HFCVD0606

Вакуумная камера для нанясення пакрыцця абсталявання для хімічнага нанясення з паравай фазы мае незалежную двухслаёвую структуру вадзянога астуджэння, якая з'яўляецца эфектыўным і раўнамерным астуджэннем і мае бяспечную і стабільную структуру.Абсталяванне распрацавана з падвойнымі дзвярыма, некалькімі назіральнымі вокнамі і некалькімі інтэрфейсамі пашырэння, што зручна для вонкавага падключэння дапаможных перыферыйных прылад, такіх як інфрачырвонае вымярэнне тэмпературы, спектральны аналіз, відэаманіторынг і тэрмапара.Удасканаленая канцэпцыя дызайну робіць штодзённы капітальны рамонт і тэхнічнае абслугоўванне, змяненне канфігурацыі і мадэрнізацыю абсталявання лёгкімі і простымі, а таксама эфектыўна зніжае выдаткі на выкарыстанне і мадэрнізацыю.

Асаблівасці абсталявання:

1. Інфляцыйныя кампаненты абсталявання ў асноўным уключаюць вымяральнік масавага расходу, электрамагнітны клапан і бак для змешвання газу, якія забяспечваюць дакладны кантроль патоку тэхналагічнага газу, раўнамернае змешванне і бяспечную ізаляцыю розных газаў, а таксама могуць выбіраць кампаненты газавай сістэмы для выкарыстання крыніца вадкага газу, палягчае персаналізаваны выбар шырокага спектру крыніц вадкага вугляроду і бяспечнае выкарыстанне сінтэтычных правадзячых алмазаў і электродных вадкіх крыніц бору.
2.Вузел адводу паветра абсталяваны бясшумным і эфектыўным ротарна-лопастным вакуумным помпай і сістэмай турбамалекулярнай помпы, якая можа хутка задаволіць фонавае асяроддзе высокага вакууму.Кампазітны вакуумметр з датчыкам супраціву і іянізацыі выкарыстоўваецца для вымярэння вакууму, а таксама сістэма ёмістных плёнкавых датчыкаў, якая можа вымяраць ціск розных тэхналагічных газаў у шырокім дыяпазоне.Ціск нанясення цалкам аўтаматычна кантралюецца з дапамогай высокадакладнага прапарцыйнага рэгулюючага клапана.
3. Кампанент астуджальнай вады абсталяваны шматканальным вымярэннем ціску вады, патоку, тэмпературы і праграмным аўтаматычным маніторынгам.Розныя кампаненты астуджэння не залежаць адзін ад аднаго, што зручна для хуткай дыягностыкі няспраўнасцяў.Усе філіялы маюць незалежныя выключальнікі клапанаў, што з'яўляецца бяспечным і эфектыўным.
4.Электрычныя кампаненты кіравання выкарыстоўваюць вялікі ВК-экран чалавека-машыннага інтэрфейсу і супрацоўнічаюць з цалкам аўтаматычным кіраваннем ПЛК для палягчэння рэдагавання і імпарту формулы працэсу.Графічная крывая візуальна адлюстроўвае змены і значэнні розных параметраў, а параметры абсталявання і працэсу аўтаматычна запісваюцца і архівуюцца для палягчэння адсочвання праблем і статыстычнага аналізу даных.
5.Стэлаж для нарыхтовак абсталяваны серводвигателем для кіравання ўздымам і апусканнем стала падкладкі.Можна выбраць стол з падкладкай з графіту або чырвонай медзі.Тэмпература вымяраецца тэрмапарай.
6. Кампаненты стойкі могуць быць распрацаваны ў цэлым або асобна ў адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка, каб задаволіць спецыяльныя патрабаванні кліентаў да апрацоўкі.
7. Кампаненты ўшчыльняльнай пласціны прыгожыя і элегантныя.Ушчыльняльныя пласціны ў розных функцыянальных модульных зонах абсталявання можна хутка разабраць або адкрыць і зачыніць незалежна адзін ад аднаго, што вельмі зручна ў выкарыстанні.

Абсталяванне CVD з гарачай ніткай падыходзіць для нанясення алмазных матэрыялаў, уключаючы тонкаплёнкавае пакрыццё, саманясучую тоўстую плёнку, мікракрышталічны і нанакрышталічны алмаз, токаправодны алмаз і г. д. У асноўным яно выкарыстоўваецца для зносаўстойлівага ахоўнага пакрыцця рэжучых інструментаў з цэментаванага карбіду, паўправадніковых матэрыялаў. такія як крэмній і карбід крэмнію, цеплавыдзяляльнае пакрыццё прылад, легаваны борам правадзячы алмазны электрод, дэзінфекцыя азонам электралітычнай вады ці ачысткі сцёкавых вод.