Mitovy amin'ny teknolojia fandrakofana hafa ny dingan'ny fampiasana coating ion amin'ny alalan'ny arc cathodic source, ary tsy averina intsony ny asa sasany toy ny fametrahana workpieces sy ny fanadiovana amin'ny banga.
1. Fanadiovana ireo zavatra vita amin'ny alalan'ny baomba
Alohan'ny hanosorana azy, dia ampidirina ao amin'ny efitrano fanosorana amin'ny alalan'ny banga 2 × 10-2 Pa ny entona argon.
Alefaso ny famatsiana herinaratra pulse bias, miaraka amin'ny tsingerin'ny asa 20% ary ny bias workpiece 800-1000V.
Rehefa alefa ny herin'ny arc, dia misy fivoahan'ny hazavana arc mangatsiaka avy amin'ny saha, izay mamoaka herinaratra elektrôna sy herinaratra ion titane be dia be avy amin'ny loharanon'ny arc, ka mamorona plasma avo lenta. Ny ion titane dia manafaingana ny fampidirana azy ao amin'ny workpiece eo ambanin'ny tsindry avo lenta ampiharina amin'ny workpiece, ka manapoaka sy mamoaka ny entona sy ny loto sisa tavela miraikitra amin'ny velaran'ny workpiece, ary manadio sy manadio ny velaran'ny workpiece; Mandritra izany fotoana izany, ny entona klôro ao amin'ny efitrano coating dia ionized amin'ny alàlan'ny elektrôna, ary ny ion argon dia manafaingana ny fanapoahana ny velaran'ny workpiece.
Noho izany, tsara ny vokatry ny fanadiovana amin'ny alalan'ny baomba. Eo amin'ny 1 minitra eo ho eo monja amin'ny fanadiovana amin'ny alalan'ny baomba no afaka manadio ny workpiece, izay antsoina hoe "main arc bombardment". Noho ny habetsahan'ny ion titane, raha ampiasaina hanadiovana sy handoroana ny workpiece mandritra ny fotoana maharitra ny loharano kely amin'ny alalan'ny baomba, dia mora mafana loatra ny mari-pana ao amin'ny workpiece, ary mety ho malemy ny sisin'ny fitaovana. Amin'ny famokarana ankapobeny, ny loharano kely amin'ny alalan'ny baomba dia alefa tsirairay avy any ambony ka hatrany ambany, ary ny loharano kely tsirairay amin'ny alalan'ny baomba dia manana fotoana fanadiovana amin'ny alalan'ny baomba mandritra ny 1 minitra eo ho eo.
（1）Fanaronana ny sosona ambany vita amin'ny titane
Mba hanatsarana ny fifikirana eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate, dia matetika asiana sosona substrate titane madio alohan'ny handrakofana ny titane nitride. Amboary ny haavon'ny banga ho 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, amboary ny voltase bias workpiece ho 400-500V, ary amboary ny tsingerin'ny asa amin'ny famatsiana herinaratra pulse bias ho 40% ~ 50%. Mbola ampirehetina tsirairay ireo loharano arka kely mba hamoronana fivoahan'ny arka mangatsiaka. Noho ny fihenan'ny voltase bias ratsy amin'ny workpiece, dia mihena ny angovon'ny ion titane. Rehefa tonga eo amin'ny workpiece, dia latsaky ny vokatry ny fametrahana ny vokatry ny sputtering, ary misy sosona tetezamita titane miforona eo amin'ny workpiece mba hanatsarana ny herin'ny fifikirana eo amin'ny sosona sarimihetsika mafy titane nitride sy ny substrate. Ity dingana ity koa dia dingana fanafanana ny workpiece. Rehefa avoaka ny lasibatra titane madio, dia manga manga ny hazavana ao amin'ny plasma.
1. Fonosana sarimihetsika mafy misy amonia
Amboary ny haavon'ny banga ho 3 × 10-1-5Pa, amboary ho 100-200V ny voltazy bias an'ny workpiece, ary amboary ho 70%~80% ny tsingerin'ny asa amin'ny famatsiana herinaratra pulse bias. Rehefa ampidirina ny azota, dia miara-miasa amin'ny plasma arc discharge ny titane mba hametrahana sarimihetsika mafy titane nitride. Amin'izao fotoana izao, mena serizy ny hazavan'ny plasma ao amin'ny efitrano banga. Raha C2H2, O2, sns. dia ampidirina, TiCN, TiO2, sns. azo atao ny mahazo sosona sarimihetsika.
–Navoakan'i Guangdong Zhenhua ity lahatsoratra ity,mpanamboatra milina fanosotra banga
Fotoana fandefasana: 01 Jona 2023