20% பணிச் சுழற்சி மற்றும் 800-1000V பணிப்பொருள் மின்னழுத்தத்துடன், துடிப்பு மின்னழுத்த மின்வழங்கியை இயக்கவும்.
வில்லின் ஆற்றல் இயக்கப்படும்போது, ஒரு குளிர் புல வில் ஒளி வெளியேற்றம் உருவாகிறது. இது வில் மூலத்திலிருந்து அதிக அளவு எலக்ட்ரான் மின்னோட்டத்தையும் டைட்டானியம் அயனி மின்னோட்டத்தையும் வெளியிட்டு, ஒரு உயர் அடர்த்தி பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. பொருளின் மீது செலுத்தப்படும் எதிர்மறை உயர் சார்பு அழுத்தத்தின் கீழ், டைட்டானியம் அயனியானது பொருளின் உள்ளே அதன் உட்செலுத்தலை விரைவுபடுத்துகிறது. இது பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொண்டிருக்கும் எஞ்சிய வாயு மற்றும் மாசுபடுத்திகளைத் தாக்கிச் சிதறடித்து, பொருளின் மேற்பரப்பைச் சுத்தம் செய்து தூய்மைப்படுத்துகிறது; அதே நேரத்தில், பூச்சு அறையில் உள்ள குளோரின் வாயு எலக்ட்ரான்களால் அயனியாக்கம் செய்யப்படுகிறது, மேலும் ஆர்கான் அயனிகள் பொருளின் மேற்பரப்பு மீதான தாக்குதலை விரைவுபடுத்துகின்றன.
எனவே, தொடர் மின் பாய்ச்சல் சுத்திகரிப்பு விளைவு நன்றாக உள்ளது. சுமார் 1 நிமிட தொடர் மின் பாய்ச்சல் சுத்திகரிப்பு மட்டுமே வேலைப் பொருளைச் சுத்தம் செய்ய முடியும், இது "முதன்மை வில் மின் பாய்ச்சல்" என்று அழைக்கப்படுகிறது. டைட்டேனியம் அயனிகளின் அதிக நிறை காரணமாக, ஒரு சிறிய வில் மூலத்தைப் பயன்படுத்தி வேலைப் பொருளின் மீது நீண்ட நேரம் மின் பாய்ச்சி சுத்தம் செய்தால், வேலைப் பொருளின் வெப்பநிலை மிகையாக வெப்பமடைய வாய்ப்புள்ளது, மேலும் கருவியின் விளிம்பு மென்மையாகலாம். பொதுவான உற்பத்தியில், சிறிய வில் மூலங்கள் மேலிருந்து கீழாக ஒவ்வொன்றாக இயக்கப்படுகின்றன, மேலும் ஒவ்வொரு சிறிய வில் மூலமும் சுமார் 1 நிமிட தொடர் மின் பாய்ச்சல் சுத்திகரிப்பு நேரத்தைக் கொண்டுள்ளது.
(1) டைட்டானியம் கீழ் அடுக்கைப் பூசுதல்
படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான ஒட்டுதலை மேம்படுத்துவதற்காக, டைட்டானியம் நைட்ரைடு பூசுவதற்கு முன்பு பொதுவாக தூய டைட்டானியம் அடி மூலக்கூறின் ஒரு அடுக்கு பூசப்படுகிறது. வெற்றிட அளவை 5×10⁻²-3×10⁻¹Pa ஆகவும், பணிப்பொருள் சார்பு மின்னழுத்தத்தை 400-500V ஆகவும், துடிப்பு சார்பு மின்வழங்கியின் பணிச் சுழற்சியை 40%~50% ஆகவும் சரிசெய்யவும். குளிர் புல வில் வெளியேற்றத்தை உருவாக்க, சிறிய வில் மூலங்களை ஒவ்வொன்றாகத் தொடர்ந்து பற்றவைக்கவும். பணிப்பொருளின் எதிர்மறை சார்பு மின்னழுத்தம் குறைவதால், டைட்டானியம் அயனிகளின் ஆற்றல் குறைகிறது. பணிப்பொருளை அடைந்த பிறகு, சிதறல் விளைவு படிவு விளைவை விடக் குறைவாக உள்ளது, மேலும் டைட்டானியம் நைட்ரைடு கடினப் படல அடுக்குக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பு விசையை மேம்படுத்த, பணிப்பொருளின் மீது ஒரு டைட்டானியம் இடைநிலை அடுக்கு உருவாகிறது. இந்த செயல்முறை பணிப்பொருளை வெப்பப்படுத்தும் செயல்முறையாகும். தூய டைட்டானியம் இலக்கு வெளியேற்றப்படும்போது, பிளாஸ்மாவில் உள்ள ஒளி நீல நிறத்தில் இருக்கும்.
1. அம்மோனியேட்டட் கிண்ணத்தின் கடினமான படலப் பூச்சு
வெற்றிட அளவை 3×10க்கு சரிசெய்யவும்-1-5Pa இல், பணிப்பொருள் சார்பு மின்னழுத்தத்தை 100-200V ஆகவும், துடிப்பு சார்பு மின்வழங்கியின் பணிச் சுழற்சியை 70%~80% ஆகவும் சரிசெய்யவும். நைட்ரஜன் செலுத்தப்பட்ட பிறகு, டைட்டானியம், வில் வெளியேற்ற பிளாஸ்மாவுடன் இணைந்து வினைபுரிந்து டைட்டானியம் நைட்ரைடு கடினப் படலத்தைப் படிய வைக்கிறது. இந்த நிலையில், வெற்றிட அறையில் உள்ள பிளாஸ்மாவின் ஒளி செர்ரி சிவப்பு நிறத்தில் இருக்கும். C எனில்2H2, ஓ2முதலியன அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, TiCN, TiO2முதலிய படல அடுக்குகளைப் பெறலாம்.
–இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவாவால் வெளியிடப்பட்டது.வெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்
பதிவிட்ட நேரம்: ஜூன்-01-2023