ʻO ke kaʻina hana o ka uhi ʻana o ka ion kumu arc cathodic ua like ia me nā ʻenehana uhi ʻē aʻe, a ʻaʻole hana hou ʻia kekahi mau hana e like me ke kau ʻana i nā ʻāpana hana a me ka vacuuming.
1. Hoʻomaʻemaʻe ʻana i nā ʻāpana hana me ka hoʻokuʻi ʻana i ka pōkā
Ma mua o ke kau ʻana, ua hoʻokomo ʻia ke kinoea argon i loko o ke keʻena kau me kahi vacuum o 2 × 10-2Pa.
E hoʻā i ka lako mana pulse bias, me kahi pōʻaiapuni hana o 20% a me kahi bias workpiece o 800-1000V.
Ke hoʻā ʻia ka mana arc, hoʻopuka ʻia kahi hoʻokuʻu kukui arc anuanu, kahi e hoʻopuka ai i ka nui o ke au electron a me ke au titanium ion mai ke kumu arc, e hana ana i kahi plasma kiʻekiʻe. Hoʻolalelale ka ion titanium i kona hoʻokomo ʻana i loko o ka workpiece ma lalo o ke kaomi bias kiʻekiʻe maikaʻi ʻole i hoʻopili ʻia i ka workpiece, e hoʻopōʻino ana a pīpī ʻana i ke kinoea koena a me nā mea haumia i hoʻopili ʻia ma luna o ka workpiece, a hoʻomaʻemaʻe a hoʻomaʻemaʻe i ka ʻili o ka workpiece; I ka manawa like, hoʻohuihui ʻia ke kinoea chlorine i loko o ke keʻena uhi e nā electrons, a hoʻolalelale nā iona argon i ka hoʻopōʻino ʻana o ka ʻili o ka workpiece.
No laila, maikaʻi ka hopena hoʻomaʻemaʻe hoʻopōkā. Ma kahi o 1 minuke wale nō o ka hoʻomaʻemaʻe hoʻopōkā hiki ke hoʻomaʻemaʻe i ka ʻāpana hana, ka mea i kapa ʻia ʻo "main arc bombardment". Ma muli o ke kiʻekiʻe o nā ion titanium, inā hoʻohana ʻia kahi kumu arc liʻiliʻi e hoʻopōkā a hoʻomaʻemaʻe i ka ʻāpana hana no ka manawa lōʻihi, hiki ke wela ka mahana o ka ʻāpana hana, a palupalu paha ka lihi o ka mea hana. I ka hana maʻamau, hoʻohuli ʻia nā kumu arc liʻiliʻi mai luna a lalo, a he manawa hoʻomaʻemaʻe hoʻopōkā kēlā me kēia kumu arc liʻiliʻi ma kahi o 1 minuke.
（1）Papa lalo titanium uhi ʻia
I mea e hoʻomaikaʻi ai i ka hoʻopili ʻana ma waena o ke kiʻiʻoniʻoni a me ke substrate, ua uhi pinepine ʻia kahi papa o ka substrate titanium maʻemaʻe ma mua o ka uhi ʻana i ka titanium nitride. E hoʻoponopono i ka pae vacuum i 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, e hoʻoponopono i ka volta bias workpiece i 400-500V, a e hoʻoponopono i ke kaʻina hana o ka mana mana pulse bias i 40% ~ 50%. Ke hoʻā mau nei i nā kumu arc liʻiliʻi hoʻokahi e hana i ka hoʻokuʻu ʻana o ke kahua anu. Ma muli o ka emi ʻana o ka volta bias maikaʻi ʻole o ka workpiece, ua emi ka ikehu o nā ion titanium. Ma hope o ka hiki ʻana i ka workpiece, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka hopena sputtering ma mua o ka hopena deposition, a ua hoʻokumu ʻia kahi papa hoʻololi titanium ma ka workpiece e hoʻomaikaʻi i ka ikaika hoʻopaʻa ma waena o ka papa kiʻiʻoniʻoni paʻakikī titanium nitride a me ka substrate. ʻO kēia kaʻina hana kekahi ke kaʻina hana o ka hoʻomehana ʻana i ka workpiece. Ke hoʻokuʻu ʻia ka pahuhopu titanium maʻemaʻe, he uliuli azure ke kukui i loko o ka plasma.
1. ʻO ka uhi ʻili paʻakikī o ke kīʻaha Ammoniated
E hoʻoponopono i ke kekelē vacuum i 3 × 10-1-5Pa, e hoʻoponopono i ke anakahi uila bias workpiece i 100-200V, a hoʻoponopono i ke kaʻina hana o ka mana mana pulse bias i 70% ~ 80%. Ma hope o ka hoʻokomo ʻia ʻana o ka nitrogen, hui pū ʻia ka titanium me ka plasma hoʻokuʻu arc e waiho i ka ʻili paʻakikī titanium nitride. I kēia manawa, ʻulaʻula cherry ke kukui o ka plasma i loko o ke keʻena vacuum. Inā C2H2, ʻO2, a pēlā aku. ua hoʻolauna ʻia, TiCN, TiO2, a pēlā aku. hiki ke loaʻa nā papa kiʻiʻoniʻoni.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua, hemea hana mīkini uhi hakahaka
Ka manawa hoʻouna: Iune-01-2023