HFCVD0606

ဓာတုအငွေ့စုပုံစက်ကိရိယာ၏ ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံအခန်းသည် အအေးပေးရာတွင် ထိရောက်ပြီး တသမတ်တည်းရှိသော သီးခြားနှစ်ထပ်ရေအေးပေးသည့်ဖွဲ့စည်းပုံကို အသုံးပြုထားပြီး ဘေးကင်းပြီး တည်ငြိမ်သောဖွဲ့စည်းပုံရှိသည်။ စက်ကိရိယာကို နှစ်ထပ်တံခါးများ၊ စောင့်ကြည့်ရေးပြတင်းပေါက်များစွာနှင့် ချဲ့ထွင်မှုမျက်နှာပြင်များစွာဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး အနီအောက်ရောင်ခြည်အပူချိန်တိုင်းတာခြင်း၊ ရောင်စဉ်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း၊ ဗီဒီယိုစောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် သာမိုကာပယ်ကဲ့သို့သော အရန်ဆက်စပ်ပစ္စည်းများကို ပြင်ပချိတ်ဆက်ရန်အတွက် အဆင်ပြေသည်။ အဆင့်မြင့်ဒီဇိုင်းသဘောတရားသည် နေ့စဉ်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်း၊ စက်ပစ္စည်း၏ဖွဲ့စည်းပုံပြောင်းလဲခြင်းနှင့် အဆင့်မြှင့်တင်ခြင်းတို့ကို လွယ်ကူရိုးရှင်းစေပြီး အသုံးပြုမှုနှင့် အဆင့်မြှင့်တင်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို ထိရောက်စွာလျှော့ချပေးသည်။

