HFCVD0606

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ పరికరంలోని వాక్యూమ్ కోటింగ్ చాంబర్ ఒక స్వతంత్ర డబుల్-లేయర్ వాటర్-కూలింగ్ నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది, ఇది శీతలీకరణలో సమర్థవంతంగా మరియు ఏకరీతిగా ఉండి, సురక్షితమైన మరియు స్థిరమైన నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఈ పరికరం డబుల్ డోర్లు, బహుళ పరిశీలన కిటికీలు మరియు బహుళ విస్తరణ ఇంటర్‌ఫేస్‌లతో రూపొందించబడింది, ఇది ఇన్‌ఫ్రారెడ్ ఉష్ణోగ్రత కొలత, స్పెక్ట్రల్ విశ్లేషణ, వీడియో పర్యవేక్షణ మరియు థర్మోకపుల్ వంటి సహాయక పరికరాలను బాహ్యంగా కనెక్ట్ చేయడానికి సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది. ఈ అధునాతన డిజైన్ కాన్సెప్ట్, పరికరం యొక్క రోజువారీ ఓవర్‌హాల్ మరియు నిర్వహణ, కాన్ఫిగరేషన్ మార్పు మరియు అప్‌గ్రేడ్‌ను సులభం మరియు సరళంగా చేస్తుంది, మరియు వినియోగ మరియు అప్‌గ్రేడ్ ఖర్చులను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది.

పరికరాల లక్షణాలు:

