Katodik yoy manbai ion qoplamasi jarayoni asosan boshqa qoplama texnologiyalari bilan bir xil va ish qismlarini o'rnatish va changyutgich bilan tozalash kabi ba'zi operatsiyalar endi takrorlanmaydi.
1. Ish qismlarini bombardimon bilan tozalash
Qoplamadan oldin, argon gazi qoplama kamerasiga 2 × 10-2Pa vakuum bilan kiritiladi.
Ish aylanishi 20% va ish qismining kuchlanishi 800-1000V bo'lgan impulsli quvvat manbaini yoqing.
Yoy quvvati yoqilganda, sovuq maydon yoy nuri zaryadsizlanishi hosil bo'ladi, bu yoy manbaidan katta miqdorda elektron toki va titan ioni toki chiqaradi va yuqori zichlikdagi plazma hosil qiladi. Titan ioni ish qismiga qo'llaniladigan salbiy yuqori bosim ostida ish qismiga in'ektsiyani tezlashtiradi, ish qismi yuzasida adsorbsiyalangan qoldiq gaz va ifloslantiruvchi moddalarni bombardimon qiladi va purkaydi, shuningdek, ish qismi yuzasini tozalaydi va tozalaydi; Shu bilan birga, qoplama kamerasidagi xlor gazi elektronlar tomonidan ionlanadi va argon ionlari ish qismi yuzasining bombardimon qilinishini tezlashtiradi.
Shuning uchun, bombardimon tozalash effekti yaxshi. Ish qismini atigi 1 daqiqa bombardimon tozalash bilan tozalash mumkin, bu "asosiy yoy bombardimoni" deb ataladi. Titan ionlarining yuqori massasi tufayli, agar ish qismini juda uzoq vaqt bombardimon qilish va tozalash uchun kichik yoy manbai ishlatilsa, ish qismining harorati qizib ketishga moyil bo'ladi va asbob cheti yumshoq bo'lib qolishi mumkin. Umuman olganda, kichik yoy manbalari yuqoridan pastgacha birma-bir yoqiladi va har bir kichik yoy manbai bombardimon tozalash vaqti taxminan 1 daqiqani tashkil qiladi.
(1) Titan pastki qatlamini qoplash
Plyonka va substrat orasidagi yopishishni yaxshilash uchun odatda titan nitridini qoplashdan oldin sof titan substrati qatlami qoplanadi. Vakuum darajasini 5 × 10-2-3 × 10-1Pa ga sozlang, ish qismining yonish kuchlanishini 400-500V ga sozlang va impuls yonish quvvat manbaining ish aylanishini 40% ~ 50% ga sozlang. Sovuq maydon yoy zaryadini hosil qilish uchun kichik yoy manbalarini birma-bir yoqing. Ish qismining manfiy yonish kuchlanishining pasayishi tufayli titan ionlarining energiyasi pasayadi. Ish qismiga yetgandan so'ng, purkash effekti cho'ktirish effektidan kamroq bo'ladi va titan nitridi qattiq plyonka qatlami va substrat o'rtasidagi bog'lanish kuchini yaxshilash uchun ish qismi ustida titan o'tish qatlami hosil bo'ladi. Bu jarayon shuningdek, ish qismini isitish jarayonidir. Sof titan nishoni zaryadsizlanganda, plazmadagi yorug'lik ko'k rangga ega bo'ladi.
1. Ammoniylangan idish qattiq plyonkali qoplama
Vakuum darajasini 3 × 10 ga sozlang-1-5Pa, ish qismining yon kuchlanishini 100-200V ga sozlang va impuls yon quvvat manbaining ish aylanishini 70% ~ 80% gacha sozlang. Azot kiritilgandan so'ng, titan titan nitridi qattiq plyonkasini yotqizish uchun yoyli zaryadsizlantirish plazmasi bilan kombinatsiyalangan reaksiyaga kirishadi. Bu nuqtada vakuum kamerasidagi plazma nuri qizil rangga ega bo'ladi. Agar C bo'lsa2H2, O2va boshqalar kiritiladi, TiCN, TiO2va boshqalar. plyonka qatlamlarini olish mumkin.
–Ushbu maqola Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilgan, avakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi
Nashr vaqti: 2023-yil 1-iyun