Процес премазивања јонским извором малог лука

Процес јонског облагања извора катодног лука је у основи исти као и друге технологије премаза, а неке операције као што су уградња радних предмета и усисавање се више не понављају.

1. Бомбардовање радних комада

Пре облагања, гас аргон се уводи у комору за облагање уз вакуум од 2×10-2Па.

Укључите напајање импулсног преднапона, са радним циклусом од 20% и напоном радног предмета од 800-1000В.

Када се укључи напајање лука, генерише се лучно пражњење хладног поља, које емитује велику количину струје електрона и струје јона титанијума из извора лука, формирајући плазму високе густине.Јон титанијума убрзава своје убризгавање у радни предмет под негативним високим притиском који се примењује на радни предмет, бомбардујући и прскајући заостали гас и загађиваче адсорбоване на површини радног предмета, и чистећи и пречишћавајући површину радног предмета;Истовремено, гасовити хлор у комори за облагање се јонизују електронима, а јони аргона убрзавају бомбардовање површине радног предмета.

Дакле, ефекат чишћења бомбардовања је добар.Само око 1 минут чишћења бомбардовањем може очистити радни предмет, што се назива „бомбардирањем главног лука“.Због велике масе јона титанијума, ако се мали извор лука користи за бомбардовање и чишћење радног предмета предуго, температура радног предмета је склона прегревању, а ивица алата може постати мекана.У општој производњи, мали извори лука се укључују један по један од врха до дна, а сваки мали извор лука има време чишћења бомбардовања од око 1 минута.

(1) Доњи слој премаза од титанијума

Да би се побољшала адхезија између филма и подлоге, слој чистог титанијумског супстрата се обично облаже пре облагања титанијум нитрида.Подесите ниво вакуума на 5×10-2-3×10-1Па, подесите напон напона радног предмета на 400-500В и подесите радни циклус импулсног напајања на 40%~50%.И даље пали мале изворе лука један по један да би се створило пражњење лука у хладном пољу.Због смањења негативног преднапона радног предмета, енергија титанијумових јона се смањује.Након достизања радног предмета, ефекат прскања је мањи од ефекта таложења, а на радном предмету се формира прелазни слој од титанијума како би се побољшала сила везивања између слоја тврдог филма титанијум нитрида и подлоге.Овај процес је такође процес загревања радног предмета.Када се мета од чистог титанијума испразни, светлост у плазми је азурно плава.

1.Тврди филмски премаз од амониране посуде

Подесите степен вакуума на 3×10^-1-5Па, подесите напон напона радног предмета на 100-200В и подесите радни циклус импулсног напајања на 70%~80%.Након увођења азота, титанијум је комбинована реакција са плазмом са лучним пражњењем да се таложи тврди филм титанијум нитрида.У овом тренутку, светлост плазме у вакуумској комори је трешње црвена.Ако је Ц₂H₂, О₂уводе се ТиЦН, ТиО₂, итд. могу се добити слојеви филма.

– Овај чланак је објавио Гуангдонг Зхенхуа, апроизвођач машина за вакуумско облагање