HFCVD0606

La camera di rivestimento sottovuoto dell'apparecchiatura per deposizione chimica da fase vapore (CVD) adotta una struttura di raffreddamento ad acqua a doppio strato indipendente, che garantisce un raffreddamento efficiente e uniforme, oltre a una struttura sicura e stabile. L'apparecchiatura è progettata con doppie porte, finestre di osservazione multiple e diverse interfacce di espansione, che facilitano il collegamento esterno di periferiche ausiliarie come la misurazione della temperatura a infrarossi, l'analisi spettrale, la videosorveglianza e le termocoppie. Il concetto di progettazione avanzato semplifica le operazioni di revisione e manutenzione ordinaria, la modifica della configurazione e l'aggiornamento dell'apparecchiatura, riducendo efficacemente i costi di utilizzo e di aggiornamento.

Caratteristiche dell'apparecchiatura:

1. I componenti di gonfiaggio dell'apparecchiatura includono principalmente un flussometro di massa, un'elettrovalvola e un serbatoio di miscelazione del gas, che garantiscono il controllo accurato del flusso del gas di processo, la miscelazione uniforme e l'isolamento sicuro dei diversi gas, e possono selezionare i componenti del sistema del gas per l'uso di una fonte di gas liquido, facilitando la selezione personalizzata di un'ampia gamma di fonti di carbonio liquido e l'uso sicuro di diamante conduttivo sintetico e fonti di boro liquido per elettrodi.
2. Il gruppo di aspirazione dell'aria è dotato di una pompa per vuoto a palette rotative silenziosa ed efficiente e di un sistema di pompa turbomolecolare in grado di raggiungere rapidamente un ambiente di alto vuoto. Per la misurazione del vuoto viene utilizzato un manometro composito con resistenza e ionizzatore, nonché un sistema di manometri a film capacitivo in grado di misurare la pressione di diversi gas di processo in un ampio intervallo. La pressione di deposizione è controllata in modo completamente automatico da una valvola di controllo proporzionale ad alta precisione.
3. Il componente dell'acqua di raffreddamento è dotato di misurazione multicanale della pressione, della portata e della temperatura dell'acqua, con monitoraggio automatico tramite software. I diversi componenti di raffreddamento sono indipendenti l'uno dall'altro, il che facilita una rapida diagnosi dei guasti. Tutti i rami dispongono di interruttori delle valvole indipendenti, garantendo sicurezza ed efficienza.
4. I componenti di controllo elettrico adottano un ampio schermo LCD di interfaccia uomo-macchina e collaborano con un sistema di controllo completamente automatico PLC per facilitare la modifica e l'importazione delle formule di processo. Il grafico visualizza in modo chiaro le variazioni e i valori dei vari parametri, e i parametri dell'apparecchiatura e del processo vengono registrati e archiviati automaticamente per facilitare l'individuazione dei problemi e l'analisi statistica dei dati.
5. Il supporto per i pezzi è dotato di un servomotore per controllare il sollevamento e l'abbassamento del piano di lavoro. È possibile scegliere tra un piano di lavoro in grafite o in rame rosso. La temperatura viene misurata tramite una termocoppia.
6. I componenti del rack possono essere progettati come un tutt'uno o separatamente in base alle esigenze del cliente, per soddisfare i requisiti di movimentazione specifici.
7. I componenti della piastra di tenuta sono belli ed eleganti. Le piastre di tenuta nelle diverse aree del modulo funzionale dell'apparecchiatura possono essere smontate rapidamente o aperte e chiuse in modo indipendente, il che è molto comodo da usare.

Le apparecchiature CVD a filamento caldo sono adatte alla deposizione di materiali diamantati, tra cui rivestimenti a film sottile, film spessi autoportanti, diamanti microcristallini e nanocristallini, diamanti conduttivi, ecc. Sono utilizzate principalmente per il rivestimento protettivo antiusura di utensili da taglio in carburo cementato, materiali semiconduttori come silicio e carburo di silicio, rivestimenti per la dissipazione del calore di dispositivi, elettrodi di diamante conduttivo drogato con boro, disinfezione con ozono di acque elettrolitiche o trattamento delle acque reflue.