เอชเอฟซีวีดี0606

ห้องเคลือบสุญญากาศของอุปกรณ์การเคลือบด้วยไอสารเคมี (Chemical Vapor Deposition: CVD) ใช้โครงสร้างระบายความร้อนด้วยน้ำแบบสองชั้นอิสระ ซึ่งมีประสิทธิภาพและกระจายความร้อนได้สม่ำเสมอ และมีโครงสร้างที่ปลอดภัยและมั่นคง อุปกรณ์ได้รับการออกแบบให้มีประตูสองบาน หน้าต่างสังเกตการณ์หลายบาน และอินเทอร์เฟซสำหรับการขยายหลายจุด ซึ่งสะดวกต่อการเชื่อมต่ออุปกรณ์เสริมภายนอก เช่น การวัดอุณหภูมิอินฟราเรด การวิเคราะห์สเปกตรัม การตรวจสอบวิดีโอ และเทอร์โมคัปเปิล แนวคิดการออกแบบที่ล้ำสมัยทำให้การซ่อมบำรุง การเปลี่ยนแปลงการกำหนดค่า และการอัปเกรดอุปกรณ์ในแต่ละวันทำได้ง่ายและสะดวก และช่วยลดต้นทุนการใช้งานและการอัปเกรดได้อย่างมีประสิทธิภาพ

คุณสมบัติของอุปกรณ์:

1. ส่วนประกอบหลักของอุปกรณ์ที่ใช้ในการเติมลม ได้แก่ เครื่องวัดอัตราการไหลมวล วาล์วโซลินอยด์ และถังผสมก๊าซ ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมการไหลของก๊าซในกระบวนการได้อย่างแม่นยำ การผสมที่สม่ำเสมอ และการแยกก๊าซชนิดต่างๆ อย่างปลอดภัย และสามารถเลือกส่วนประกอบของระบบก๊าซเพื่อใช้แหล่งก๊าซเหลว ช่วยให้สามารถเลือกแหล่งคาร์บอนเหลวได้หลากหลายชนิดตามความต้องการ และสามารถใช้แหล่งเพชรนำไฟฟ้าสังเคราะห์และแหล่งโบรอนเหลวสำหรับอิเล็กโทรดได้อย่างปลอดภัย
2. ชุดดูดอากาศประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศแบบโรตารี่ใบพัดที่เงียบและมีประสิทธิภาพ และระบบปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์ที่สามารถสร้างสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงได้อย่างรวดเร็ว ใช้เกจวัดสุญญากาศแบบผสมที่มีทั้งเกจวัดความต้านทานและเกจวัดการแตกตัวเป็นไอออนสำหรับการวัดสุญญากาศ รวมถึงระบบเกจวัดแบบฟิล์มคาปาซิทีฟที่สามารถวัดความดันของก๊าซกระบวนการต่างๆ ได้ในช่วงกว้าง ความดันการตกตะกอนถูกควบคุมโดยอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์ด้วยวาล์วควบคุมสัดส่วนความแม่นยำสูง
3. ส่วนประกอบระบบน้ำหล่อเย็นติดตั้งระบบวัดแรงดันน้ำ อัตราการไหล และอุณหภูมิแบบหลายช่องทาง พร้อมซอฟต์แวร์ตรวจสอบอัตโนมัติ ส่วนประกอบระบบหล่อเย็นแต่ละส่วนทำงานแยกจากกัน ทำให้สะดวกต่อการวินิจฉัยข้อผิดพลาดอย่างรวดเร็ว ทุกสาขามีสวิตช์วาล์วแยกอิสระ ซึ่งปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ
4. ส่วนประกอบควบคุมไฟฟ้าใช้หน้าจอ LCD ขนาดใหญ่ที่เชื่อมต่อกับเครื่องจักร และทำงานร่วมกับระบบควบคุมอัตโนมัติ PLC เพื่ออำนวยความสะดวกในการแก้ไขและนำเข้าสูตรกระบวนการ เส้นโค้งกราฟแสดงการเปลี่ยนแปลงและค่าของพารามิเตอร์ต่างๆ อย่างชัดเจน และพารามิเตอร์ของอุปกรณ์และกระบวนการจะถูกบันทึกและจัดเก็บโดยอัตโนมัติ เพื่ออำนวยความสะดวกในการติดตามปัญหาและการวิเคราะห์ทางสถิติของข้อมูล
5. แท่นวางชิ้นงานติดตั้งมอเตอร์เซอร์โวเพื่อควบคุมการยกและลดระดับของโต๊ะวางชิ้นงาน สามารถเลือกใช้โต๊ะวางชิ้นงานที่ทำจากกราไฟต์หรือทองแดงแดงได้ อุณหภูมิจะวัดโดยใช้เทอร์โมคัปเปิล
6. ส่วนประกอบของชั้นวางสามารถออกแบบได้ทั้งแบบรวมทั้งหมดหรือแยกชิ้นตามความต้องการของลูกค้า เพื่อตอบสนองความต้องการด้านการจัดการพิเศษของลูกค้า
7. ชิ้นส่วนแผ่นปิดผนึกมีความสวยงามและดูดี แผ่นปิดผนึกในส่วนต่างๆ ของอุปกรณ์สามารถถอดประกอบหรือเปิดปิดได้อย่างอิสระ ซึ่งสะดวกต่อการใช้งานมาก

อุปกรณ์ CVD แบบไส้ร้อนเหมาะสำหรับการเคลือบวัสดุเพชร รวมถึงการเคลือบฟิล์มบาง การเคลือบฟิล์มหนาแบบรองรับตัวเอง เพชรไมโครคริสตัลไลน์และนาโนคริสตัลไลน์ เพชรนำไฟฟ้า เป็นต้น โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับการเคลือบป้องกันการสึกหรอของเครื่องมือตัดคาร์ไบด์ซีเมนต์ วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ซิลิคอนและซิลิคอนคาร์ไบด์ การเคลือบระบายความร้อนของอุปกรณ์ ขั้วไฟฟ้าเพชรนำไฟฟ้าที่เจือด้วยโบรอน การฆ่าเชื้อด้วยโอโซนในน้ำอิเล็กโทรไลต์หรือการบำบัดน้ำเสีย