Катод дуга чыганагы белән ион каплау процессы, нигездә, башка каплау технологияләре белән бер үк, һәм эш кисәкләрен урнаштыру һәм тузан суырту кебек кайбер операцияләр хәзер кабатланмый.
1. Эшкәртелгән кисәкләрне бомбага тоту ысулы белән чистарту
Каплау алдыннан, каплау камерасына 2×10-2Па вакуум белән аргон газы кертелә.
Эш циклы 20% һәм эш кисәгенең көчәнеше 800-1000 В булган импульслы көчәнеш чыганагын кабызыгыз.
Дуга көче кабызылганда, салкын кыр дуга нуры разряды барлыкка килә, ул дуга чыганагыннан күп күләмдә электрон тогы һәм титан ионы тогы чыгара, югары тыгызлыктагы плазма барлыкка китерә. Титан ионы эш кисәгенә бирелгән тискәре югары басым астында эш кисәгенә инъекциясен тизләтә, эш кисәге өслегендә адсорбцияләнгән калдык газ һәм пычраткыч матдәләрне бомбага тота һәм сиптерә, шулай ук эш кисәге өслеген чистарта һәм чистарта; шул ук вакытта каплау камерасындагы хлор газы электроннар белән ионлаша, ә аргон ионнары эш кисәге өслеген бомбага тотуны тизләтә.
Шуңа күрә, бомбага тоту чистарту эффекты яхшы. Эш әйберен якынча 1 минут бомбага тоту чистарту белән генә чистартырга мөмкин, бу "төп дуга бомбага тоту" дип атала. Титан ионнарының югары массасы аркасында, эш әйберен бомбага тоту һәм чистарту өчен кечкенә дуга чыганагы бик озак кулланылса, эш әйберенең температурасы артык кызып китә, һәм корал кырые йомшарырга мөмкин. Гомумән алганда, кечкенә дуга чыганаклары өстән аска таба берәмтекләп кабызыла, һәм һәр кечкенә дуга чыганагы бомбага тоту чистарту вакыты якынча 1 минут тәшкил итә.
(1) Титан аскы катламын каплау
Пленка һәм субстрат арасындагы адгезияне яхшырту өчен, гадәттә, титан нитридын каплар алдыннан саф титан субстраты катламы каплана. Вакуум дәрәҗәсен 5 × 10-2-3 × 10-1Па га кадәр көйләгез, эш кисәгенең көчәнешен 400-500В га кадәр көйләгез һәм импульс көчәнеше белән тәэмин итүнең эш циклын 40% ~ 50% ка кадәр көйләгез. Кечкенә дуга чыганакларын берәмтекләп кабызып, салкын кыр дуга разрядын барлыкка китерегез. Эш кисәгенең тискәре көчәнеше кимү сәбәпле, титан ионнарының энергиясе кими. Эш кисәгенә барып җиткәннән соң, сиптерү эффекты утыру эффектыннан азрак була, һәм титан нитриды каты пленка катламы белән субстрат арасындагы бәйләнеш көчен яхшырту өчен эш кисәгендә титан күчеш катламы барлыкка килә. Бу процесс шулай ук эш кисәген җылыту процессы да. Саф титан максаты разрядланганда, плазмадагы яктылык зәңгәрсу төстә була.
1. Аммиаклы савыт каты пленка белән капланган
Вакуум дәрәҗәсен 3×10 га көйләгез-1-5Па, эш кисәгенең көчәнешен 100-200В ка көйләгез һәм импульс көчәнеше белән тәэмин итүнең эш циклын 70% ~ 80% ка көйләгез. Азот кертелгәннән соң, титан дуга разряд плазмасы белән кушылып титан нитриды каты пленкасын урнаштыра. Бу ноктада вакуум камерасындагы плазма яктылыгы чия кызыл төстә була. Әгәр C2H2, О2һ.б. кертелә, TiCN, TiO2һ.б. пленка катламнарын алырга мөмкин.
–Бу мәкалә Гуандун Чжэньхуа тарафыннан бастырылган,вакуум каплау машинасы җитештерүчесе
Бастырылган вакыты: 2023 елның 1 июне