HFCVD0606

Komora próżniowego powlekania w urządzeniu do chemicznego osadzania z fazy gazowej wykorzystuje niezależną, dwuwarstwową konstrukcję chłodzenia wodnego, która zapewnia wydajne i równomierne chłodzenie, a także charakteryzuje się bezpieczną i stabilną konstrukcją. Urządzenie zostało zaprojektowane z podwójnymi drzwiami, wieloma oknami obserwacyjnymi i wieloma interfejsami rozszerzeń, co ułatwia zewnętrzne podłączanie urządzeń peryferyjnych, takich jak pomiar temperatury w podczerwieni, analiza widmowa, monitoring wideo i termopara. Zaawansowana koncepcja konstrukcyjna ułatwia codzienne przeglądy i konserwację, zmianę konfiguracji i modernizację urządzenia, a także skutecznie obniża koszty użytkowania i modernizacji.

Cechy wyposażenia:

1. Elementy napełniające urządzenia obejmują głównie przepływomierz masowy, zawór elektromagnetyczny i zbiornik mieszania gazu, które zapewniają dokładną kontrolę przepływu gazu procesowego, równomierne mieszanie i bezpieczną izolację różnych gazów. Umożliwiają one wybór elementów układu gazowego do wykorzystania źródła gazu ciekłego, ułatwiają spersonalizowany wybór szerokiej gamy źródeł węgla ciekłego oraz bezpieczne stosowanie syntetycznych przewodzących diamentów i elektrod z ciekłym borem.
2. Zespół wyciągu powietrza jest wyposażony w cichą i wydajną łopatkową pompę próżniową oraz system pompy turbomolekularnej, które szybko dostosowują się do warunków wysokiej próżni. Do pomiaru próżni wykorzystywany jest kompozytowy wakuometr z czujnikiem rezystancyjnym i czujnikiem jonizacji, a także system pomiaru ciśnienia z powłoką pojemnościową, który umożliwia pomiar ciśnienia różnych gazów procesowych w szerokim zakresie. Ciśnienie osadzania jest w pełni automatycznie regulowane przez precyzyjny zawór proporcjonalny.
3. Komponent wody chłodzącej jest wyposażony w wielokanałowy pomiar ciśnienia, przepływu i temperatury wody oraz automatyczny monitoring programowy. Poszczególne komponenty chłodzące są niezależne od siebie, co ułatwia szybką diagnostykę usterek. Wszystkie odgałęzienia posiadają niezależne przełączniki zaworów, co jest bezpieczne i wydajne.
4. Elementy sterowania elektrycznego wykorzystują duży ekran LCD interfejsu człowiek-maszyna i współpracują z w pełni automatycznym sterownikiem PLC, co ułatwia edycję i importowanie formuły procesu. Wykres graficzny wizualnie prezentuje zmiany i wartości różnych parametrów, a parametry urządzenia i procesu są automatycznie rejestrowane i archiwizowane, co ułatwia śledzenie problemów i analizę statystyczną danych.
5. Stojak na obrabiany przedmiot jest wyposażony w serwosilnik sterujący podnoszeniem i opuszczaniem stołu z podłożem. Do wyboru jest stół z podłożem grafitowym lub miedzianym. Temperatura jest mierzona za pomocą termopary.
6. Elementy regału mogą być zaprojektowane jako całość lub oddzielnie, zgodnie z wymaganiami klienta, aby spełnić jego specjalne wymagania dotyczące obsługi.
7. Elementy płyty uszczelniającej są estetyczne i eleganckie. Płyty uszczelniające w różnych modułach funkcyjnych urządzenia można szybko zdemontować lub otwierać i zamykać niezależnie, co jest bardzo wygodne w użyciu.

Urządzenie CVD z gorącym włóknem nadaje się do osadzania materiałów diamentowych, w tym powłok cienkowarstwowych, samonośnych grubych warstw, diamentu mikrokrystalicznego i nanokrystalicznego, diamentu przewodzącego itp. Jest ono głównie stosowane do tworzenia odpornych na zużycie powłok ochronnych na narzędziach skrawających z węglika spiekanego, materiałów półprzewodnikowych, takich jak krzem i węglik krzemu, powłok rozpraszających ciepło na urządzeniach, elektrod diamentowych przewodzących z domieszką boru, dezynfekcji ozonem wody elektrolitycznej lub oczyszczania ścieków.