HFCVD0606

Химийн ууршуулах төхөөрөмжийн вакуум бүрхүүлийн камер нь бие даасан давхар давхаргат ус хөргөлтийн бүтцийг ашигладаг бөгөөд хөргөлт нь үр ашигтай, жигд, аюулгүй, тогтвортой бүтэцтэй. Тоног төхөөрөмжийг давхар хаалга, олон ажиглалтын цонх, олон өргөтгөлийн интерфэйсээр бүтээсэн нь хэт улаан туяаны температурын хэмжилт, спектрийн шинжилгээ, видео хяналт, термопар зэрэг туслах захын төхөөрөмжүүдийг гадаад холболтод тохиромжтой. Дэвшилтэт дизайны концепц нь тоног төхөөрөмжийн өдөр тутмын засвар үйлчилгээ, тохиргооны өөрчлөлт, шинэчлэлтийг хялбар бөгөөд энгийн болгож, ашиглалт, шинэчлэлтийн зардлыг үр дүнтэй бууруулдаг.

Тоног төхөөрөмжийн онцлог шинж чанарууд:

1. Тоног төхөөрөмжийн хийлэлтийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд голчлон массын урсгал хэмжигч, соленоид хавхлага, хийн холих сав багтдаг бөгөөд эдгээр нь процессын хийн урсгалыг нарийн хянах, жигд холих, янз бүрийн хийг аюулгүй тусгаарлах боломжийг олгодог бөгөөд шингэн хийн эх үүсвэрийг ашиглах хийн системийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг сонгох, олон төрлийн шингэн нүүрстөрөгчийн эх үүсвэрийг хувийн сонголтоор сонгох, синтетик дамжуулагч алмаз болон электродын шингэн борын эх үүсвэрийг аюулгүй ашиглах боломжийг олгодог.
2. Агаар сорох угсралт нь чимээгүй, үр ашигтай эргэлдэгч сэнсний вакуум насос болон өндөр вакуум дэвсгэр орчинд хурдан дасан зохицох чадвартай турбо молекулын насосны системээр тоноглогдсон. Эсэргүүцэл хэмжигч болон ионжуулалтын хэмжигч бүхий нийлмэл вакуум хэмжигчийг вакуум хэмжилтэд ашигладаг бөгөөд янз бүрийн процессын хийн даралтыг өргөн хүрээнд хэмжих боломжтой багтаамжтай хальсан хэмжигч системийг ашигладаг. Тунадас даралтыг өндөр нарийвчлалтай пропорциональ хяналтын хавхлагаар бүрэн автомат удирддаг.
3. Хөргөлтийн усны бүрэлдэхүүн хэсэг нь олон сувгийн усны даралт, урсгал, температурын хэмжилт болон програм хангамжийн автомат хяналттай. Хөргөлтийн янз бүрийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь бие биенээсээ хамааралгүй бөгөөд энэ нь гэмтлийг хурдан оношлоход тохиромжтой. Бүх салбарууд нь бие даасан хавхлагын унтраалгатай бөгөөд энэ нь аюулгүй бөгөөд үр ашигтай.
4. Цахилгаан удирдлагын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь том хэмжээтэй хүн-машин интерфэйстэй LCD дэлгэцийг ашигладаг бөгөөд PLC-ийн бүрэн автомат удирдлагатай хамтран процессын томъёог засварлах, импортлох ажлыг хөнгөвчилдөг. График муруй нь янз бүрийн параметрүүдийн өөрчлөлт болон утгыг нүдээр харуулдаг бөгөөд тоног төхөөрөмж болон процессын параметрүүдийг автоматаар бүртгэж, архивлаж, асуудлыг мөрдөх, өгөгдлийн статистикийн шинжилгээг хөнгөвчилдөг.
5. Ажлын хэсгийн тавиур нь суурийн ширээг өргөх, буулгах ажиллагааг хянах серво мотороор тоноглогдсон. Бал чулуу эсвэл улаан зэс суурийн ширээг сонгож болно. Температурыг термопараар хэмждэг.
6. Тавиурын эд ангиудыг хэрэглэгчийн тусгай харьцах шаардлагыг хангахын тулд хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу бүхэлд нь эсвэл тусад нь зохион бүтээж болно.
7. Битүүмжлэх хавтангийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь үзэсгэлэнтэй, дэгжин. Тоног төхөөрөмжийн янз бүрийн функциональ модулийн хэсгүүдэд байрлах битүүмжлэх хавтангуудыг хурдан задалж эсвэл бие даан нээж, хааж болох бөгөөд энэ нь ашиглахад маш тохиромжтой.

Халуун судалтай CVD төхөөрөмж нь нимгэн хальсан бүрхүүл, өөрөө түншдэг зузаан хальс, бичил талст болон нанокристалл алмаз, дамжуулагч алмаз гэх мэт алмазан материалыг хадгалахад тохиромжтой. Энэ нь голчлон цементэн карбидын зүсэх хэрэгсэл, цахиур болон цахиурын карбид зэрэг хагас дамжуулагч материалын элэгдэлд тэсвэртэй хамгаалалтын бүрхүүл, төхөөрөмжийн дулаан тархалтын бүрхүүл, борын хольцтой дамжуулагч алмазан электрод, электролитийн усыг озоны аргаар ариутгах эсвэл бохир ус цэвэрлэхэд ашиглагддаг.