HFCVD0606

Buồng phủ chân không của thiết bị lắng đọng hơi hóa học sử dụng cấu trúc làm mát bằng nước hai lớp độc lập, giúp làm mát hiệu quả và đồng đều, đồng thời có cấu trúc an toàn và ổn định. Thiết bị được thiết kế với cửa đôi, nhiều cửa sổ quan sát và nhiều giao diện mở rộng, thuận tiện cho việc kết nối bên ngoài các thiết bị ngoại vi phụ trợ như đo nhiệt độ hồng ngoại, phân tích quang phổ, giám sát video và cặp nhiệt điện. Khái niệm thiết kế tiên tiến giúp việc bảo trì, thay đổi cấu hình và nâng cấp thiết bị hàng ngày trở nên dễ dàng và đơn giản, đồng thời giảm thiểu hiệu quả chi phí sử dụng và nâng cấp.

Đặc điểm thiết bị:

1. Các bộ phận bơm khí của thiết bị chủ yếu bao gồm lưu lượng kế, van điện từ và bình trộn khí, đảm bảo kiểm soát chính xác lưu lượng khí trong quá trình, trộn đều và cách ly an toàn các loại khí khác nhau, đồng thời có thể lựa chọn các bộ phận hệ thống khí để sử dụng nguồn khí hóa lỏng, tạo điều kiện thuận lợi cho việc lựa chọn cá nhân hóa nhiều loại nguồn carbon lỏng, và sử dụng an toàn kim cương dẫn điện tổng hợp và nguồn boron lỏng điện cực.
2. Hệ thống hút khí được trang bị bơm chân không cánh quay hoạt động êm ái và hiệu quả cùng hệ thống bơm phân tử turbo, có thể nhanh chóng đáp ứng môi trường chân không cao. Đồng hồ đo chân không tổng hợp với đồng hồ đo điện trở và đồng hồ đo ion hóa được sử dụng để đo chân không, cũng như hệ thống đồng hồ đo màng điện dung có thể đo áp suất của các loại khí xử lý khác nhau trong phạm vi rộng. Áp suất lắng đọng được điều khiển hoàn toàn tự động bằng van điều khiển tỷ lệ chính xác cao.
3. Hệ thống nước làm mát được trang bị hệ thống đo áp suất, lưu lượng, nhiệt độ nước đa kênh và phần mềm giám sát tự động. Các bộ phận làm mát khác nhau hoạt động độc lập, thuận tiện cho việc chẩn đoán lỗi nhanh chóng. Tất cả các nhánh đều có công tắc van độc lập, đảm bảo an toàn và hiệu quả.
4. Các thành phần điều khiển điện sử dụng màn hình LCD giao diện người-máy kích thước lớn và phối hợp với hệ thống điều khiển tự động hoàn toàn PLC để thuận tiện cho việc chỉnh sửa và nhập công thức quy trình. Đồ thị hiển thị trực quan sự thay đổi và giá trị của các thông số khác nhau, đồng thời các thông số thiết bị và quy trình được tự động ghi lại và lưu trữ để thuận tiện cho việc truy tìm sự cố và phân tích thống kê dữ liệu.
5. Giá đỡ phôi được trang bị động cơ servo để điều khiển việc nâng hạ bàn đỡ phôi. Có thể lựa chọn bàn đỡ phôi bằng than chì hoặc đồng đỏ. Nhiệt độ được đo bằng cặp nhiệt điện.
6. Các bộ phận của giá đỡ có thể được thiết kế nguyên khối hoặc riêng lẻ theo yêu cầu của khách hàng để đáp ứng các yêu cầu xử lý đặc biệt của khách hàng.
7. Các bộ phận của tấm niêm phong rất đẹp và trang nhã. Các tấm niêm phong trong các khu vực mô-đun chức năng khác nhau của thiết bị có thể được tháo rời hoặc mở và đóng độc lập một cách nhanh chóng, rất tiện lợi khi sử dụng.

Thiết bị CVD sợi đốt nóng thích hợp để lắng đọng các vật liệu kim cương, bao gồm lớp phủ màng mỏng, màng dày tự đỡ, kim cương vi tinh thể và nano tinh thể, kim cương dẫn điện, v.v. Nó chủ yếu được sử dụng cho lớp phủ bảo vệ chống mài mòn của dụng cụ cắt cacbua xi măng, vật liệu bán dẫn như silic và cacbua silic, lớp phủ tản nhiệt của thiết bị, điện cực kim cương dẫn điện pha boron, khử trùng ozone nước điện phân hoặc xử lý nước thải.