Hoʻohana ka lumi uhi hakahaka o nā lako hana hoʻoheheʻe mahu kemika i kahi ʻano hoʻoluʻu wai pālua kūʻokoʻa, he kūpono a like hoʻi i ka hoʻoluʻu ʻana, a he ʻano palekana a paʻa hoʻi. Hoʻolālā ʻia nā lako me nā puka pālua, nā puka makani nānā he nui a me nā ʻaoʻao hoʻonui he nui, he kūpono ia no ka hoʻopili ʻana i waho o nā peripherals kōkua e like me ke ana wela infrared, ka nānā ʻana i ka spectral, ka nānā ʻana i nā wikiō a me ka thermocouple. ʻO ka manaʻo hoʻolālā holomua e maʻalahi a maʻalahi hoʻi ka hoʻoponopono hou ʻana a me ka mālama ʻana i kēlā me kēia lā, ka hoʻololi hoʻonohonoho a me ka hoʻonui ʻana i nā lako, a hoʻemi pono i nā kumukūʻai hoʻohana a me ka hoʻonui ʻana.
Nā hiʻohiʻona lako:
1. ʻO nā ʻāpana hoʻopiha o nā lako hana e komo pū me ka mika kahe nuipa, ka valve solenoid a me ka pahu hoʻohuihui kinoea, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka kaohi pololei o ke kahe kinoea hana, ka hoʻohuihui like ʻana a me ka hoʻokaʻawale palekana o nā kinoea like ʻole, a hiki ke koho i nā ʻāpana ʻōnaehana kinoea no ka hoʻohana ʻana i ke kumu kinoea wai, e hoʻomaʻamaʻa i ke koho pilikino o kahi ākea o nā kumu kalapona wai, a me ka hoʻohana palekana ʻana i ka daimana alakaʻi synthetic a me nā kumu boron wai electrode.
2. Ua lako ka ʻaha hoʻokaʻawale ea me kahi pamu vacuum vane rotary mālie a me ka ʻōnaehana pamu turbo molecular e hiki ke hoʻokō koke i ke kaiapuni hope vacuum kiʻekiʻe. Hoʻohana ʻia ke ana vacuum composite me ke ana kū'ē a me ke ana ionization no ke ana vacuum, a me ka ʻōnaehana ana kiʻiʻoniʻoni capacitive e hiki ke ana i ke kaomi o nā kinoea hana like ʻole ma kahi ākea. Hoʻokele piha ʻia ke kaomi deposition e ka valve mana proportional kiʻekiʻe.
3. Ua lako ka ʻāpana wai hoʻoluʻu me ke kaomi wai multi-channel, ke kahe ʻana, ke ana ʻana o ka mahana a me ka nānā pono ʻana o ka polokalamu. Kūʻokoʻa nā ʻāpana hoʻoluʻu like ʻole kekahi i kekahi, kahi mea kūpono no ka ʻike wikiwiki ʻana i ka hewa. Loaʻa i nā lālā āpau nā hoʻololi valve kūʻokoʻa, kahi palekana a me ka pono.
4. Hoʻohana nā ʻāpana mana uila i ka pale LCD interface man-mīkini nui a hana pū me ka mana piha PLC e hoʻomaʻamaʻa i ka hoʻoponopono a me ka lawe ʻana mai o ke ʻano hana. Hōʻike maka ka piʻo kiʻi i nā loli a me nā waiwai o nā ʻano like ʻole, a hoʻopaʻa inoa ʻia a mālama ʻia nā lako a me nā ʻano hana e hoʻomaʻamaʻa i ka huli ʻana i ka pilikia a me ka nānā ʻana i ka ʻikepili helu.
5. Ua lako ka ʻūpā hana me kahi motika servo e kāohi i ka hāpai ʻana a me ka hoʻohaʻahaʻa ʻana o ka papa substrate. Hiki ke koho ʻia ka papa substrate graphite a i ʻole ke keleawe ʻulaʻula. Ana ʻia ka mahana e kahi thermocouple.
6. Hiki ke hoʻolālā ʻia nā ʻāpana rack ma ke ʻano holoʻokoʻa a ʻokoʻa paha e like me nā koi o ka mea kūʻai aku e hoʻokō i nā koi lawelawe kūikawā o nā mea kūʻai aku.
7. He nani a he nani hoʻi nā ʻāpana papa sila. Hiki ke wehe koke ʻia a wehe ʻia a pani ʻia paha nā papa sila ma nā wahi modula hana like ʻole o nā lako, he mea maʻalahi loa ia e hoʻohana.
He kūpono nā lako CVD filament wela no ka waiho ʻana i nā mea daimana, me ka uhi ʻili lahilahi, ka ʻili mānoanoa kākoʻo ponoʻī, ka daimana microcrystalline a me ka nanocrystalline, ka daimana conductive, a pēlā aku. Hoʻohana nui ʻia ia no ka uhi pale pale o nā mea ʻokiʻoki carbide cemented, nā mea semiconductor e like me ka silicon a me ka silicon carbide, ka uhi hoʻoheheʻe wela o nā mea hana, ka electrode conductive diamond doped boron, ka disinfection ozone o ka wai electrolytic a i ʻole ka mālama ʻana i ka wai ʻino.
| Nā kumu hoʻohālike koho | ka nui o ke keʻena o loko |
| HFCVD0606 | φ600*H600(mm) |