एचएफसीव्हीडी०६०६

केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन उपकरणाच्या व्हॅक्यूम कोटिंग चेंबरमध्ये स्वतंत्र दुहेरी-थर जल-शीतलन रचना वापरली आहे, जी शीतलनामध्ये कार्यक्षम आणि एकसमान असून तिची रचना सुरक्षित आणि स्थिर आहे. या उपकरणाची रचना दुहेरी दरवाजे, अनेक निरीक्षण खिडक्या आणि अनेक विस्तार इंटरफेससह केली आहे, ज्यामुळे इन्फ्रारेड तापमान मापन, वर्णक्रमीय विश्लेषण, व्हिडिओ मॉनिटरिंग आणि थर्मोकपल यांसारख्या सहायक उपकरणांची बाह्य जोडणी करणे सोयीचे होते. प्रगत डिझाइन संकल्पनेमुळे उपकरणाची दैनंदिन दुरुस्ती आणि देखभाल, कॉन्फिगरेशन बदल आणि अपग्रेड करणे सोपे आणि सुलभ होते, आणि वापर व अपग्रेडचा खर्च प्रभावीपणे कमी होतो.

उपकरणांची वैशिष्ट्ये:

१. उपकरणाच्या इन्फ्लेशन घटकांमध्ये प्रामुख्याने मास फ्लो मीटर, सोलेनॉइड व्हॉल्व्ह आणि गॅस मिक्सिंग टँक यांचा समावेश होतो, जे प्रक्रिया वायू प्रवाहाचे अचूक नियंत्रण, एकसमान मिश्रण आणि विविध वायूंचे सुरक्षित विलगीकरण सुनिश्चित करतात, तसेच द्रव वायू स्रोताच्या वापरासाठी गॅस सिस्टीमचे घटक निवडू शकतात, ज्यामुळे विविध प्रकारच्या द्रव कार्बन स्रोतांची वैयक्तिकृत निवड आणि कृत्रिम प्रवाहकीय हिरा व इलेक्ट्रोड द्रव बोरॉन स्रोतांचा सुरक्षित वापर सुलभ होतो.
२. एअर एक्स्ट्रॅक्शन असेंब्लीमध्ये एक शांत आणि कार्यक्षम रोटरी वेन व्हॅक्यूम पंप आणि एक टर्बो मॉलिक्युलर पंप सिस्टीम बसवलेली आहे, जी उच्च व्हॅक्यूम पार्श्वभूमीच्या वातावरणाची त्वरीत पूर्तता करू शकते. व्हॅक्यूम मोजण्यासाठी रेझिस्टन्स गेज आणि आयनायझेशन गेज असलेले संयुक्त व्हॅक्यूम गेज वापरले जाते, तसेच कॅपॅसिटिव्ह फिल्म गेज सिस्टीम वापरली जाते, जी विविध प्रक्रिया वायूंचा दाब विस्तृत श्रेणीत मोजू शकते. डिपॉझिशनचा दाब उच्च-सुस्पष्टता असलेल्या प्रोपोर्शनल कंट्रोल व्हॉल्व्हद्वारे पूर्णपणे स्वयंचलितपणे नियंत्रित केला जातो.
३. शीतकरण पाण्याच्या घटकामध्ये बहु-मार्गी पाण्याचा दाब, प्रवाह, तापमान मोजमाप आणि सॉफ्टवेअरद्वारे स्वयंचलित देखरेख करण्याची सोय आहे. वेगवेगळे शीतकरण घटक एकमेकांपासून स्वतंत्र आहेत, ज्यामुळे दोषांचे जलद निदान करणे सोयीचे होते. सर्व शाखांमध्ये स्वतंत्र व्हॉल्व्ह स्विचेस आहेत, जे सुरक्षित आणि कार्यक्षम आहे.
४. विद्युत नियंत्रण घटकांमध्ये मोठ्या आकाराची मॅन-मशीन इंटरफेस एलसीडी स्क्रीन वापरली जाते आणि ती पीएलसी पूर्ण-स्वयंचलित नियंत्रणासह कार्य करते, ज्यामुळे प्रक्रिया सूत्रांचे संपादन आणि आयात करणे सोपे होते. ग्राफिकल वक्र विविध पॅरामीटर्समधील बदल आणि मूल्ये दृष्य स्वरूपात प्रदर्शित करतो, आणि समस्या शोधणे व डेटाचे सांख्यिकीय विश्लेषण सुलभ करण्यासाठी उपकरण आणि प्रक्रिया पॅरामीटर्स स्वयंचलितपणे रेकॉर्ड आणि संग्रहित केले जातात.
५. वर्कपीस रॅकमध्ये सबस्ट्रेट टेबल उचलणे आणि खाली करणे नियंत्रित करण्यासाठी सर्वो मोटर बसवलेली असते. ग्राफाइट किंवा रेड कॉपर सबस्ट्रेट टेबल निवडता येतो. तापमान थर्मोकपलद्वारे मोजले जाते.
६. ग्राहकांच्या विशेष हाताळणीच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी, रॅकचे घटक ग्राहकांच्या गरजेनुसार एकत्रितपणे किंवा स्वतंत्रपणे डिझाइन केले जाऊ शकतात.
७. सीलिंग प्लेटचे घटक सुंदर आणि सुबक आहेत. उपकरणाच्या वेगवेगळ्या कार्यात्मक मॉड्यूल क्षेत्रांमधील सीलिंग प्लेट्स त्वरीत वेगळ्या करता येतात किंवा स्वतंत्रपणे उघडता आणि बंद करता येतात, ज्यामुळे वापरण्यास खूप सोयीस्कर होते.

हॉट फिलामेंट सीव्हीडी उपकरण हे पातळ थराचे लेपन, स्व-आधारित जाड थर, सूक्ष्मस्फटिकी आणि नॅनोस्फटिकी हिरे, प्रवाहकीय हिरे इत्यादींसह हिऱ्याच्या सामग्रीचे निक्षेपण करण्यासाठी योग्य आहे. याचा उपयोग प्रामुख्याने सिमेंटेड कार्बाइड कटिंग टूल्सचे झीज-प्रतिरोधक संरक्षक लेपन, सिलिकॉन आणि सिलिकॉन कार्बाइडसारख्या अर्धसंवाहक सामग्री, उपकरणांचे उष्णता-उत्सर्जन लेपन, बोरॉन-मिश्रित प्रवाहकीय हिऱ्याचे इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोलाइटिक पाण्याचे ओझोन निर्जंतुकीकरण किंवा सांडपाणी प्रक्रिया यांसाठी केला जातो.