HFCVD0606

Вакуумная камера пакрыцця абсталявання для хімічнага асаджэння з паравой фазы мае незалежную двухслаёвую структуру вадзянога астуджэння, якая забяспечвае эфектыўнае і раўнамернае астуджэнне, а таксама мае бяспечную і стабільную канструкцыю. Абсталяванне мае падвойныя дзверы, некалькі назіральных вокнаў і некалькі інтэрфейсаў пашырэння, што зручна для падключэння знешніх перыферыйных прылад, такіх як інфрачырвонае вымярэнне тэмпературы, спектральны аналіз, відэаманіторынг і тэрмапара. Перадавая канцэпцыя дызайну робіць штодзённы рамонт і тэхнічнае абслугоўванне, змену канфігурацыі і мадэрнізацыю абсталявання лёгкім і простым, а таксама эфектыўна зніжае выдаткі на выкарыстанне і мадэрнізацыю.

Асаблівасці абсталявання:

1. Кампаненты абсталявання для напаўнення ўключаюць у сябе ў асноўным масавы расходомер, электрамагнітны клапан і бак для змешвання газу, якія забяспечваюць дакладнае кіраванне патокам тэхналагічнага газу, раўнамернае змешванне і бяспечную ізаляцыю розных газаў, а таксама дазваляюць выбіраць кампаненты газавай сістэмы для выкарыстання крыніцы вадкага газу, палягчаюць персаналізаваны выбар шырокага спектру крыніц вадкага вугляроду і бяспечнае выкарыстанне сінтэтычных праводзячых алмазаў і крыніц вадкага бору для электродаў.
2. Паветраадсмоктвальны вузел абсталяваны бясшумным і эфектыўным ратацыйным вакуумным помпам і турбамалекулярнай помпай, якія дазваляюць хутка задаволіць патрэбы ў высокім вакууме. Для вымярэння вакууму выкарыстоўваецца кампазітны вакуумметр з манометрам супраціву і іанізацыйным манометрам, а таксама ёмістная плёнкавая сістэма, якая можа вымяраць ціск розных працэсных газаў у шырокім дыяпазоне. Ціск нанясення цалкам аўтаматычны і рэгулюецца высокадакладным прапарцыянальным рэгулюючым клапанам.
3. Кампанент астуджальнай вады абсталяваны шматканальным вымярэннем ціску вады, расходу, тэмпературы і праграмным забеспячэннем для аўтаматычнага маніторынгу. Розныя кампаненты астуджальнай вады незалежныя адзін ад аднаго, што зручна для хуткай дыягностыкі няспраўнасцей. Усе галіны маюць незалежныя перамыкачы клапанаў, што з'яўляецца бяспечным і эфектыўным.
4. Электрычныя кампаненты кіравання маюць вялікі ВК-экран з інтэрфейсам «чалавек-машына» і ўзаемадзейнічаюць з цалкам аўтаматычным ПЛК, што спрашчае рэдагаванне і імпарт формул працэсу. Графічная крывая візуальна адлюстроўвае змены і значэнні розных параметраў, а параметры абсталявання і працэсу аўтаматычна запісваюцца і архівуюцца, што спрашчае адсочванне праблем і статыстычны аналіз дадзеных.
5. Стойка для апрацоўваемых дэталяў абсталявана серварухавіком для кіравання пад'ёмам і апусканнем стала для падкладкі. Можна выбраць стол для падкладкі з графіту або чырвонай медзі. Тэмпература вымяраецца тэрмапарай.
6. Кампаненты стэлажоў могуць быць распрацаваны як адзінае цэлае або асобна ў адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка, каб задаволіць спецыяльныя патрабаванні кліентаў да апрацоўкі.
7. Кампаненты ўшчыльняльнай пласціны прыгожыя і элегантныя. Ушчыльняльныя пласціны ў розных функцыянальных модулях абсталявання можна хутка разабраць або адкрываць і зачыняць незалежна адзін ад аднаго, што вельмі зручна ў выкарыстанні.

Абсталяванне CVD з гарачай ніткай падыходзіць для нанясення алмазных матэрыялаў, у тым ліку тонкаплёнкавых пакрыццяў, саманясучых тоўстых плёнак, мікракрышталічных і нанакрышталічных алмазаў, праводзячых алмазаў і г.д. Яно ў асноўным выкарыстоўваецца для зносаўстойлівага ахоўнага пакрыцця цвёрдасплаўных рэжучых інструментаў, паўправадніковых матэрыялаў, такіх як крэмній і карбід крэмнію, пакрыццяў для рассейвання цяпла прылад, легаваных борам праводзячых алмазных электродаў, азонавай дэзінфекцыі электралітычнай вады або ачысткі сцёкавых вод.