Katod qövs mənbəyi ion örtüyü prosesi əsasən digər örtük texnologiyaları ilə eynidir və iş parçalarının quraşdırılması və tozsoranla təmizləmə kimi bəzi əməliyyatlar artıq təkrarlanmır.
1. İş parçalarının bombardmanla təmizlənməsi
Örtükdən əvvəl, argon qazı 2×10-2Pa vakuumla örtük kamerasına daxil edilir.
İş dövrü 20% və iş parçasının gərginliyi 800-1000V olan impuls qərəzli enerji təchizatını yandırın.
Qövs gücü işə salındıqda, soyuq sahəli qövs işığı boşalması yaranır və bu boşluq qövs mənbəyindən çox miqdarda elektron cərəyanı və titan ion cərəyanı buraxaraq yüksək sıxlıqlı plazma əmələ gətirir. Titan ionu iş parçasına tətbiq olunan mənfi yüksək təzyiq altında iş parçasına yeridilməsini sürətləndirir, iş parçasının səthində adsorbsiya olunmuş qalıq qazı və çirkləndiriciləri bombardman edir və püskürdür, iş parçasının səthini təmizləyir və təmizləyir; Eyni zamanda, örtük kamerasındakı xlor qazı elektronlar tərəfindən ionlaşır və argon ionları iş parçasının səthinin bombardmanını sürətləndirir.
Buna görə də, bombardman təmizləmə effekti yaxşıdır. İş parçasını yalnız təxminən 1 dəqiqəlik bombardman təmizləməsi təmizləyə bilər ki, bu da "əsas qövs bombardmanı" adlanır. Titan ionlarının yüksək kütləsi səbəbindən, iş parçasını çox uzun müddət bombardman etmək və təmizləmək üçün kiçik bir qövs mənbəyindən istifadə edilərsə, iş parçasının temperaturu həddindən artıq istiləşməyə meyllidir və alətin kənarı yumşala bilər. Ümumi istehsalda kiçik qövs mənbələri yuxarıdan aşağıya doğru bir-bir açılır və hər kiçik qövs mənbəyinin bombardman təmizləmə müddəti təxminən 1 dəqiqədir.
（1） Titan alt təbəqəsinin örtülməsi
Film və substrat arasındakı yapışmanı yaxşılaşdırmaq üçün, adətən titan nitridini örtməzdən əvvəl təmiz titan substrat təbəqəsi örtülür. Vakuum səviyyəsini 5×10-2-3×10-1Pa-ya tənzimləyin, iş parçasının qərəz gərginliyini 400-500V-ə tənzimləyin və impuls qərəzli enerji təchizatının iş dövrünü 40%~50%-ə tənzimləyin. Soyuq sahə qövs boşalması yaratmaq üçün hələ də kiçik qövs mənbələrini bir-bir alovlandırın. İş parçasının mənfi qərəz gərginliyinin azalması səbəbindən titan ionlarının enerjisi azalır. İş parçasına çatdıqdan sonra püskürtmə effekti çökmə effektindən az olur və titan nitrid sərt film təbəqəsi ilə substrat arasındakı bağlayıcı qüvvəni yaxşılaşdırmaq üçün iş parçasında titan keçid təbəqəsi əmələ gəlir. Bu proses həm də iş parçasının qızdırılması prosesidir. Təmiz titan hədəfi boşaldıqda, plazmadakı işıq mavi mavi olur.
1. Ammoniumlu qabın sərt film örtüyü
Vakuum dərəcəsini 3×10-a tənzimləyin-1-5Pa, iş parçasının qərəz gərginliyini 100-200V-ə tənzimləyin və impuls qərəzli enerji təchizatının iş dövrünü 70% ~ 80% -ə tənzimləyin. Azot daxil edildikdən sonra, titan qövs boşalması plazması ilə birləşmə reaksiyası keçir və titan nitrid sərt təbəqəsini çökdürür. Bu nöqtədə, vakuum kamerasındakı plazmanın işığı albalı qırmızıdır. Əgər C2H2, O2və s. təqdim olunur, TiCN, TiO2və s. film təbəqələri əldə edilə bilər.
–Bu məqalə Guangdong Zhenhua tərəfindən dərc edilibvakuum örtük maşını istehsalçısı
Yazı vaxtı: 01 iyun 2023