HFCVD0606

Kimyəvi buxar çökdürmə avadanlığının vakuum örtük kamerası, soyutma baxımından səmərəli və vahid olan, təhlükəsiz və sabit bir quruluşa malik müstəqil ikiqat təbəqəli su soyutma quruluşundan istifadə edir. Avadanlıq ikiqat qapılar, çoxsaylı müşahidə pəncərələri və çoxsaylı genişləndirmə interfeysləri ilə hazırlanmışdır ki, bu da infraqırmızı temperatur ölçmə, spektral analiz, video monitorinq və termocüt kimi köməkçi periferik cihazların xarici bağlantısı üçün əlverişlidir. Qabaqcıl dizayn konsepsiyası avadanlığın gündəlik əsaslı təmirini və texniki xidmətini, konfiqurasiya dəyişikliyini və təkmilləşdirilməsini asan və sadə edir və istifadə və təkmilləşdirmə xərclərini effektiv şəkildə azaldır.

Avadanlıq xüsusiyyətləri:

1. Avadanlığın şişirdilməsi komponentlərinə əsasən kütləvi axın ölçən cihaz, solenoid klapan və qaz qarışdırma çəni daxildir ki, bu da proses qaz axınının dəqiq idarə olunmasını, vahid qarışdırılmasını və müxtəlif qazların təhlükəsiz izolyasiyasını təmin edir və maye qaz mənbəyinin istifadəsi üçün qaz sistemi komponentlərini seçə bilir, geniş çeşiddə maye karbon mənbələrinin fərdi seçimini asanlaşdırır və sintetik keçirici almaz və elektrod maye bor mənbələrinin təhlükəsiz istifadəsini təmin edir.
2. Hava çıxarma qurğusu səssiz və səmərəli fırlanan qanadlı vakuum nasosu və yüksək vakuum fon mühitinə tez cavab verə bilən turbo molekulyar nasos sistemi ilə təchiz olunmuşdur. Müqavimət və ionlaşma cihazı olan kompozit vakuum cihazı vakuum ölçmə cihazı, eləcə də geniş diapazonda müxtəlif emal qazlarının təzyiqini ölçə bilən tutumlu film cihazı sistemi üçün istifadə olunur. Çökmə təzyiqi yüksək dəqiqlikli mütənasib idarəetmə klapanı ilə tam avtomatik idarə olunur.
3. Soyuducu su komponenti çoxkanallı su təzyiqi, axını, temperatur ölçmə və proqram təminatı ilə avtomatik monitorinq ilə təchiz olunmuşdur. Müxtəlif soyutma komponentləri bir-birindən müstəqildir ki, bu da nasazlığın sürətli diaqnozu üçün əlverişlidir. Bütün qollarda müstəqil klapan açarları var ki, bu da təhlükəsiz və səmərəlidir.
4. Elektrik idarəetmə komponentləri böyük ölçülü insan-maşın interfeysi LCD ekranını qəbul edir və proses formulunun redaktəsini və idxalını asanlaşdırmaq üçün PLC tam avtomatik idarəetmə ilə əməkdaşlıq edir. Qrafik əyri müxtəlif parametrlərin dəyişikliklərini və dəyərlərini vizual olaraq göstərir və avadanlıq və proses parametrləri problemin izlənməsini və məlumatların statistik təhlilini asanlaşdırmaq üçün avtomatik olaraq qeyd olunur və arxivləşdirilir.
5. İş parçası rəfi substrat masasının qaldırılmasını və endirilməsini idarə etmək üçün servo mühərriklə təchiz olunmuşdur. Qrafit və ya qırmızı mis substrat masa seçilə bilər. Temperatur termocütlə ölçülür.
6. Rəf komponentləri müştərilərin xüsusi işləmə tələblərini ödəmək üçün müştəri tələblərinə uyğun olaraq bütöv və ya ayrıca dizayn edilə bilər.
7. Möhürləyici lövhə komponentləri gözəl və zərifdir. Avadanlığın müxtəlif funksional modul sahələrindəki möhürləyici lövhələr tez bir zamanda sökülə və ya müstəqil olaraq açılıb bağlana bilər ki, bu da istifadəsi çox rahatdır.

İsti filamentli CVD avadanlığı nazik təbəqə örtüyü, özünü dəstəkləyən qalın təbəqə, mikrokristal və nanokristal almaz, keçirici almaz və s. daxil olmaqla almaz materiallarının çökdürülməsi üçün uyğundur. Əsasən sementləşdirilmiş karbid kəsici alətlərin, silikon və silikon karbid kimi yarımkeçirici materialların aşınmaya davamlı qoruyucu örtüyü, cihazların istilik yayılması örtüyü, borla zənginləşdirilmiş keçirici almaz elektrodu, elektrolitik suyun ozon dezinfeksiyası və ya kanalizasiya təmizlənməsi üçün istifadə olunur.