ပစ္စည်းကိရိယာအင်္ဂါရပ်များ-

၁။ စက်ပစ္စည်း၏ ဖောင်းပွမှုအစိတ်အပိုင်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် mass flow meter၊ solenoid valve နှင့် gas mixing tank တို့ပါဝင်ပြီး ၎င်းတို့သည် လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကို တိကျစွာထိန်းချုပ်နိုင်ခြင်း၊ တစ်ပြေးညီရောစပ်နိုင်ခြင်းနှင့် မတူညီသောဓာတ်ငွေ့များကို ဘေးကင်းစွာခွဲထုတ်နိုင်ခြင်း၊ အရည်ဓာတ်ငွေ့အရင်းအမြစ်အသုံးပြုရန်အတွက် ဓာတ်ငွေ့စနစ်အစိတ်အပိုင်းများကို ရွေးချယ်နိုင်ခြင်း၊ အရည်ကာဗွန်အရင်းအမြစ်အမျိုးမျိုးကို စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်နိုင်ခြင်းနှင့် ဓာတုလျှပ်ကူးပစ္စည်းစိန်နှင့် electrode အရည် boron အရင်းအမြစ်များကို ဘေးကင်းစွာအသုံးပြုခြင်းတို့ကို လွယ်ကူချောမွေ့စေပါသည်။
၂။ လေထုတ်ယူမှုတပ်ဆင်မှုတွင် တိတ်ဆိတ်ပြီး ထိရောက်သော rotary vane vacuum pump နှင့် turbo molecular pump စနစ်တို့ တပ်ဆင်ထားပြီး မြင့်မားသော vacuum background ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျင်မြန်စွာ ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်ပါသည်။ resistance gauge နှင့် ionization gauge ပါရှိသော composite vacuum gauge ကို vacuum တိုင်းတာရန်အတွက် အသုံးပြုသည့်အပြင် မတူညီသော process gas များ၏ ဖိအားကို ကျယ်ပြန့်သော အကွာအဝေးတွင် တိုင်းတာနိုင်သော capacitive film gauge system ကိုလည်း အသုံးပြုထားပါသည်။ deposition pressure ကို မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော proportional control valve ဖြင့် အလိုအလျောက် ထိန်းချုပ်ပေးပါသည်။
၃။ အအေးပေးရေ အစိတ်အပိုင်းတွင် ရေဖိအား၊ စီးဆင်းမှု၊ အပူချိန်တိုင်းတာမှုနှင့် ဆော့ဖ်ဝဲလ် အလိုအလျောက် စောင့်ကြည့်ခြင်းတို့ တပ်ဆင်ထားသည်။ အအေးပေးရေ အစိတ်အပိုင်း အမျိုးမျိုးသည် တစ်ခုနှင့်တစ်ခု သီးခြားစီ တည်ရှိသောကြောင့် လျင်မြန်စွာ ချို့ယွင်းချက် ရှာဖွေဖော်ထုတ်ရန် အဆင်ပြေသည်။ ဌာနခွဲအားလုံးတွင် ဘေးကင်းပြီး ထိရောက်သော သီးခြား အဆို့ရှင်ခလုတ်များ ရှိသည်။
၄။ လျှပ်စစ်ထိန်းချုပ်မှုအစိတ်အပိုင်းများသည် ကြီးမားသော man-machine interface LCD မျက်နှာပြင်ကို အသုံးပြုထားပြီး လုပ်ငန်းစဉ်ဖော်မြူလာကို တည်းဖြတ်ခြင်းနှင့် တင်သွင်းခြင်းတို့ကို လွယ်ကူချောမွေ့စေရန် PLC အပြည့်အဝအလိုအလျောက်ထိန်းချုပ်မှုနှင့် ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်သည်။ ဂရပ်ဖစ်မျဉ်းကွေးသည် ကွဲပြားသော parameter များ၏ ပြောင်းလဲမှုများနှင့် တန်ဖိုးများကို အမြင်အာရုံဖြင့် ပြသပြီး ပြဿနာရှာဖွေခြင်းနှင့် အချက်အလက်စာရင်းအင်းခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်းကို လွယ်ကူချောမွေ့စေရန် ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ် parameter များကို အလိုအလျောက် မှတ်တမ်းတင်ပြီး မော်ကွန်းတင်ထားသည်။
၅။ workpiece rack တွင် substrate table ကို မြှင့်တင်ခြင်းနှင့် နှိမ့်ချခြင်းကို ထိန်းချုပ်ရန် servo motor တပ်ဆင်ထားသည်။ graphite သို့မဟုတ် red copper substrate table ကို ရွေးချယ်နိုင်သည်။ အပူချိန်ကို thermocouple ဖြင့် တိုင်းတာသည်။
၆။ ဖောက်သည်များ၏ အထူးကိုင်တွယ်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် သိုလှောင်ရုံအစိတ်အပိုင်းများကို ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များအရ တစ်ခုလုံး သို့မဟုတ် သီးခြားစီ ဒီဇိုင်းထုတ်နိုင်သည်။
၇။ တံဆိပ်ခတ်ပြား အစိတ်အပိုင်းများသည် လှပပြီး ကြော့ရှင်းပါသည်။ စက်ပစ္စည်း၏ လုပ်ဆောင်ချက်အမျိုးမျိုးရှိသော မော်ဂျူးဧရိယာများရှိ တံဆိပ်ခတ်ပြားများကို လျင်မြန်စွာ ဖြုတ်တပ်နိုင်သည် သို့မဟုတ် သီးခြားစီ ဖွင့်ပိတ်နိုင်သည်၊ ၎င်းသည် အသုံးပြုရန် အလွန်အဆင်ပြေပါသည်။

ပူပြင်းသော filament CVD ပစ္စည်းကိရိယာများသည် ပါးလွှာသောအလွှာအလွှာ၊ ကိုယ်တိုင်ထောက်ပံ့သော အထူအလွှာ၊ မိုက်ခရိုခရစ္စတယ်လင်းနှင့် နန်ကိုခရစ္စတယ်လင်းစိန်၊ လျှပ်ကူးနိုင်သောစိန်စသည်တို့အပါအဝင် စိန်ပစ္စည်းများကို အပ်နှံရန်အတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ ၎င်းကို အဓိကအားဖြင့် ဘိလပ်မြေကာဗိုက်ဖြတ်တောက်ကိရိယာများ၏ ဟောင်းနွမ်းမှုဒဏ်ခံနိုင်သော အကာအကွယ်အလွှာ၊ ဆီလီကွန်နှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ၊ စက်ပစ္စည်းများ၏ အပူပျံ့နှံ့မှုအလွှာ၊ ဘိုရွန်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော လျှပ်ကူးနိုင်သောစိန်လျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ အီလက်ထရိုလိုက်ရေ သို့မဟုတ် မိလ္လာသန့်စင်မှုတွင် အိုဇုန်းပိုးသတ်ခြင်းအတွက် အသုံးပြုပါသည်။