Le processus de revêtement ionique à source d'arc cathodique est fondamentalement le même que les autres technologies de revêtement, et certaines opérations telles que l'installation de pièces et l'aspiration ne sont plus répétées.
1. Bombardement de nettoyage des pièces
Avant revêtement, du gaz argon est introduit dans la chambre de revêtement avec un vide de 2.10-2Pa.
Allumez l'alimentation de polarisation d'impulsion, avec un cycle de service de 20 % et une polarisation de pièce de 800-1000 V.
Lorsque l'alimentation de l'arc est activée, une décharge de lumière d'arc à champ froid est générée, qui émet une grande quantité de courant d'électrons et de courant d'ions titane à partir de la source d'arc, formant un plasma haute densité.L'ion titane accélère son injection dans la pièce sous la pression de polarisation élevée négative appliquée à la pièce, bombardant et pulvérisant le gaz résiduel et les polluants adsorbés sur la surface de la pièce, et nettoyant et purifiant la surface de la pièce ;Dans le même temps, le chlore gazeux dans la chambre de revêtement est ionisé par les électrons et les ions argon accélèrent le bombardement de la surface de la pièce.
Par conséquent, l'effet de nettoyage par bombardement est bon.Seulement environ 1 minute de nettoyage par bombardement peut nettoyer la pièce, ce qui est appelé "bombardement à l'arc principal".En raison de la masse élevée d'ions titane, si une petite source d'arc est utilisée pour bombarder et nettoyer la pièce trop longtemps, la température de la pièce est sujette à une surchauffe et le bord de l'outil peut devenir mou.Dans la production générale, les petites sources d'arc sont allumées une par une de haut en bas, et chaque petite source d'arc a un temps de nettoyage par bombardement d'environ 1 minute.
(1) Couche inférieure de revêtement en titane
Afin d'améliorer l'adhérence entre le film et le substrat, une couche de substrat de titane pur est généralement revêtue avant le revêtement de nitrure de titane.Ajustez le niveau de vide à 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, ajustez la tension de polarisation de la pièce à 400-500 V et ajustez le cycle de service de l'alimentation de polarisation d'impulsion à 40% ~ 50%.Toujours allumer de petites sources d'arc une par une pour générer une décharge d'arc à champ froid.En raison de la diminution de la tension de polarisation négative de la pièce, l'énergie des ions titane diminue.Après avoir atteint la pièce, l'effet de pulvérisation est inférieur à l'effet de dépôt, et une couche de transition en titane est formée sur la pièce pour améliorer la force de liaison entre la couche de film dur de nitrure de titane et le substrat.Ce processus est également le processus de chauffage de la pièce.Lorsque la cible en titane pur est déchargée, la lumière dans le plasma est bleu azur.
1. Revêtement de film dur pour bol ammonié
Ajustez le degré de vide à 3 × 10-1-5Pa, ajustez la tension de polarisation de la pièce à 100-200V et ajustez le cycle de service de l'alimentation de polarisation d'impulsion à 70% ~ 80%.Après l'introduction d'azote, le titane est une réaction combinée avec le plasma de décharge d'arc pour déposer un film dur de nitrure de titane.À ce stade, la lumière du plasma dans la chambre à vide est rouge cerise.Si C2H2, O2, etc. sont introduits, TiCN, TiO2, etc. des couches de film peuvent être obtenues.
–Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua, unfabricant de machines de revêtement sous vide
Heure de publication : 01-juin-2023