HFCVD0606

De vacuümcoatingkamer van de apparatuur voor chemische dampafzetting heeft een onafhankelijke dubbellaagse waterkoelingsstructuur, die efficiënt en uniform is in koeling, en een veilige en stabiele structuur heeft.De apparatuur is ontworpen met dubbele deuren, meerdere observatievensters en meerdere uitbreidingsinterfaces, wat handig is voor externe aansluiting van hulprandapparatuur zoals infrarood temperatuurmeting, spectrale analyse, videobewaking en thermokoppel.Het geavanceerde ontwerpconcept maakt de dagelijkse revisie en onderhoud, configuratiewijziging en upgrade van de apparatuur eenvoudig en eenvoudig, en vermindert effectief de gebruiks- en upgradekosten.

Uitrustingskenmerken:

1.De opblaascomponenten van de apparatuur omvatten voornamelijk massastroommeter, magneetventiel en gasmengtank, die zorgen voor een nauwkeurige regeling van de procesgasstroom, uniforme menging en veilige isolatie van verschillende gassen, en kunnen gassysteemcomponenten selecteren voor gebruik van vloeibare gasbron, vergemakkelijken de gepersonaliseerde selectie van een breed scala aan vloeibare koolstofbronnen en het veilige gebruik van synthetische geleidende diamant- en elektrode-vloeibare boorbronnen.
2.Het luchtafzuigsysteem is uitgerust met een stille en efficiënte draaischuifvacuümpomp en een turbo-moleculair pompsysteem dat snel kan voldoen aan de hoogvacuüm-achtergrondomgeving.De samengestelde vacuümmeter met weerstandsmeter en ionisatiemeter wordt gebruikt voor vacuümmeting, evenals het capacitieve filmmeetsysteem dat de druk van verschillende procesgassen in een breed bereik kan meten.De depositiedruk wordt volledig automatisch geregeld door een zeer nauwkeurige proportionele regelklep.
3. De koelwatercomponent is uitgerust met meerkanaals waterdruk, stroming, temperatuurmeting en automatische softwarebewaking.Verschillende koelcomponenten zijn onafhankelijk van elkaar, wat handig is voor een snelle foutdiagnose.Alle vestigingen hebben onafhankelijke klepschakelaars, wat veilig en efficiënt is.
4.De elektrische besturingscomponenten nemen een groot LCD-scherm met mens-machine-interface aan en werken samen met de volautomatische PLC-besturing om het bewerken en importeren van de procesformule te vergemakkelijken.De grafische curve geeft visueel de veranderingen en waarden van verschillende parameters weer, en de apparatuur- en procesparameters worden automatisch geregistreerd en gearchiveerd om probleemopsporing en statistische gegevensanalyse te vergemakkelijken.
5.Het werkstukrek is uitgerust met een servomotor om het heffen en neerlaten van de substraattafel te regelen.Er kan worden gekozen voor de grafiet- of roodkoperen substraattafel.De temperatuur wordt gemeten door een thermokoppel.
6.De rekcomponenten kunnen als geheel of afzonderlijk worden ontworpen volgens de eisen van de klant om te voldoen aan de speciale behandelingsvereisten van klanten.
7.De onderdelen van de afdichtplaat zijn mooi en elegant.De afdichtplaten in verschillende functionele modulegebieden van de apparatuur kunnen snel onafhankelijk worden gedemonteerd of geopend en gesloten, wat erg handig is in gebruik.

CVD-apparatuur met hete gloeidraad is geschikt voor het afzetten van diamantmaterialen, waaronder dunne filmcoating, zelfdragende dikke film, microkristallijne en nanokristallijne diamant, geleidende diamant, enz. Het wordt voornamelijk gebruikt voor slijtvaste beschermende coating van hardmetalen snijgereedschappen, halfgeleidermaterialen zoals silicium en siliciumcarbide, warmteafvoercoating van apparaten, met boor gedoteerde geleidende diamantelektrode, ozondesinfectie van elektrolytisch water of rioolwaterzuivering.