Katodik ark kaynaklı iyon kaplama işlemi temel olarak diğer kaplama teknolojileriyle aynıdır ve iş parçalarının takılması ve vakumlama gibi bazı işlemler artık tekrarlanmaz.
1. İş parçalarının bombardıman temizliği
Kaplamadan önce kaplama odasına 2×10-2Pa vakum ile argon gazı verilir.
%20'lik bir görev döngüsü ve 800-1000V'lik bir iş parçası eğilimi ile darbeli güç kaynağını açın.
Ark gücü açıldığında, ark kaynağından büyük miktarda elektron akımı ve titanyum iyon akımı yayan ve yüksek yoğunluklu bir plazma oluşturan soğuk alan ark ışığı deşarjı üretilir.Titanyum iyonu, iş parçasına uygulanan negatif yüksek önyargı basıncı altında iş parçasına enjeksiyonunu hızlandırır, artık gazı ve iş parçasının yüzeyinde adsorbe edilen kirleticileri bombardıman eder ve püskürtür ve iş parçasının yüzeyini temizler ve arındırır;Aynı zamanda kaplama odasındaki klor gazı elektronlar tarafından iyonize edilir ve argon iyonları iş parçası yüzeyinin bombardımanını hızlandırır.
Bu nedenle, bombardıman temizleme etkisi iyidir.“Ana ark bombardımanı” olarak adlandırılan iş parçasını yalnızca yaklaşık 1 dakikalık bombardıman temizliği temizleyebilir.Titanyum iyonlarının yüksek kütlesi nedeniyle, iş parçasını çok uzun süre bombardıman etmek ve temizlemek için küçük bir ark kaynağı kullanılırsa, iş parçasının sıcaklığı aşırı ısınmaya meyillidir ve alet kenarı yumuşayabilir.Genel üretimde, küçük ark kaynakları yukarıdan aşağıya birer birer açılır ve her küçük ark kaynağının yaklaşık 1 dakikalık bir bombardıman temizleme süresi vardır.
（1）Kaplama titanyum alt katman
Film ve substrat arasındaki yapışmayı iyileştirmek için, titanyum nitrürün kaplanmasından önce genellikle bir saf titanyum substrat tabakası kaplanır.Vakum seviyesini 5×10-2-3×10-1Pa olarak ayarlayın, iş parçası ön gerilimini 400-500V olarak ayarlayın ve darbe ön gerilim güç kaynağının görev döngüsünü %40~%50 olarak ayarlayın.Hala soğuk alan ark deşarjı oluşturmak için küçük ark kaynaklarını tek tek ateşliyor.İş parçasının negatif ön gerilimindeki azalma nedeniyle titanyum iyonlarının enerjisi azalır.İş parçasına ulaştıktan sonra, püskürtme etkisi biriktirme etkisinden daha azdır ve titanyum nitrür sert film tabakası ile alt tabaka arasındaki bağlanma kuvvetini iyileştirmek için iş parçası üzerinde bir titanyum geçiş tabakası oluşturulur.Bu işlem aynı zamanda iş parçasının ısıtılması işlemidir.Saf titanyum hedefi boşaldığında, plazmadaki ışık masmavi mavidir.
1.Amonyaklanmış hazne sert film kaplama
Vakum derecesini 3×10 olarak ayarlayın-1-5Pa, iş parçası ön gerilimini 100-200V'a ayarlayın ve darbe ön gerilim güç kaynağının görev döngüsünü %70~%80'e ayarlayın.Nitrojenin verilmesinden sonra, titanyum, titanyum nitrür sert filmi biriktirmek için ark deşarj plazması ile kombinasyon reaksiyonudur.Bu noktada vakum odasındaki plazmanın ışığı kiraz kırmızısıdır.eğer C2H2, Ö2, vb. tanıtıldı, TiCN, TiO2vb. film tabakaları elde edilebilir.
–Bu makale Guangdong Zhenhua tarafından yayınlandı.vakumlu kaplama makinesi üreticisi
Gönderim zamanı: Haz-01-2023