O le potu ufiufi o le masini e teu ai le ausa o vailaʻau e faʻaaogaina ai se fausaga faʻamālūlū vai tutoʻatasi e lua vaega, e lelei ma tutusa le faʻamālūlūina, ma e saogalemu ma mautu lona fausaga. O le masini ua mamanuina i faitotoʻa e lua, faʻamalama e tele e mataʻituina ai ma faʻalautele ai foʻi, e faigofie mo le faʻafesoʻotaʻi i fafo o mea faʻaopoopo e pei o le fuaina o le vevela o le infrared, suʻesuʻega o le spectral, mataʻituina o vitio ma le thermocouple. O le mamanu faʻapitoa e faigofie ai ma faigofie ai le toe faʻaleleia ma le tausiga i aso taʻitasi, suiga o le faʻatulagaga ma le faʻaleleia atili o le masini, ma faʻaitiitia ai le tau o le faʻaaogaina ma le faʻaleleia atili.
Vaega o meafaigaluega:
1. O vaega o le masini e fa'afefeteina ai le ea e aofia ai le mita tafe tele, le solenoid valve ma le tane palu kesi, lea e fa'amautinoa ai le pulea sa'o o le tafe o le kesi, palu tutusa ma le saogalemu o le vavae'eseina o kesi eseese, ma e mafai ona filifilia vaega o le faiga kesi mo le fa'aaogaina o le puna kesi vai, fa'afaigofieina le filifilia fa'apitoa o le tele o puna kaponi vai, ma le saogalemu o le fa'aaogaina o le taimane fa'asu'esu'e ma le eletise puna boron vai.
2. O le fa'apotopotoga e aveese ai le ea ua fa'apipi'iina i se pamu e leai se pisa e fa'ata'amilomilo lelei ma se faiga pamu turbo molecular e mafai ona vave fa'afetaui le siosiomaga maualuga o le vacuum. O le composite vacuum gauge fa'atasi ai ma le resistance gauge ma le ionization gauge e fa'aaogaina mo le fuaina o le vacuum, fa'apea fo'i ma le capacitive film gauge system lea e mafai ona fuaina le mamafa o kasa fa'agasolo eseese i se lautele lautele. O le mamafa o le fa'aputuga e pulea atoatoa e le valve pulea fa'atatau maualuga.
3. O le vaega o le vai fa'amālūlū ua fa'apipi'iina i le mamafa o le vai e tele ala, le tafe, le fuaina o le vevela ma le polokalame faakomepiuta e otometi ona mata'ituina. E tuto'atasi vaega eseese o le fa'amālūlū le tasi mai le isi, lea e faigofie ai mo le vave su'esu'eina o fa'aletonu. O vaega uma e iai ki tuto'atasi o le valve, lea e saogalemu ma lelei.
4. O vaega o le pulea eletise e faʻaaogaina le lau LCD tele e fesoʻotaʻi ma le tagata ma le masini ma galulue faʻatasi ma le PLC e pulea otometi atoa e faʻafaigofie ai le faʻasaʻoina ma le faʻaulufaleina mai o le fua faʻatatau o le faagasologa. O le piʻo faʻataʻitaʻi e faʻaalia ai suiga ma tau o vaega eseese, ma o masini ma vaega o le faagasologa e otometi lava ona faʻamaumauina ma teuina e faʻafaigofie ai le suʻeina o faʻafitauli ma le auʻiliʻiliga faʻamaumauga.
5. O le fata o le mea faigaluega ua fa'apipi'iina i se afi servo e pulea ai le si'itia ma le tu'uina i lalo o le laulau o le substrate. E mafai ona filifilia le laulau o le graphite po'o le apamemea mumu. E fuaina le vevela e ala i se thermocouple.
6. E mafai ona mamanuina vaega o le fata atoa pe eseese e tusa ai ma manaʻoga o tagata faʻatau ina ia fetaui ma manaʻoga faapitoa o tagata faʻatau.
7. E matagofie ma matagofie vaega o le fa'amaufa'ailoga. O vaega fa'amaufa'ailoga i vaega eseese o le masini e mafai ona vave tatala pe tapuni tuto'atasi, e matua faigofie lava ona fa'aoga.
E fetaui lelei masini CVD uaea vevela mo le teuina o mea taimane, e aofia ai le ufiufi o ata manifinifi, ata mafiafia e lagolagoina e ia lava, taimane microcrystalline ma nanocrystalline, taimane fa'aola, ma isi mea faapena. E masani ona fa'aaogaina mo le ufiufi puipuia e tete'e atu i le ofuina o meafaigaluega tipi carbide sima, mea semiconductor e pei o le silicon ma le silicon carbide, ufiufi fa'asa'olotoina o le vevela o masini, electrode taimane fa'aola doped boron, fa'amamāina o le vai electrolytic po'o le togafitia o otaota i le ozone.
| Fa'ata'ita'iga filifiliga | tele o le potu i totonu |
| HFCVD0606 | φ600*H600(mm) |