ʻO ke kaʻina hana o ka cathodic arc source ion coating e like me nā ʻenehana uhi ʻē aʻe, a ʻaʻole e hana hou ʻia kekahi mau hana e like me ka hoʻokomo ʻana i nā mea hana a me ka hoʻoheheʻe ʻana.
1. Hoʻomaʻemaʻe Bombardment o nā mea hana
Ma mua o ka uhi ʻia ʻana, hoʻokomo ʻia ke kinoea argon i loko o ke keʻena uhi me kahi ʻōpala o 2 × 10-2Pa.
E ho'ā i ka mana hoʻolako pulse bias, me ka pōʻaiapili hana o 20% a me kahi mea hana hoʻohālikelike o 800-1000V.
Ke hoʻohuli ʻia ka mana arc, hoʻopuka ʻia kahi hoʻokuʻu kukui arc mahina, e hoʻopuka ana i ka nui o ka electron a me ka titanium ion i kēia manawa mai ke kumu arc, e hana ana i kahi plasma kiʻekiʻe.ʻO ka titanium ion accelerates kona hoʻokomo ʻana i loko o ka mea hana ma lalo o ke kaomi kiʻekiʻe maikaʻi ʻole i hoʻopili ʻia i ka workpiece, bombarding a sputtering i ke koena kinoea a me nā mea haumia adsorbed ma ka ʻili o ka workpiece, a me ka hoʻomaʻemaʻe a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka ʻili o ka mea hana;I ka manawa like, ua hoʻokaʻawale ʻia ke kinoea chlorine i loko o ke keʻena uhi e nā electrons, a ʻo nā argon iions e hoʻolalelale i ka bombardment o ka papa hana.
No laila, maikaʻi ka hopena hoʻomaʻemaʻe bombardment.Ma kahi o 1 minuke wale nō o ka hoʻomaʻemaʻe hoʻomaʻemaʻe hiki ke hoʻomaʻemaʻe i ka mea hana, i kapa ʻia ʻo "main arc bombardment".Ma muli o ke kiʻekiʻe o nā ion titanium, inā hoʻohana ʻia kahi kumu arc liʻiliʻi no ka hoʻomaʻemaʻe a hoʻomaʻemaʻe i ka mea hana no ka lōʻihi loa, hiki i ka wela o ka mea hana ke wela loa, a lilo ka lihi mea hana i palupalu.Ma ka hana maʻamau, hoʻohuli ʻia nā kumu arc liʻiliʻi mai luna a lalo, a ʻo kēlā me kēia kumu arc liʻiliʻi he manawa hoʻomaʻemaʻe hoʻomaʻemaʻe ma kahi o 1 minuke.
（1）Ka uhi ʻana i ka papa lalo o ka titanium
I mea e hoʻomaikaʻi ai i ka hoʻopili ʻana ma waena o ke kiʻiʻoniʻoni a me ka substrate, ua uhi pinepine ʻia kahi papa o ka titanium substrate maʻemaʻe ma mua o ka uhi ʻana i ka titanium nitride.E hoʻololi i ka pae haʻahaʻa i 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, e hoʻoponopono i ka volta hoʻokaʻawale i ka mea hana i 400-500V, a hoʻoponopono i ke kaʻina hana o ka hāʻawi mana pulse bias i 40% ~ 50%.Ke hoʻā mau nei i nā kumu arc liʻiliʻi i kēlā me kēia e hoʻopuka i ka hoʻokuʻu ʻana o ke kahua anu.Ma muli o ka emi ʻana o ka voltage bias maikaʻi ʻole o ka mea hana, ua emi ka ikehu o nā ion titanium.Ma hope o ka hōʻea ʻana i ka mea hana, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka hopena sputtering ma mua o ka hopena deposition, a ua hoʻokumu ʻia kahi papa hoʻololi titanium ma luna o ka mea hana e hoʻomaikaʻi ai i ka ikaika paʻa ma waena o ka titanium nitride hard film layer a me ka substrate.ʻO kēia kaʻina hana hoʻi ke kaʻina hana o ka hoʻomehana ʻana i ka mea hana.Ke hoʻokuʻu ʻia ka pahu titanium maʻemaʻe, ʻo ke kukui i loko o ka plasma he azure blue.
1.Ammoniated kīʻaha paʻa kiʻiʻoniʻoni
E hoʻololi i ka degere vacuum i 3 × 10-1-5Pa, hoʻololi i ka volta hoʻokaʻina hana i ka 100-200V, a hoʻoponopono i ke kaʻina hana o ka hāʻawi mana pulse bias i 70% ~ 80%.Ma hope o ka hoʻokomo ʻia ʻana o ka nitrogen, ʻo ka titanium ka hui pū ʻana me ka arc discharge plasma e waiho i ka titanium nitride hard film.I kēia manawa, ʻulaʻula ke kukui o ka plasma i loko o ke keʻena vacuum.Inā ʻo C2H2, O2, etc. ua hookomoia, TiCN, TiO2, etc. hiki ke loaʻa nā papa kiʻiʻoniʻoni.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua, amea hana mīkini hoʻopaʻa haʻahaʻa
Ka manawa hoʻouna: Jun-01-2023