1. పరికరంలోని ఉబ్బించే భాగాలలో ప్రధానంగా మాస్ ఫ్లో మీటర్, సోలేనాయిడ్ వాల్వ్ మరియు గ్యాస్ మిక్సింగ్ ట్యాంక్ ఉంటాయి. ఇవి ప్రాసెస్ గ్యాస్ ప్రవాహం యొక్క కచ్చితమైన నియంత్రణను, ఏకరీతి మిశ్రమాన్ని మరియు వివిధ వాయువుల సురక్షితమైన వేరుచేయడాన్ని నిర్ధారిస్తాయి. ఇంకా, ద్రవ వాయు వనరుల వాడకం కోసం గ్యాస్ సిస్టమ్ భాగాలను ఎంచుకోవచ్చు, ఇది విస్తృత శ్రేణి ద్రవ కార్బన్ వనరుల వ్యక్తిగత ఎంపికను సులభతరం చేస్తుంది, మరియు సింథటిక్ కండక్టివ్ డైమండ్ మరియు ఎలక్ట్రోడ్ లిక్విడ్ బోరాన్ వనరుల సురక్షితమైన వాడకానికి వీలు కల్పిస్తుంది.
2. గాలిని వెలికితీసే అసెంబ్లీలో నిశ్శబ్దంగా మరియు సమర్థవంతంగా పనిచేసే రోటరీ వేన్ వాక్యూమ్ పంప్ మరియు అధిక వాక్యూమ్ నేపథ్య వాతావరణాన్ని త్వరగా అందుకోగల టర్బో మాలిక్యులర్ పంప్ సిస్టమ్ అమర్చబడి ఉంటుంది. వాక్యూమ్ కొలత కోసం, రెసిస్టెన్స్ గేజ్ మరియు అయనైజేషన్ గేజ్‌తో కూడిన కాంపోజిట్ వాక్యూమ్ గేజ్‌ను ఉపయోగిస్తారు, అలాగే విస్తృత శ్రేణిలో వివిధ ప్రాసెస్ వాయువుల పీడనాన్ని కొలవగల కెపాసిటివ్ ఫిల్మ్ గేజ్ సిస్టమ్‌ను కూడా ఉపయోగిస్తారు. డిపాజిషన్ పీడనం అధిక-ఖచ్చితత్వ ప్రొపోర్షనల్ కంట్రోల్ వాల్వ్ ద్వారా పూర్తిగా ఆటోమేటిక్‌గా నియంత్రించబడుతుంది.
3. శీతలీకరణ నీటి భాగం బహుళ-ఛానల్ నీటి పీడనం, ప్రవాహం, ఉష్ణోగ్రత కొలత మరియు సాఫ్ట్‌వేర్ స్వయంచాలక పర్యవేక్షణతో అమర్చబడి ఉంటుంది. వివిధ శీతలీకరణ భాగాలు ఒకదానికొకటి స్వతంత్రంగా ఉంటాయి, ఇది వేగవంతమైన లోప నిర్ధారణకు సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది. అన్ని శాఖలకు స్వతంత్ర వాల్వ్ స్విచ్‌లు ఉంటాయి, ఇది సురక్షితమైనది మరియు సమర్థవంతమైనది.
4. విద్యుత్ నియంత్రణ భాగాలు పెద్ద-పరిమాణ మ్యాన్-మెషిన్ ఇంటర్‌ఫేస్ LCD స్క్రీన్‌ను కలిగి ఉంటాయి మరియు ప్రాసెస్ ఫార్ములాను సవరించడం మరియు దిగుమతి చేసుకోవడాన్ని సులభతరం చేయడానికి PLC పూర్తి-ఆటోమేటిక్ నియంత్రణతో కలిసి పనిచేస్తాయి. గ్రాఫికల్ కర్వ్ వివిధ పారామితుల మార్పులను మరియు విలువలను దృశ్యమానంగా ప్రదర్శిస్తుంది, మరియు సమస్యల జాడను కనుగొనడం మరియు డేటా గణాంక విశ్లేషణను సులభతరం చేయడానికి పరికరాలు మరియు ప్రాసెస్ పారామితులు స్వయంచాలకంగా రికార్డ్ చేయబడి, భద్రపరచబడతాయి.
5. సబ్‌స్ట్రేట్ టేబుల్‌ను పైకి ఎత్తడం మరియు కిందకు దించడం నియంత్రించడానికి వర్క్‌పీస్ ర్యాక్‌కు ఒక సర్వో మోటార్ అమర్చబడి ఉంటుంది. గ్రాఫైట్ లేదా ఎర్ర రాగి సబ్‌స్ట్రేట్ టేబుల్‌ను ఎంచుకోవచ్చు. ఉష్ణోగ్రతను థర్మోకపుల్ ద్వారా కొలుస్తారు.
6. వినియోగదారుల ప్రత్యేక నిర్వహణ అవసరాలను తీర్చడానికి, ర్యాక్ భాగాలను వినియోగదారుల అవసరాలకు అనుగుణంగా మొత్తంగా లేదా విడివిడిగా రూపొందించవచ్చు.
7. సీలింగ్ ప్లేట్ భాగాలు అందంగా మరియు సొగసైనవిగా ఉంటాయి. పరికరంలోని వివిధ ఫంక్షనల్ మాడ్యూల్ ప్రాంతాలలో ఉన్న సీలింగ్ ప్లేట్లను త్వరగా విడదీయవచ్చు లేదా స్వతంత్రంగా తెరవవచ్చు మరియు మూసివేయవచ్చు, ఇది ఉపయోగించడానికి చాలా సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది.

హాట్ ఫిలమెంట్ CVD పరికరాలు పలుచని పొర పూత, స్వయం-ఆధారిత మందపాటి పొర, మైక్రోక్రిస్టలైన్ మరియు నానోక్రిస్టలైన్ వజ్రం, వాహక వజ్రం మొదలైన వజ్ర పదార్థాలను నిక్షేపించడానికి అనుకూలంగా ఉంటాయి. దీనిని ప్రధానంగా సిమెంటెడ్ కార్బైడ్ కటింగ్ టూల్స్ యొక్క రాపిడి-నిరోధక రక్షణ పూత, సిలికాన్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు, పరికరాల ఉష్ణ వెదజల్లు పూత, బోరాన్ డోప్డ్ వాహక వజ్ర ఎలక్ట్రోడ్, విద్యుద్విశ్లేషణ నీటి ఓజోన్ క్రిమిసంహారం లేదా మురుగునీటి శుద్ధి కోసం ఉపయోగిస్తారు.