HFCVD0606

Ang vacuum coating chamber ng kagamitan sa pagdeposito ng kemikal na singaw ay gumagamit ng isang independiyenteng dobleng patong na istrukturang nagpapalamig ng tubig, na mahusay at pare-pareho sa pagpapalamig, at may ligtas at matatag na istraktura. Ang kagamitan ay dinisenyo na may dobleng pinto, maraming bintana ng pagmamasid at maraming interface ng pagpapalawak, na maginhawa para sa panlabas na koneksyon ng mga pantulong na peripheral tulad ng pagsukat ng infrared na temperatura, pagsusuri ng spectral, pagsubaybay sa video at thermocouple. Ang makabagong konsepto ng disenyo ay ginagawang madali at simple ang pang-araw-araw na pagsasaayos at pagpapanatili, pagbabago ng configuration at pag-upgrade ng kagamitan, at epektibong binabawasan ang mga gastos sa paggamit at pag-upgrade.

Mga tampok ng kagamitan:

1. Ang mga bahagi ng kagamitan para sa pagpapalobo ay pangunahing kinabibilangan ng mass flow meter, solenoid valve, at gas mixing tank, na nagsisiguro ng tumpak na kontrol sa daloy ng process gas, pantay na paghahalo, at ligtas na paghihiwalay ng iba't ibang gas, at maaaring pumili ng mga bahagi ng gas system para sa paggamit ng pinagmumulan ng likidong gas, mapadali ang personalized na pagpili ng malawak na hanay ng mga pinagmumulan ng likidong carbon, at ang ligtas na paggamit ng sintetikong konduktibong diamante at electrode liquid boron sources.
2. Ang air extraction assembly ay nilagyan ng tahimik at mahusay na rotary vane vacuum pump at isang turbo molecular pump system na mabilis na nakakatugon sa mataas na vacuum background environment. Ang composite vacuum gauge na may resistance gauge at ionization gauge ay ginagamit para sa pagsukat ng vacuum, pati na rin ang capacitive film gauge system na kayang sukatin ang presyon ng iba't ibang process gases sa malawak na saklaw. Ang deposition pressure ay ganap na awtomatikong kinokontrol ng high-precision proportional control valve.
3. Ang bahagi ng tubig na pampalamig ay may multi-channel na presyon ng tubig, daloy, pagsukat ng temperatura at awtomatikong pagsubaybay ng software. Ang iba't ibang bahagi ng tubig ay magkakahiwalay sa isa't isa, na maginhawa para sa mabilis na pag-diagnose ng depekto. Ang lahat ng sangay ay may mga independiyenteng switch ng balbula, na ligtas at mahusay.
4. Ang mga bahagi ng electrical control ay gumagamit ng malalaking man-machine interface LCD screen at nakikipagtulungan sa PLC full-automatic control upang mapadali ang pag-edit at pag-import ng process formula. Biswal na ipinapakita ng graphical curve ang mga pagbabago at halaga ng iba't ibang parameter, at ang mga parameter ng kagamitan at proseso ay awtomatikong naitala at nai-archive upang mapadali ang pagsubaybay sa problema at pagsusuri ng istatistika ng datos.
5. Ang rack ng workpiece ay may servo motor upang kontrolin ang pag-angat at pagbaba ng substrate table. Maaaring piliin ang graphite o pulang copper substrate table. Ang temperatura ay sinusukat gamit ang thermocouple.
6. Ang mga bahagi ng rack ay maaaring idisenyo nang buo o hiwalay ayon sa mga kinakailangan ng customer upang matugunan ang mga espesyal na kinakailangan sa paghawak ng mga customer.
7. Maganda at elegante ang mga bahagi ng sealing plate. Ang mga sealing plate sa iba't ibang functional module area ng kagamitan ay maaaring mabilis na kalasin o buksan at isara nang hiwalay, na napakadaling gamitin.

Ang kagamitang CVD na may mainit na filament ay angkop para sa pagdedeposito ng mga materyales na diyamante, kabilang ang manipis na film coating, self-supporting thick film, microcrystalline at nanocrystalline diamond, conductive diamond, atbp. Pangunahin itong ginagamit para sa wear-resistant protective coating ng mga cemented carbide cutting tool, mga materyales na semiconductor tulad ng silicon at silicon carbide, heat dissipation coating ng mga device, boron doped conductive diamond electrode, ozone disinfection ng electrolytic water o sewage treatment.