HFCVD0606

تعتمد حجرة الطلاء الفراغي في جهاز الترسيب الكيميائي للبخار على هيكل تبريد مائي مزدوج الطبقات مستقل، مما يضمن تبريدًا فعالًا ومتجانسًا، فضلًا عن بنية آمنة ومستقرة. صُمم الجهاز ببابين، ونوافذ مراقبة متعددة، ومنافذ توسعة متعددة، مما يُسهّل توصيل الأجهزة الطرفية المساعدة الخارجية، مثل أجهزة قياس درجة الحرارة بالأشعة تحت الحمراء، والتحليل الطيفي، والمراقبة بالفيديو، والمزدوجات الحرارية. يُسهّل هذا التصميم المتقدم عمليات الصيانة والإصلاح اليومية، وتغيير التكوين، وتحديث الجهاز، مما يُقلل بشكل فعال من تكاليف التشغيل والتحديث.

ميزات الجهاز:

1. تشمل مكونات نفخ المعدات بشكل أساسي مقياس تدفق الكتلة وصمام الملف اللولبي وخزان خلط الغاز، مما يضمن التحكم الدقيق في تدفق غاز العملية، والخلط المتجانس والعزل الآمن للغازات المختلفة، ويمكن اختيار مكونات نظام الغاز لاستخدام مصدر الغاز السائل، وتسهيل الاختيار الشخصي لمجموعة واسعة من مصادر الكربون السائل، والاستخدام الآمن للماس الموصل الاصطناعي ومصادر البورون السائل للأقطاب الكهربائية.
2. تم تجهيز وحدة سحب الهواء بمضخة تفريغ دوارة صامتة وفعالة، ونظام مضخة جزيئية توربينية قادرة على تلبية متطلبات بيئة الفراغ العالي بسرعة. ويُستخدم مقياس فراغ مُركّب مزود بمقياس مقاومة ومقياس تأين لقياس الفراغ، بالإضافة إلى نظام مقياس غشائي سعوي لقياس ضغط غازات المعالجة المختلفة ضمن نطاق واسع. ويتم التحكم في ضغط الترسيب تلقائيًا بالكامل بواسطة صمام تحكم تناسبي عالي الدقة.
3. تم تجهيز وحدة مياه التبريد بنظام قياس متعدد القنوات لضغط المياه وتدفقها ودرجة حرارتها، بالإضافة إلى نظام مراقبة تلقائي برمجي. تتميز مكونات التبريد المختلفة باستقلاليتها عن بعضها البعض، مما يُسهّل تشخيص الأعطال بسرعة. كما تحتوي جميع الفروع على مفاتيح صمامات مستقلة، مما يضمن السلامة والكفاءة.
4. تعتمد مكونات التحكم الكهربائي على شاشة LCD كبيرة الحجم لواجهة المستخدم، وتعمل بالتنسيق مع وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة (PLC) للتحكم الآلي الكامل، مما يُسهّل تحرير واستيراد معادلات العمليات. يعرض المنحنى البياني التغيرات والقيم لمختلف المعايير بشكل مرئي، ويتم تسجيل معايير المعدات والعمليات وأرشفتها تلقائيًا لتسهيل تتبع المشكلات وتحليل البيانات الإحصائية.
٥- تم تجهيز رفّ قطعة العمل بمحرك مؤازر للتحكم في رفع وخفض طاولة الركيزة. ويمكن اختيار طاولة الركيزة المصنوعة من الجرافيت أو النحاس الأحمر. ويتم قياس درجة الحرارة بواسطة مزدوجة حرارية.
6. يمكن تصميم مكونات الرف ككل أو بشكل منفصل وفقًا لمتطلبات العميل لتلبية متطلبات المناولة الخاصة بالعملاء.
7. تتميز مكونات لوحة الإغلاق بجمالها وأناقتها. ويمكن فك لوحات الإغلاق في مختلف مناطق الوحدات الوظيفية للجهاز أو فتحها وإغلاقها بشكل مستقل وبسرعة، مما يجعل استخدامها مريحًا للغاية.

معدات الترسيب الكيميائي للبخار بالخيوط الساخنة مناسبة لترسيب مواد الماس، بما في ذلك طلاء الأغشية الرقيقة، والأغشية السميكة ذاتية الدعم، والماس الميكروكريستالي والنانوي، والماس الموصل، وما إلى ذلك. وهي تستخدم بشكل أساسي للطلاء الواقي المقاوم للتآكل لأدوات القطع المصنوعة من كربيد التنجستن، ومواد أشباه الموصلات مثل السيليكون وكربيد السيليكون، وطلاء تبديد الحرارة للأجهزة، وأقطاب الماس الموصلة المطعمة بالبورون، وتطهير المياه الإلكتروليتية أو معالجة مياه الصرف الصحي بالأوزون.