Ụlọ mkpuchi ikuku nke ngwa nchekwa anwụrụ kemịkalụ na-eji usoro oyi mmiri nke nwere oyi akwa abụọ, nke dị irè ma dịkwa otu n'ime oyi, ma nwee usoro nchekwa na nkwụsi ike. Emebere ngwa a site na ọnụ ụzọ abụọ, windo nlele ọtụtụ na ọtụtụ njikọ mgbasawanye, nke dị mma maka njikọ mpụga nke ihe mgbakwunye enyemaka dịka nha okpomọkụ infrared, nyocha spectral, nlekota vidiyo na thermocouple. Echiche imewe dị elu na-eme ka ndozi na mmezi kwa ụbọchị, mgbanwe nhazi na nkwalite nke akụrụngwa dị mfe ma dị mfe, ma na-ebelata ọnụ ahịa ojiji na nkwalite nke ọma.
Atụmatụ akụrụngwa:
1. Akụkụ onu oriri nke akụrụngwa ahụ gụnyere mita mmiri oke, valvụ solenoid na tankị ngwakọta gas, nke na-ahụ na njikwa ziri ezi nke usoro gas, ngwakọta otu na ikewapụ gas dị iche iche n'enweghị nsogbu, ma nwee ike ịhọrọ akụkụ sistemụ gas maka ojiji nke isi iyi gas mmiri mmiri, mee ka nhọrọ ahaziri ahazi nke ọtụtụ isi iyi carbon mmiri mmiri dị mfe, yana ojiji nchekwa nke isi iyi boron sịntetik na-eduzi diamond na electrode mmiri mmiri.
2. A na-eji igwe mmịpụta ikuku arụ ọrụ nke nwere ọkpọkọ vacuum rotary vane dị jụụ ma dị irè yana sistemụ ọkpọkọ molekul turbo nke nwere ike izute gburugburu azụ vacuum dị elu ngwa ngwa. A na-eji igwe mmịpụta vacuum composite nwere igwe mmịpụta iguzogide na igwe mmịpụta ionization maka nha vacuum, yana sistemụ igwe mmịpụta capacitive nke nwere ike tụọ nrụgide nke gas usoro dị iche iche n'ọtụtụ ebe. A na-ejikwa valvụ njikwa nha anya dị elu na-achịkwa nrụgide nkwụnye ahụ kpamkpam na akpaghị aka.
3. Akụkụ mmiri oyi ahụ nwere ọtụtụ ọwa mmiri, mmiri na-asọfe, nha okpomọkụ na ngwanrọ na-enyocha onwe ha ozugbo. Akụkụ dị iche iche nke oyi anaghị adabere na ibe ha, nke dị mma maka nchọpụta njehie ngwa ngwa. Alaka niile nwere mgbanwe valvụ nọọrọ onwe ha, nke dị nchebe ma dị irè.
4. Ihe ndị mejupụtara njikwa eletriki na-eji ihuenyo LCD nke igwe mmadụ buru ibu ma na-arụkọ ọrụ na njikwa akpaka zuru oke nke PLC iji mee ka nhazi na mbubata usoro usoro dị mfe. Usoro eserese ahụ na-egosipụta mgbanwe na uru nke paramita dị iche iche n'anya, a na-edekọkwa ma chekwaa akụrụngwa na paramita usoro na akpaghị aka iji mee ka nchọpụta nsogbu na nyocha ọnụọgụ data dị mfe.
5. E nwere moto servo nke e ji arụ ọrụ ahụ iji chịkwaa ibuli na iweda tebụl substrate ahụ. Enwere ike ịhọrọ tebụl substrate graphite ma ọ bụ uhie copper. A na-eji thermocouple atụ okpomọkụ ahụ.
6. Enwere ike ịhazi akụkụ rack ahụ n'ozuzu ya ma ọ bụ iche iche dịka ihe ndị ahịa chọrọ si dị iji mezuo ihe ndị ahịa chọrọ maka njikwa pụrụ iche.
7. Akụkụ efere mkpuchi ahụ mara mma ma mara mma. Enwere ike ịgbasa ma ọ bụ mepee ma mechie efere mkpuchi dị na mpaghara modulu ọrụ dị iche iche nke ngwa ahụ ngwa ngwa, nke dị mma iji.
Ngwa CVD nke eriri ọkụ dị mma maka itinye ihe diamond, gụnyere mkpuchi ihe nkiri dị gịrịgịrị, ihe nkiri dị oke ibu nke na-akwado onwe ya, diamond microcrystalline na nanocrystalline, diamond conductive, wdg. A na-ejikarị ya eme ihe maka mkpuchi nchebe na-adịghị emebi emebi nke ngwaọrụ ịkpụ carbide simenti, ihe semiconductor dị ka silicon na silicon carbide, mkpuchi mwepụ okpomọkụ nke ngwaọrụ, boron doped diamond electrode, ozone disinfection nke mmiri electrolytic ma ọ bụ ọgwụgwọ nsị.
| Ụdị nhọrọ | nha ime ụlọ dị n'ime |
| HFCVD0606 | φ600*H600(mm) |