د تولید ځانګړتیاوې
د کیمیاوي بخار ذخیره کولو تجهیزاتو د ویکیوم کوټینګ چیمبر یو خپلواک دوه اړخیزه د اوبو یخولو جوړښت غوره کوي ، کوم چې په یخولو کې موثر او یونیفورم دی ، او خوندي او مستحکم جوړښت لري.تجهیزات د دوه ګونی دروازو، څو مشاهدو کړکیو او د ډیری پراخولو انٹرفیسونو سره ډیزاین شوي، کوم چې د مرستندویه پردیو د بهرنۍ پیوستون لپاره مناسب دی لکه د انفراریډ د تودوخې اندازه کول، سپیکٹرل تحلیل، ویډیو څارنه او ترموکوپل.د پرمختللي ډیزاین مفهوم د تجهیزاتو ورځني ترمیم او ساتنه، د ترتیب کولو بدلون او د تجهیزاتو نوي کول اسانه او ساده کوي، او په مؤثره توګه د کارولو او لوړولو لګښتونه کموي.
د تجهیزاتو ځانګړتیاوې:
1. د تجهیزاتو انفلاسیون برخو کې په عمده ډول د ماس فلو میټر ، سولینایډ والو او د ګاز مخلوط ټانک شامل دي ، کوم چې د پروسې د ګاز جریان دقیق کنټرول یقیني کوي ، یونیفورم مخلوط او د مختلف ګازونو خوندي جلا کول ، او کولی شي د کارولو لپاره د ګاز سیسټم اجزا غوره کړي. د مایع ګاز سرچینه ، د مایع کاربن سرچینو پراخه لړۍ شخصي انتخاب اسانه کوي ، او د مصنوعي کنډکټیو الماس او الیکټروډ مایع بورون سرچینو خوندي کارول.
2. د هوا استخراج مجلس د خاموش او موثر روټري وین ویکیوم پمپ او د ټربو مالیکولر پمپ سیسټم سره مجهز دی چې کولی شي په چټکۍ سره د لوړ خلا شالید چاپیریال پوره کړي.د مقاومت ګیج او ionization ګیج سره جامع ویکیوم ګیج د خلا اندازه کولو لپاره کارول کیږي ، په بیله بیا د ظرفیت فلم ګیج سیسټم چې کولی شي په پراخه کچه د مختلف پروسې ګازونو فشار اندازه کړي.د زیرمه کولو فشار په بشپړ ډول اتوماتیک د لوړ دقیق تناسب کنټرول والو لخوا کنټرول شوی.
3. د یخولو اوبو برخه د څو چینل اوبو فشار، جریان، د تودوخې اندازه کولو او سافټویر اتوماتیک نظارت سره سمبال شوی.د یخولو مختلف اجزا له یو بل څخه خپلواک دي ، کوم چې د ګړندي غلطۍ تشخیص لپاره اسانه دي.ټولې څانګې خپلواک والو سویچونه لري، کوم چې خوندي او اغیزمن دی.
4. د بریښنایی کنټرول اجزا د لوی اندازې انسان ماشین انٹرفیس LCD سکرین غوره کوي او د PLC بشپړ اتوماتیک کنټرول سره همکاري کوي ترڅو د پروسې فارمول ترمیم او واردولو اسانه کړي.ګرافیکي وکر په لید کې د مختلف پیرامیټونو بدلونونه او ارزښتونه ښیې ، او تجهیزات او د پروسې پیرامیټونه په اوتومات ډول ثبت شوي او آرشیف شوي ترڅو د ستونزې موندلو او ډیټا احصایوي تحلیل اسانه کړي.
5. د ورک پیس ریک د سرو موټور سره مجهز دی ترڅو د سبسټریټ میز پورته کول او ښکته کول کنټرول کړي.د ګرافیت یا سور مسو سبسټریټ جدول غوره کیدی شي.د حرارت درجه د ترموکوپل لخوا اندازه کیږي.
6. د ریک اجزا په بشپړ یا جلا ډول د پیرودونکو اړتیاو سره سم ډیزاین کیدی شي ترڅو د پیرودونکو ځانګړي اداره کولو اړتیاوې پوره کړي.
7. د سیل کولو پلیټ اجزا ښکلي او ښکلي دي.د تجهیزاتو مختلف فعال ماډل ساحو کې د سیل کولو پلیټونه په چټکۍ سره جلا کیدی شي یا خلاص او په خپلواک ډول تړل کیدی شي، کوم چې کارول خورا اسانه دي.
د ګرمو فلیمینټ CVD تجهیزات د الماس موادو زیرمه کولو لپاره مناسب دي ، پشمول د پتلی فلم پوښ کول ، د ځان ملاتړي موټی فلم ، مایکرو کریسټالین او نانوکریسټالین الماس ، کنډکیټ الماس او داسې نور. دا په عمده توګه د سیمنټ کاربایډ قطع کولو وسیلو ، سیمی کنډکټر موادو د پوښ مقاومتي محافظتي پوښ لپاره کارول کیږي. لکه سیلیکون او سیلیکون کاربایډ، د وسایطو د تودوخې ضایع کول، د بوران ډوپډ کنډکټیو ډیمنډ الکترود، د الکترولیټیک اوبو اوزون غیر منتن کول یا د فاضله موادو درملنه.
| اختیاري ماډلونه | د داخلي خونې اندازه |
| HFCVD0606 | φ600*H600(mm) |
د صنعت غوښتنلیک
اړونده وسایل
په لید کلیک وکړئ
د اکسیډریشن مقاومت لرونکي CVD کوټینګ تجهیزات
تجهیزات په عمده توګه د اکسایډ فلم چمتو کولو لپاره د کیمیاوي بخار ذخیرې غوره کوي ، کوم چې د ګړندي زیرمو نرخ او د لوړ فلم کیفیت ځانګړتیاوې لري.د تجهیزاتو لپاره ...