Küçük Ark Kaynaklı İyon Kaplama İşlemi

Katodik ark kaynaklı iyon kaplama işlemi temelde diğer kaplama teknolojileriyle aynıdır ve iş parçalarının yerleştirilmesi ve vakumlama gibi bazı işlemlerin tekrarlanmasına gerek kalmaz.

1. İş parçalarının bombardıman yöntemiyle temizlenmesi

Kaplama işleminden önce, 2×10⁻² Pa vakum altında kaplama odasına argon gazı verilir.

Darbeli bias güç kaynağını, %20 görev döngüsü ve 800-1000V iş parçası bias değeriyle açın.

Ark gücü açıldığında, soğuk alan ark ışık deşarjı oluşur ve ark kaynağından büyük miktarda elektron akımı ve titanyum iyon akımı yayılır, bu da yüksek yoğunluklu bir plazma oluşturur. Titanyum iyonu, iş parçasına uygulanan negatif yüksek önyargı basıncı altında iş parçasına enjeksiyonunu hızlandırır, iş parçasının yüzeyinde biriken artık gazı ve kirleticileri bombardıman ederek ve püskürterek temizler ve arındırır; aynı zamanda, kaplama odasındaki klor gazı elektronlar tarafından iyonize edilir ve argon iyonları iş parçasının yüzeyini bombardıman etmeyi hızlandırır.

Bu nedenle, bombardıman temizleme etkisi iyidir. Sadece yaklaşık 1 dakikalık bombardıman temizleme ile iş parçası temizlenebilir; buna "ana ark bombardımanı" denir. Titanyum iyonlarının yüksek kütlesi nedeniyle, küçük bir ark kaynağı ile iş parçası çok uzun süre bombardıman edilerek temizlenirse, iş parçasının sıcaklığı aşırı ısınmaya eğilimlidir ve takım kenarı yumuşayabilir. Genel üretimde, küçük ark kaynakları yukarıdan aşağıya doğru tek tek açılır ve her küçük ark kaynağının bombardıman temizleme süresi yaklaşık 1 dakikadır.

(1) Titanyum alt katman kaplaması

Film ve alt tabaka arasındaki yapışmayı iyileştirmek için, titanyum nitrür kaplamadan önce genellikle saf titanyum alt tabaka tabakası kaplanır. Vakum seviyesi 5×10⁻²-3×10⁻¹ Pa'ya, iş parçası bias voltajı 400-500 V'a ve darbe bias güç kaynağının görev döngüsü %40~%50'ye ayarlanır. Soğuk alan ark deşarjı oluşturmak için küçük ark kaynakları tek tek ateşlenir. İş parçasının negatif bias voltajındaki azalma nedeniyle, titanyum iyonlarının enerjisi azalır. İş parçasına ulaştıktan sonra, püskürtme etkisi biriktirme etkisinden daha azdır ve titanyum nitrür sert film tabakası ile alt tabaka arasındaki yapışma kuvvetini iyileştirmek için iş parçası üzerinde bir titanyum geçiş tabakası oluşur. Bu işlem aynı zamanda iş parçasının ısıtılması işlemidir. Saf titanyum hedefi deşarj edildiğinde, plazmadaki ışık açık mavi renktedir.

1. Amonyaklı kap sert film kaplaması

Vakum derecesini 3×10'a ayarlayın.^-1-5 Pa'da, iş parçası önyargı voltajını 100-200 V'a ayarlayın ve darbe önyargı güç kaynağının görev döngüsünü %70~%80'e ayarlayın. Azot verildikten sonra, titanyum, ark deşarj plazmasıyla birleşme reaksiyonuna girerek titanyum nitrür sert film tabakası oluşturur. Bu noktada, vakum odasındaki plazmanın ışığı kiraz kırmızısıdır. Eğer C₂H₂O₂vb. tanıtılır, TiCN, TiO₂vb. film katmanları elde edilebilir.

–Bu makale Guangdong Zhenhua tarafından yayınlanmıştır.vakum kaplama makinesi üreticisi