HFCVD0606

Камерата за вакуумно покритие на оборудването за химическо отлагане на пари приема независима двуслойна структура за водно охлаждане, която е ефективна и еднаква при охлаждане и има безопасна и стабилна структура.Оборудването е проектирано с двойни врати, множество прозорци за наблюдение и множество интерфейси за разширение, което е удобно за външно свързване на спомагателни периферни устройства като инфрачервено измерване на температурата, спектрален анализ, видео наблюдение и термодвойка.Усъвършенстваната концепция за дизайн прави ежедневния основен ремонт и поддръжка, промяна на конфигурацията и надстройка на оборудването лесна и проста и ефективно намалява разходите за използване и надграждане.

Характеристики на оборудването:

1. Компонентите за надуване на оборудването включват главно масов разходомер, електромагнитен клапан и резервоар за смесване на газ, които осигуряват точен контрол на потока на технологичния газ, равномерно смесване и безопасно изолиране на различни газове и могат да избират компоненти на газовата система за използване на източник на течен газ, улесняват персонализирания избор на широка гама източници на течен въглерод и безопасното използване на синтетични проводими диаманти и електродни течни източници на бор.
2. Устройството за извличане на въздух е оборудвано с безшумна и ефективна вакуумна помпа с въртящи се лопатки и турбо молекулярна помпена система, която може бързо да отговори на околната среда с висок вакуум.Композитният вакуумметър с манометър за съпротивление и йонизационен манометър се използва за измерване на вакуум, както и системата за капацитивен филм, която може да измерва налягането на различни технологични газове в широк диапазон.Налягането на отлагането е напълно автоматично контролирано от високо прецизен пропорционален контролен клапан.
3. Компонентът на охлаждащата вода е оборудван с многоканално водно налягане, дебит, измерване на температурата и автоматично наблюдение на софтуера.Различните охлаждащи компоненти са независими един от друг, което е удобно за бърза диагностика на неизправности.Всички клонове имат независими превключватели на клапани, което е безопасно и ефективно.
4. Електрическите контролни компоненти приемат LCD екран с интерфейс човек-машина с голям размер и си сътрудничат с PLC напълно автоматично управление, за да улеснят редактирането и импортирането на формулата на процеса.Графичната крива показва визуално промените и стойностите на различни параметри, а оборудването и параметрите на процеса се записват автоматично и архивират, за да се улесни проследяването на проблемите и статистическият анализ на данните.
5. Поставката за детайли е оборудвана със серво мотор за управление на повдигането и спускането на масата за субстрат.Може да се избере графитна или червена медна маса.Температурата се измерва с термодвойка.
6. Компонентите на стелажа могат да бъдат проектирани като цяло или поотделно според изискванията на клиента, за да отговорят на специалните изисквания за обработка на клиентите.
7. Компонентите на уплътнителната плоча са красиви и елегантни.Уплътнителните плочи в различните функционални модулни зони на оборудването могат бързо да се разглобяват или отварят и затварят независимо, което е много удобно за използване.

CVD оборудването с гореща нишка е подходящо за нанасяне на диамантени материали, включително тънкослойно покритие, самоносещ дебел филм, микрокристален и нанокристален диамант, проводим диамант и др. Използва се главно за устойчиво на износване защитно покритие на режещи инструменти от циментиран карбид, полупроводникови материали като силиций и силициев карбид, покритие за разсейване на топлината на устройства, проводящ диамантен електрод с добавка на бор, дезинфекция с озон на електролитна вода или пречистване на отпадни води.