HFCVD0606

De vacuümkamer van de chemische dampafzettingsinstallatie is voorzien van een onafhankelijke dubbellaagse waterkoeling, die zorgt voor een efficiënte en gelijkmatige koeling en een veilige en stabiele constructie. De installatie is ontworpen met dubbele deuren, meerdere kijkvensters en diverse uitbreidingsmogelijkheden, waardoor externe aansluitingen voor randapparatuur zoals infraroodtemperatuurmeting, spectrale analyse, videobewaking en thermokoppels eenvoudig zijn. Dankzij dit geavanceerde ontwerp is dagelijks onderhoud, configuratiewijziging en upgrade van de apparatuur eenvoudig en gemakkelijk uit te voeren, waardoor de gebruiks- en upgradekosten aanzienlijk worden verlaagd.

Kenmerken van de apparatuur:

1. De opblaascomponenten van de apparatuur omvatten hoofdzakelijk een massastroommeter, een magneetventiel en een gasmengtank. Deze zorgen voor een nauwkeurige regeling van de procesgasstroom, een uniforme menging en een veilige scheiding van verschillende gassen. Daarnaast kunnen gassysteemcomponenten worden gekozen voor gebruik met een vloeibare gasbron, waardoor een breed scala aan vloeibare koolstofbronnen op maat kan worden geselecteerd en veilig gebruik van synthetische geleidende diamant en elektrode-vloeibare boorbronnen mogelijk is.
2. De luchtafzuiginstallatie is uitgerust met een stille en efficiënte roterende vacuümpomp en een turbomoleculaire pomp, waarmee snel een hoog vacuüm kan worden bereikt. Voor vacuümmetingen wordt een gecombineerde vacuümmeter met weerstands- en ionisatiemeter gebruikt, evenals een capacitieve filmmeter waarmee de druk van verschillende procesgassen over een breed bereik kan worden gemeten. De afzettingsdruk wordt volledig automatisch geregeld door een zeer nauwkeurige proportionele regelklep.
3. Het koelwatersysteem is uitgerust met meerkanaals waterdruk-, debiet- en temperatuurmeting en automatische softwarebewaking. De verschillende koelcomponenten zijn onafhankelijk van elkaar, wat een snelle foutdiagnose mogelijk maakt. Alle aftakkingen hebben onafhankelijke klepschakelaars, wat zorgt voor veiligheid en efficiëntie.
4. De elektrische besturingscomponenten maken gebruik van een groot LCD-scherm met mens-machine-interface en werken samen met een volledig automatische PLC-besturing om het bewerken en importeren van procesformules te vergemakkelijken. De grafische weergave toont visueel de veranderingen en waarden van verschillende parameters, en de apparatuur- en procesparameters worden automatisch geregistreerd en gearchiveerd om probleemopsporing en statistische data-analyse te vereenvoudigen.
5. Het werkstukrek is uitgerust met een servomotor voor het heffen en laten zakken van de substraattafel. Er kan gekozen worden voor een substraattafel van grafiet of roodkoper. De temperatuur wordt gemeten met een thermokoppel.
6. De onderdelen van het rek kunnen als één geheel of afzonderlijk worden ontworpen, afhankelijk van de wensen van de klant, om te voldoen aan de specifieke eisen van de klant met betrekking tot de handling.
7. De afdichtingsplaatcomponenten zijn fraai en elegant. De afdichtingsplaten in de verschillende functionele modulegebieden van de apparatuur kunnen snel worden gedemonteerd of onafhankelijk van elkaar worden geopend en gesloten, wat het gebruiksgemak vergroot.

Hete-filament CVD-apparatuur is geschikt voor het afzetten van diamantmaterialen, waaronder dunnefilmcoatings, zelfdragende dikke films, microkristallijn en nanokristallijn diamant, geleidend diamant, enz. Het wordt hoofdzakelijk gebruikt voor slijtvaste beschermende coatings van hardmetalen snijgereedschappen, halfgeleidermaterialen zoals silicium en siliciumcarbide, warmteafvoerende coatings van apparaten, boorgeoxideerde geleidende diamantelektroden, ozonontsmetting van elektrolytisch water of afvalwaterzuivering.