Procesi i veshjes së joneve me burim harku të vogël

Procesi i veshjes së joneve me burim harku katodik është në thelb i njëjtë me teknologjitë e tjera të veshjes, dhe disa operacione të tilla si instalimi i pjesëve të punës dhe pastrimi me vakum nuk përsëriten më.

1. Pastrimi i pjesëve të punës nga bombardimi

Përpara veshjes, gazi i argonit futet në dhomën e veshjes me një vakum prej 2×10-2Pa.

Aktivizoni furnizimin me energji me polarizim pulsiv, me një cikël pune prej 20% dhe një polarizim të pjesës së punës prej 800-1000V.

Kur ndizet energjia e harkut, gjenerohet një shkarkesë drite harku me fushë të ftohtë, e cila lëshon një sasi të madhe rryme elektronike dhe rryme joni titaniumi nga burimi i harkut, duke formuar një plazmë me dendësi të lartë. Joni i titanit përshpejton injektimin e tij në copën e punës nën presionin negativ të lartë të polarizimit të aplikuar në copën e punës, duke bombarduar dhe spërkatur gazin e mbetur dhe ndotësit e adsorbuar në sipërfaqen e copës së punës, dhe duke pastruar dhe purifikuar sipërfaqen e copës së punës; Në të njëjtën kohë, gazi i klorit në dhomën e veshjes jonizohet nga elektronet, dhe jonet e argonit përshpejtojnë bombardimin e sipërfaqes së copës së punës.

Prandaj, efekti i pastrimit me bombardim është i mirë. Vetëm rreth 1 minutë pastrim me bombardim mund të pastrojë pjesën e punës, gjë që quhet "bombardim me hark kryesor". Për shkak të masës së lartë të joneve të titanit, nëse një burim i vogël harku përdoret për të bombarduar dhe pastruar pjesën e punës për një kohë shumë të gjatë, temperatura e pjesës së punës është e prirur ndaj mbinxehjes dhe tehu i mjetit mund të zbutet. Në prodhimin e përgjithshëm, burimet e vogla të harkut ndizen një nga një nga lart poshtë, dhe çdo burim i vogël harku ka një kohë pastrimi me bombardim prej rreth 1 minute.

（1）Veshja e shtresës së poshtme të titanit

Për të përmirësuar ngjitjen midis filmit dhe substratit, zakonisht vishet një shtresë substrati prej titani të pastër përpara se të vishet nitridi i titanit. Rregulloni nivelin e vakumit në 5×10-2-3×10-1Pa, rregulloni tensionin e polarizimit të copës së punës në 400-500V dhe rregulloni ciklin e punës së furnizimit me energji të polarizimit të pulsit në 40%~50%. Duke ndezur ende burimet e vogla të harkut një nga një për të gjeneruar shkarkim të harkut të fushës së ftohtë. Për shkak të uljes së tensionit negativ të polarizimit të copës së punës, energjia e joneve të titanit zvogëlohet. Pasi të arrijë në copën e punës, efekti i spërkatjes është më i vogël se efekti i depozitimit dhe një shtresë kalimtare titaniumi formohet në copën e punës për të përmirësuar forcën e lidhjes midis shtresës së filmit të fortë të nitritit të titanit dhe substratit. Ky proces është gjithashtu procesi i ngrohjes së copës së punës. Kur shënjestra e pastër e titanit shkarkohet, drita në plazmë është blu e kaltër.

1. Veshje e fortë e filmit të amoniakut

Rregulloni shkallën e vakumit në 3×10^-1-5Pa, rregulloni tensionin e polarizimit të pjesës së punës në 100-200V dhe rregulloni ciklin e punës së furnizimit me energji të polarizimit të pulsit në 70%~80%. Pasi të futet azoti, titaniumi bashkëvepron me plazmën e shkarkimit të harkut për të depozituar një film të fortë nitriti të titanit. Në këtë pikë, drita e plazmës në dhomën e vakumit është e kuqe qershie. Nëse C₂H₂, O₂, etj., prezantohen, TiCN, TiO₂, etj. mund të merren shtresa filmi.

–Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua, njëprodhuesi i makinës së veshjes me vakum